- 专利标题： Method for the preparation of silanes
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申请号： US14782247申请日： 2014-02-28
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公开(公告)号： US09738532B2公开(公告)日： 2017-08-22
- 发明人: Juergen Erwin Lang , Hartwig Rauleder , Ekkehard Mueh
- 申请人： Juergen Erwin Lang , Hartwig Rauleder , Ekkehard Mueh
- 申请人地址： DE Essen
- 专利权人： Evonik Degussa GmbH
- 当前专利权人： Evonik Degussa GmbH
- 当前专利权人地址： DE Essen
- 代理机构： Oblon, McClelland, Maier & Neustadt, L.L.P.
- 优先权： DE102013207442 20130424
- 国际申请： PCT/EP2014/053920 WO 20140228
- 国际公布： WO2014/173567 WO 20141030
- 主分类号： C01B33/04
- IPC分类号： C01B33/04 ; B01J12/00 ; C07F7/02 ; B01J19/24
摘要：
The invention relates to a process for preparing dimeric and/or trimeric silanes by conversion of monosilane in a plasma and to a plant for performance of the process.
公开/授权文献
- US20160046493A1 METHOD AND APPARATUS FOR THE PREPARATION OF SILANES 公开/授权日：2016-02-18
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