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发明申请
WO00041855A1 WORKPIECE HANDLING ROBOT 审中-公开
工作机器人

WORKPIECE HANDLING ROBOT
摘要：
A wafer handling robot (100) is disclosed for transporting workpieces. The robot includes a base (102) comprising a rigid backbone (112) for providing stability to the robot. The base further includes a mast (116), a linear drive system (122) for translating the mast, and a shoulder drive system (120) for rotating the mast. The shoulder drive system includes a harmonic drive reduction system (138) for providing output rotation of the mast for rotation with the mast, and a distal link (106) rotatably mounted to the proximal link. An end effector (108) for supporting workpieces is rotationally mounted to the distal end of the distal link. An elbow drive (150) is mounted to the proximal link, extending down into the mast section, for driving rotation of the distal link with respect to the proximal link.
摘要（中）：

公开了一种用于运输工件的晶片处理机器人（100）。 机器人包括一个基座（102），它包括用于提供机器人稳定性的刚性骨架（112）。 基座还包括桅杆（116），用于平移桅杆的线性驱动系统（122）和用于旋转桅杆的台肩驱动系统（120）。 所述台肩驱动系统包括谐波驱动减速系统（138），用于提供所述桅杆的输出旋转以与所述桅杆一起旋转，以及可旋转地安装到所述近端连杆的远端连杆（106）。 用于支撑工件的端部执行器（108）旋转地安装到远端连杆的远端。 肘部驱动器（150）安装到近端连杆，向下延伸到桅杆部分中，用于驱动远端连杆相对于近端连杆的旋转。

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