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公开(公告)号：WO2005103731A1
公开(公告)日：2005-11-03
申请号：PCT/JP2005/007936
申请日：2005-04-26
IPC分类号： G01R1/06
CPC分类号： A63H29/22 , A63H30/04 , A63H31/00 , F16H48/08 , G01R1/06711 , G01R1/0735 , G01R3/00 , H01L51/5012 , H05B33/14 , Y10T29/49155
摘要： [課題] 微小で微細ピッチな電極を有する回路装置にも安定な接続状態が達成され、電極構造体が絶縁膜から脱落せず高い耐久性が得られ、大面積のウエハや被検査電極のピッチが小さい回路装置に対し、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれが確実に防止され、良好な接続状態が安定に維持されるシート状プローブおよびその製造方法を提供する。 [解決手段] 本発明のシート状プローブは、厚み方向に伸びる複数の電極構造体を有する絶縁層とこれを支持する金属フレーム板とを備え、電極構造体は、絶縁層の表面から突出する表面電極部と、絶縁層の裏面に露出する裏面電極部と、表面電極部の基端から連続して絶縁層の厚み方向に伸び、裏面電極部に連結された短絡部と、表面電極部の基端部分から連続して絶縁層の表面に沿って外側に伸びる保持部とよりなり、本発明の製造方法は表面電極部と短絡部は個別に金属を充填することを特徴とする。
摘要翻译： [问题]为了提供片状探针及其制造方法，即使在微细电路微细电极装置中也能获得稳定的连接条件，电极结构不会从绝缘膜下降并获得高耐久性， 在大面积晶片和具有待测试的小间距电极的电路器件的老化测试中，可以确保在电极结构和由于温度变化而被测试的电极之间的位置偏移，并且优异的连接 条件稳定地保持。 解决问题的手段片状探针设置有具有沿厚度方向延伸的多个电极结构的绝缘层和用于支撑绝缘层的金属框架板。 电极结构由从绝缘层的正面突出的前面电极部分，从绝缘层的背面露出的背面电极部分，从基底边缘连续延伸的短路部分 所述绝缘层的厚度方向的前面电极部分与所述背面电极部连接，所述支撑部从所述前面平面电极部的所述基底边缘部沿着所述绝缘层的前方平面连续地延伸到 外部。 在制造方法中，前面平面电极部分和短路部分分别用金属填充。
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公开(公告)号：WO2005103732A1
公开(公告)日：2005-11-03
申请号：PCT/JP2005/007937
申请日：2005-04-26
IPC分类号： G01R1/06
CPC分类号： A63H29/22 , A63H30/04 , A63H31/00 , F16H48/08 , G01R1/06711 , G01R1/0735 , G01R3/00 , H01L51/5012 , H05B33/14 , Y10T29/49155
摘要： [課題] 微小で微細ピッチな電極を有する回路装置にも安定な接続状態が達成され、電極構造体が絶縁層から脱落せず高い耐久性が得られ、大面積のウエハや被検査電極のピッチが小さい回路装置に対し、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれが確実に防止され、良好な接続状態が安定に維持されるシート状プローブおよびその製造方法を提供する。 [解決手段] 本発明のシート状プローブは、厚み方向に伸びる複数の電極構造体を有する絶縁層とこれを指示する支持体とを備え、電極構造体は、絶縁層の表面から突出する表面電極部と、絶縁層の裏面に露出する裏面電極部と、表面電極部の基端から連続して絶縁層の厚み方向に伸び、裏面電極部に連結された短絡部と、表面電極部の基端部分から連続して絶縁層の表面に沿って外側に伸びる保持部とよりなり、本発明の製造方法は表面電極部と短絡部は個別に金属を充填することを特徴とする。
