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公开(公告)号：WO2005103730A1
公开(公告)日：2005-11-03
申请号：PCT/JP2005/007935
申请日：2005-04-26
IPC: G01R1/06
CPC classification number: A63H29/22 , A63H30/04 , A63H31/00 , F16H48/08 , G01R1/06711 , G01R1/0735 , G01R3/00 , H01L51/5012 , H05B33/14 , Y10T29/49155
Abstract: 本発明のシート状プローブは、多孔膜を備え、多孔膜に形成された複数の貫通孔の各位置に接点膜が貫通支持されるとともに、接点膜の周縁部と多孔膜とが多孔膜の微細孔内に柔軟な樹脂からなる絶縁層が含まれるように一体化されており、絶縁層には複数の電極構造体が貫通するよう支持され、電極構造体の各々は、絶縁層の表面に露出し、絶縁層の表面から突出する表面電極部と絶縁層の裏面に露出する裏面電極部と、表面電極部の基端から連続して絶縁層をその厚み方向に貫通して伸び、裏面電極部に連結された短絡部と、表面電極部の基端部分から連続して絶縁層の表面に沿って外方に伸びる保持部と、絶縁層を支持する支持体と、よりなることを特徴とする。
Abstract translation: 片状探针具有多孔膜，在片状探针中，在形成于多孔膜的贯通孔的各个位置处，将接触膜贯通地支撑在接触膜的周缘部和多孔膜上 在多孔膜的细孔内包含柔性树脂绝缘层。 电极结构体以穿透方式被支撑在绝缘层中。 所述电极结构体各自由暴露于所述绝缘层的前表面并从所述绝缘层的前表面突出的表面电极部，暴露于所述绝缘层的背面的背面电极部，短路部 从前表面电极部分的基端部延伸到其厚度方向上穿过绝缘层并与背面电极部分连接的保持部分沿着绝缘层的前表面向外延伸， 前表面电极部分的端部和用于支撑绝缘层的支撑体。
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公开(公告)号：WO2005103734A1
公开(公告)日：2005-11-03
申请号：PCT/JP2005/007939
申请日：2005-04-26
IPC: G01R1/06
CPC classification number: A63H29/22 , A63H30/04 , A63H31/00 , F16H48/08 , G01R1/06711 , G01R1/0735 , G01R3/00 , H01L51/5012 , H05B33/14 , Y10T29/49155
Abstract: [課題] 微小で微細ピッチな電極を有する回路装置にも安定な接続状態が達成され、電極構造体が絶縁膜から脱落せず高い耐久性が得られ、大面積のウエハや被検査電極のピッチが小さい回路装置に対し、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれが確実に防止され、良好な接続状態が安定に維持されるシート状プローブおよびその製造方法を提供する。 [解決手段] 絶縁層と、この絶縁層にその面方向に互いに離間して配置された、前記絶縁層の厚み方向に貫通して伸びる複数の電極構造体を備えた接点膜を有するシート状プローブであって、電極構造体の各々は、絶縁層の表面に露出し、絶縁層の表面から突出し、その基端から先端に向かうに従って小径となる形状の表面電極部と、絶縁層の裏面に露出する裏面電極部と、表面電極部の基端から連続して前記絶縁層をその厚み方向に貫通して伸び、裏面電極部に連結された短絡部とよりなり、表面電極部の基端の径が、短絡部の表面電極部と接する側の端の径よりも大きく、短絡部の厚みが、前記絶縁層の厚みより大きいことを特徴とする。
Abstract translation: [问题]片状探针和探针的制造方法，其中，即使对于具有细小间隔的小电极的电路器件，探针也可以实现稳定的连接，其中电极结构体不从绝缘膜出来并达到高 耐久性，并且在具有大面积的晶片的老化测试和用于具有小间隔的具有小间隔的电极的电路装置的电极结构体之间的由温度变化引起的位置偏移的情况下， 可以可靠地防止被检查电极，从而稳定地保持良好的连接状态。 解决问题的手段具有绝缘层并且具有设置有绝缘层的电极结构体的接触膜的片状探针在绝缘层的表面方向上彼此分离并且渗透性 在绝缘层的厚度方向上延伸。 电极结构体各自由暴露于绝缘层的前表面的表面电极部分构成，从绝缘层的前表面突出，并且具有从其基端向其头部直径减小的形状， 暴露于绝缘层的背面的背面电极部和从前面电极部的基端延伸的短路部在其厚度方向上贯通绝缘层，并与 背面电极方向。 前表面电极部分的基端的直径大于与前表面电极部分接触的短路部分的直径，并且短路部分的厚度大于厚度 的绝缘部分。
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公开(公告)号：WO2005103732A1
公开(公告)日：2005-11-03
申请号：PCT/JP2005/007937
申请日：2005-04-26
IPC: G01R1/06
CPC classification number: A63H29/22 , A63H30/04 , A63H31/00 , F16H48/08 , G01R1/06711 , G01R1/0735 , G01R3/00 , H01L51/5012 , H05B33/14 , Y10T29/49155
