外观设计
- 专利标题: Quartz cover for manufacturing semiconductor wafers
- 专利标题(中): 用于制造半导体晶圆的石英盖
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申请号: US29342844申请日: 2009-09-02
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公开(公告)号: USD616390S1公开(公告)日: 2010-05-25
- 设计人: Izumi Sato
- 申请人: Izumi Sato
- 申请人地址: JP Minato-Ku
- 专利权人: Tokyo Electron Limited
- 当前专利权人: Tokyo Electron Limited
- 当前专利权人地址: JP Minato-Ku
- 代理机构: Burr & Brown
- 优先权: JP2009-004982 20090306
- LOC分类号: 13-03