摘要翻译： [问题]为了提供片状探针及其制造方法，即使在微细电极的微细电极装置中也能获得稳定的连接条件，电极结构不会从绝缘层下降并获得高耐久性， 在大面积晶片和具有待测试的小间距电极的电路器件的老化测试中，可以可靠地防止电极结构和由于温度变化而被测试的电极之间的位置偏移，并且优异的连接 条件稳定地保持。 解决问题的手段片状探针设置有具有在厚度方向上延伸的多个电极结构的绝缘层和用于支撑绝缘层的支撑体。 电极结构由从绝缘层的前面突出的正面电极部分，从绝缘层的背面露出的背面电极部分，从基底边缘连续延伸的短路部分 所述绝缘层的厚度方向的前面电极部分与所述背面电极部连接，所述支撑部从所述前面平面电极部的所述基部边缘部沿着所述绝缘层的前方平面延伸到 外部。 在制造方法中，前面平面电极部和短路部分别被金属填充。
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公开(公告)号：WO2005103734A1
公开(公告)日：2005-11-03
申请号：PCT/JP2005/007939
申请日：2005-04-26
IPC分类号： G01R1/06
CPC分类号： A63H29/22 , A63H30/04 , A63H31/00 , F16H48/08 , G01R1/06711 , G01R1/0735 , G01R3/00 , H01L51/5012 , H05B33/14 , Y10T29/49155
摘要： [課題] 微小で微細ピッチな電極を有する回路装置にも安定な接続状態が達成され、電極構造体が絶縁膜から脱落せず高い耐久性が得られ、大面積のウエハや被検査電極のピッチが小さい回路装置に対し、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれが確実に防止され、良好な接続状態が安定に維持されるシート状プローブおよびその製造方法を提供する。 [解決手段] 絶縁層と、この絶縁層にその面方向に互いに離間して配置された、前記絶縁層の厚み方向に貫通して伸びる複数の電極構造体を備えた接点膜を有するシート状プローブであって、電極構造体の各々は、絶縁層の表面に露出し、絶縁層の表面から突出し、その基端から先端に向かうに従って小径となる形状の表面電極部と、絶縁層の裏面に露出する裏面電極部と、表面電極部の基端から連続して前記絶縁層をその厚み方向に貫通して伸び、裏面電極部に連結された短絡部とよりなり、表面電極部の基端の径が、短絡部の表面電極部と接する側の端の径よりも大きく、短絡部の厚みが、前記絶縁層の厚みより大きいことを特徴とする。
摘要翻译： [问题]片状探针和探针的制造方法，其中，即使对于具有细小间隔的小电极的电路器件，探针也可以实现稳定的连接，其中电极结构体不从绝缘膜出来并达到高 耐久性，并且在具有大面积的晶片的老化测试和用于具有小间隔的具有小间隔的电极的电路装置的电极结构体之间的由温度变化引起的位置偏移的情况下， 可以可靠地防止被检查电极，从而稳定地保持良好的连接状态。 解决问题的手段具有绝缘层并且具有设置有绝缘层的电极结构体的接触膜的片状探针在绝缘层的表面方向上彼此分离并且渗透性 在绝缘层的厚度方向上延伸。 电极结构体各自由暴露于绝缘层的前表面的表面电极部分构成，从绝缘层的前表面突出，并且具有从其基端向其头部直径减小的形状， 暴露于绝缘层的背面的背面电极部和从前面电极部的基端延伸的短路部在其厚度方向上贯通绝缘层，并与 背面电极方向。 前表面电极部分的基端的直径大于与前表面电极部分接触的短路部分的直径，并且短路部分的厚度大于厚度 的绝缘部分。
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公开(公告)号：WO2005103735A1
公开(公告)日：2005-11-03
申请号：PCT/JP2005/007811
申请日：2005-04-25
IPC分类号： G01R1/073
CPC分类号： G01R1/07314 , G01R1/0735 , G01R3/00
