- 专利标题: Wafer handling assembly
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申请号: US29564740申请日: 2016-05-16
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公开(公告)号: USD803283S1公开(公告)日: 2017-11-21
- 设计人: Yuliy Rashkovsky , Brett Stuart Snowden , Miguel Angel Saldana
- 申请人: Veeco Instruments, Inc.
- 申请人地址: US NY Plainview
- 专利权人: Veeco Instruments Inc.
- 当前专利权人: Veeco Instruments Inc.
- 当前专利权人地址: US NY Plainview
- 代理机构: Holzer Patel Drennan
- LOC分类号: 15-09
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