本発明のシート状プローブは、多孔膜を備え、多孔膜に形成された複数の貫通孔の各位置に接点膜が貫通支持されるとともに、接点膜の周縁部と多孔膜とが多孔膜の微細孔内に柔軟な樹脂からなる絶縁層が含まれるように一体化されており、絶縁層には複数の電極構造体が貫通するよう支持され、電極構造体の各々は、絶縁層の表面に露出し、絶縁層の表面から突出する表面電極部と絶縁層の裏面に露出する裏面電極部と、表面電極部の基端から連続して絶縁層をその厚み方向に貫通して伸び、裏面電極部に連結された短絡部と、表面電極部の基端部分から連続して絶縁層の表面に沿って外方に伸びる保持部と、絶縁層を支持する支持体と、よりなることを特徴とする。