摘要： 径が小さい表面電極部の形成が可能で、ピッチが小さい電極を有する回路装置にも安定な接続状態が達成され、電極構造体が絶縁膜から脱落せずに高い耐久性が得られ、大面積のウエハや被検査電極のピッチが小さい回路装置に対し、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれが確実に防止され、良好な接続状態が安定に維持されるシート状プローブおよびその製造方法並びにその応用が開示されている。 本発明のシート状プローブは、絶縁膜およびその厚み方向に伸びる複数の電極構造体を有する接点膜と、これを支持する金属製の支持膜とを具え、電極構造体は、絶縁膜の表面から突出する表面電極部と、絶縁膜の裏面に露出する裏面電極部と、表面電極部の基端から連続して絶縁膜の厚み方向に伸び、裏面電極部に連結された短絡部と、表面電極部の基端部分から連続して絶縁膜の表面に沿って外方に伸びる保持部とよりなる。
摘要翻译： 提供片状探针，探针的制造方法和探针的应用，通过该方法可以形成小直径的表面电极部分，即使对于具有小间距的电路器件也可以获得稳定的连接状态 电极，通过防止电极结构从绝缘膜掉落，可以获得高耐久性，可以可靠地防止电极结构从老化试验中的温度变化引起的被检查电极的位置偏移， 具有要测试的小间距电极的电路器件和连接状态可以稳定地保持。 片状探针设置有具有绝缘膜的接触点膜和沿绝缘膜的厚度方向延伸的多个电极结构以及由用于支撑接触膜的金属制成的支撑膜。 电极结构由从绝缘膜的前表面突出的前表面电极部分，暴露在绝缘膜的后表面上的后表面电极部分，从基底边缘连续延伸的短路部分 绝缘膜的厚度方向上的前表面电极部分，并且与背面电极部分相连，并且沿着绝缘膜的前表面从前表面电极部分的基部边缘部分连续向外延伸的支撑部分。
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公开(公告)号：WO2005103733A1
公开(公告)日：2005-11-03
申请号：PCT/JP2005/007938
申请日：2005-04-26
IPC分类号： G01R1/06
CPC分类号： A63H29/22 , A63H30/04 , A63H31/00 , F16H48/08 , G01R1/06711 , G01R1/0735 , G01R3/00 , H01L51/5012 , H05B33/14 , Y10T29/49155
摘要： 電極構造体の各々は、絶縁層の表面に露出し、絶縁層の表面から突出し、その基端から先端に向かうに従って小径となる形状の表面電極部と、絶縁層の裏面に露出する裏面電極部と、表面電極部の基端から連続して前記絶縁層をその厚み方向に貫通して伸び、裏面電極部に連結された短絡部とよりなり、表面電極部の基端の径が、短絡部の表面電極部と接する側の端の径よりも大きいことを特徴とするシート状プローブ。
摘要翻译： 一种片状探针，其中电极结构体各自由暴露于绝缘层的前表面的前表面电极部分，从绝缘层的前表面突出并且具有从基底的直径减小的形状 前表面电极部分的端部朝向其头部，暴露于绝缘层的背面的背面电极部分和从前表面电极部分的基端连续延伸的短路部分，穿过绝缘层 其厚度方向，并连接到背面电极部分。 表面电极的基端的直径大于与前表面电极部分接触的短路部的端部的直径。
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公开(公告)号：WO2005103730A1
公开(公告)日：2005-11-03
申请号：PCT/JP2005/007935
申请日：2005-04-26
IPC分类号： G01R1/06
CPC分类号： A63H29/22 , A63H30/04 , A63H31/00 , F16H48/08 , G01R1/06711 , G01R1/0735 , G01R3/00 , H01L51/5012 , H05B33/14 , Y10T29/49155
摘要： 本発明のシート状プローブは、多孔膜を備え、多孔膜に形成された複数の貫通孔の各位置に接点膜が貫通支持されるとともに、接点膜の周縁部と多孔膜とが多孔膜の微細孔内に柔軟な樹脂からなる絶縁層が含まれるように一体化されており、絶縁層には複数の電極構造体が貫通するよう支持され、電極構造体の各々は、絶縁層の表面に露出し、絶縁層の表面から突出する表面電極部と絶縁層の裏面に露出する裏面電極部と、表面電極部の基端から連続して絶縁層をその厚み方向に貫通して伸び、裏面電極部に連結された短絡部と、表面電極部の基端部分から連続して絶縁層の表面に沿って外方に伸びる保持部と、絶縁層を支持する支持体と、よりなることを特徴とする。
摘要翻译： 片状探针具有多孔膜，在片状探针中，在形成于多孔膜的贯通孔的各个位置处，将接触膜贯通地支撑在接触膜的周缘部和多孔膜上 在多孔膜的细孔内包含柔性树脂绝缘层。 电极结构体以穿透方式被支撑在绝缘层中。 所述电极结构体各自由暴露于所述绝缘层的前表面并从所述绝缘层的前表面突出的表面电极部，暴露于所述绝缘层的背面的背面电极部，短路部 从前表面电极部分的基端部延伸到其厚度方向上穿过绝缘层并与背面电极部分连接的保持部分沿着绝缘层的前表面向外延伸， 前表面电极部分的端部和用于支撑绝缘层的支撑体。
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公开(公告)号：WO2005096368A1
公开(公告)日：2005-10-13
申请号：PCT/JP2005/006108
申请日：2005-03-30
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R1/07364 , G01R1/07314 , G01R1/07371 , G01R1/07378
摘要： 多数の被検査電極についての電気的検査を一括して行うことができると共に、すべての被検査電極について良好な電気的接続状態を小さい荷重で確実に達成することができるウエハ検査装置およびウエハ検査方法並びにプローブ装置を提供する。 本発明のプローブ装置は、多数の検査用電極を有する検査用回路基板と、多数の端子電極を有する接続用回路基板および接触部材を有するプローブカードと、検査用回路基板と接続用回路基板との間に配置された、前記検査用電極の各々と前記端子電極の各々とを電気的に接続する異方導電性コネクターと、前記検査用回路基板および前記接続用回路基板の、ウエハに対する平行度を調整する平行度調整機構とを具えてなり、平行度調整機構は、検査用回路基板または接続用回路基板を異方導電性コネクターの厚み方向に相対的に変位させる位置可変機構を具えている。ウエハ検査装置は、上記のプローブ装置を備えてなる。
摘要翻译： 晶片检查装置，晶片检查方法和探针装置，可以批量地进行许多待测试的电极的电检查，并且可以确保以小的负载测试所有电极的良好的电连接状态。 该探针装置设置有具有许多检查电极的检查电路板，具有多个端子电极和接触构件的连接电路板的探针卡，各向异性导电连接器，其布置在检查电路板和连接 用于电连接每个检查电极和每个端子电极的电路板，以及平行度调节机构，其将检查电路板和连接电路板的平行度调整到晶片。 平行度调节机构设置有位置可变机构，其在各向异性导电连接器的厚度方向上使检查电路板或连接电路板相对移位。 晶片检查装置设置有探针装置。
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公开(公告)号：WO2004109302A1
公开(公告)日：2004-12-16
申请号：PCT/JP2004/007515
申请日：2004-06-01
IPC分类号： G01R1/073
CPC分类号： G01R1/0735 , G01R1/07378 , H01R4/04 , H01R12/52
摘要： 小型で、検査用回路基板の使用寿命が短くならず、多数の被検査電極の検査を一括して行うことができ、良好な電気特性を有し、高機能集積回路の電気的検査が可能なウエハ検査装置およびこれに用いる異方導電性コネクターが開示されている。 本発明の異方導電性コネクターは、互いに離間して配置された厚み方向に伸びる複数の接続用導電部およびこれらの間に形成された絶縁部よりなる弾性異方導電膜と、これを支持するフレーム板とよりなり、フレーム板は線熱膨張係数が３×１０ -6 ～３×１０ -5 Ｋ -1 の金属材料よりなり、接続用導電部は、弾性高分子物質中に数平均粒子径が２０～８０μｍの磁性を示す導電性粒子が密に充填されてなり、導電性粒子は、表面に厚みが２０ｎｍ以上の貴金属よりなる被覆層が形成されてなり、接続用導電部のデュロメーター硬さが１０～３５であり、接続用導電部間における電気抵抗が１０ＭΩ以上である。
摘要翻译： 小型晶片检查装置不会缩短检查电路板的使用寿命，可以共同检查检查中的许多电极，具有良好的电气特性，并且可以电气检查高功能集成电路，以及用于 这个。 各向异性导电连接器包括彼此远离并且在厚度方向上延伸的多个连接导电单元，由绝缘部件构成并形成在导电单元之间的弹性各向异性导电膜和支撑膜的框架板，其中框架板 由线性热膨胀系数为3×10 -6至3×10 -5 K的金属材料组成，连接传导单元由数均粒径为20-80μm的导电颗粒组成， 表现为充满弹性聚合物材料的磁性，导电颗粒的表面上形成有由厚度至少为20nm的贵金属构成的涂层，连接导电单元的硬度为10-35， 并且连接导通单元之间的电阻至少为10MΩ。
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公开(公告)号：WO2004086565A1
公开(公告)日：2004-10-07
申请号：PCT/JP2004/003931
申请日：2004-03-23
IPC分类号： H01R11/01
CPC分类号： G01R1/0735 , H01L23/49827 , H01L2924/0002 , H01R13/2414 , H01L2924/00
摘要： ウエハに形成された複数の集積回路の電気的検査において、多数回にわたって繰り返して使用された場合に、長期間にわたって良好な導電性が維持され、従って、耐久性が高くて長い使用寿命が得られる異方導電性コネクターおよびその応用が開示されている。 本発明の異方導電性コネクターは、導電性粒子が含有された厚み方向に伸びる複数の接続用導電部が形成された弾性異方導電膜を有する異方導電性コネクターにおいて、前記接続用導電部に含有された導電性粒子は、磁性を示す芯粒子の表面に高導電性金属よりなる被覆層が積層されてなり、当該被覆層は高硬度な被覆層であることを特徴とする。
摘要翻译： 公开了一种各向异性导电连接器，其在连接器在形成在晶片上的集成电路的电气检查中重复使用多次的情况下可以长时间保持良好的导电性能。 各向异性导电连接器具有高耐久性和长寿命。 还公开了这种各向异性导电连接器的应用。 各向异性导电连接器包括弹性各向异性导电膜，该弹性各向异性导电膜设置有多个用于连接的导电部件，所述多个导电部件包含导电粒子并沿着厚度方向延伸，其特征在于，用于连接的导电部件中包含的每个导电粒子通过覆盖 具有由高导电性金属构成的涂层的磁芯颗粒的表面，并且涂层具有高硬度。
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公开(公告)号：WO2004093254A1
公开(公告)日：2004-10-28
申请号：PCT/JP2004/004891
申请日：2004-04-05
IPC分类号： H01R11/01
CPC分类号： H01R13/2414 , G01R1/0735 , H01L23/49827 , H01L23/49838 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： クロック周波数が例えば１ＧＨｚ以上の回路装置についても所期の電気的検査を行うことができる異方導電性コネクターおよびこれを具えた回路装置の電気的検査装置が開示されている。 本発明の異方導電性コネクターは、接続すべき電極に対応するパターンに従って配置された厚み方向に伸びる複数の接続用導電部およびこれらの接続用導電部を相互に絶縁する絶縁部を有する弾性異方導電膜を具えてなる異方導電性コネクターにおいて、前記弾性異方導電膜には、厚み方向に伸びる高周波シールド用導電部が形成されていることを特徴とする。本発明の回路装置の電気的検査装置は、上記の異方導電性コネクターを具えてなることを特徴とする。
摘要翻译： 提供能够对时钟频率例如超过1GHz的电路装置进行预定电气检查的各向异性导电连接器和具有各向异性导电连接器的电路装置电气检查装置。 各向异性导电连接器配有弹性各向异性导电膜。 该薄膜包括多个连接导电部件，该多个连接导电部件根据与图案相连的图案设置，并且朝向厚度方向延伸;以及绝缘部件，用于使连接导电部件彼此绝缘。 各向异性导电连接器的特征在于，在弹性各向异性导电膜内，用于高频屏蔽的导电部件向厚度方向延伸。 电路装置电检装置的特征在于包括这种各向异性导电连接器。
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