Abstract: [課題] 微小で微細ピッチな電極を有する回路装置にも安定な接続状態が達成され、電極構造体が絶縁層から脱落せず高い耐久性が得られ、大面積のウエハや被検査電極のピッチが小さい回路装置に対し、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれが確実に防止され、良好な接続状態が安定に維持されるシート状プローブおよびその製造方法を提供する。 [解決手段] 本発明のシート状プローブは、厚み方向に伸びる複数の電極構造体を有する絶縁層とこれを指示する支持体とを備え、電極構造体は、絶縁層の表面から突出する表面電極部と、絶縁層の裏面に露出する裏面電極部と、表面電極部の基端から連続して絶縁層の厚み方向に伸び、裏面電極部に連結された短絡部と、表面電極部の基端部分から連続して絶縁層の表面に沿って外側に伸びる保持部とよりなり、本発明の製造方法は表面電極部と短絡部は個別に金属を充填することを特徴とする。
Abstract translation: [问题]为了提供片状探针及其制造方法，即使在微细电极的微细电极装置中也能获得稳定的连接条件，电极结构不会从绝缘层下降并获得高耐久性， 在大面积晶片和具有待测试的小间距电极的电路器件的老化测试中，可以可靠地防止电极结构和由于温度变化而被测试的电极之间的位置偏移，并且优异的连接 条件稳定地保持。 解决问题的手段片状探针设置有具有在厚度方向上延伸的多个电极结构的绝缘层和用于支撑绝缘层的支撑体。 电极结构由从绝缘层的前面突出的正面电极部分，从绝缘层的背面露出的背面电极部分，从基底边缘连续延伸的短路部分 所述绝缘层的厚度方向的前面电极部分与所述背面电极部连接，所述支撑部从所述前面平面电极部的所述基部边缘部沿着所述绝缘层的前方平面延伸到 外部。 在制造方法中，前面平面电极部和短路部分别被金属填充。
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公开(公告)号：WO2006051878A1
公开(公告)日：2006-05-18
申请号：PCT/JP2005/020646
申请日：2005-11-10
CPC classification number: G01R1/0735
Abstract: 検査対象が、直径８インチ以上の大面積のウエハや被検査電極のピッチが極めて小さい回路装置であっても、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれを確実に防止し、これにより良好な電気的接続状態を安定に維持することができるシート状プローブを提供する。 絶縁層と、絶縁層の面方向に互いに離間して配置され、絶縁層の厚み方向に貫通して伸びる複数の電極構造体を備えた接点膜を有し、電極構造体の各々は、絶縁層の表面に露出し、絶縁層の表面から突出する表面電極部と、絶縁層の裏面に露出する裏面電極部と、表面電極部の基端から連続して絶縁層をその厚み方向に貫通して伸び、裏面電極部に連結された短絡部とよりなるとともに、短絡部の上端部分と表面電極部の基端部分との径が異なるよう肩部が設けられ、接点膜は、貫通孔が形成された金属フレーム板の貫通孔の周縁部に支持されているシート状プローブであって、金属フレーム板と裏面電極部とが、異なる金属部材から構成されている。
Abstract translation: 通过在老化试验中，即使是检查对象，也可以确保在电极结构和被检查的电极之间的位置偏移，即使是检查对象，也可以稳定地保持良好的电连接状态的片状探针是大面积的晶片 具有8英寸或更大的直径或者要检查的电极间距极小的电路装置。 片状探针设置有绝缘层，以及具有贯穿绝缘层并在绝缘层的厚度方向上延伸的多个电极结构的接触膜。 每个电极结构从绝缘层的正面露出，并且由从绝缘层的前面突出的前面电极部，从绝缘层的背面露出的背面电极部和 短路部分通过在厚度方向上穿过绝缘层从前平面电极部分的基端连续延伸而连接到后平面电极部分。 片状探针还设置有肩部，以使短路部的上端部的直径与前面电极部的基端部的直径不同。 接触膜由金属框架板的通孔的周边部分支撑，从而形成通孔。 金属框架板和后平面电极部分由不同的金属构件构成。
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公开(公告)号：WO2005103731A1
公开(公告)日：2005-11-03
申请号：PCT/JP2005/007936
申请日：2005-04-26
IPC: G01R1/06
CPC classification number: A63H29/22 , A63H30/04 , A63H31/00 , F16H48/08 , G01R1/06711 , G01R1/0735 , G01R3/00 , H01L51/5012 , H05B33/14 , Y10T29/49155
Abstract: [課題] 微小で微細ピッチな電極を有する回路装置にも安定な接続状態が達成され、電極構造体が絶縁膜から脱落せず高い耐久性が得られ、大面積のウエハや被検査電極のピッチが小さい回路装置に対し、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれが確実に防止され、良好な接続状態が安定に維持されるシート状プローブおよびその製造方法を提供する。 [解決手段] 本発明のシート状プローブは、厚み方向に伸びる複数の電極構造体を有する絶縁層とこれを支持する金属フレーム板とを備え、電極構造体は、絶縁層の表面から突出する表面電極部と、絶縁層の裏面に露出する裏面電極部と、表面電極部の基端から連続して絶縁層の厚み方向に伸び、裏面電極部に連結された短絡部と、表面電極部の基端部分から連続して絶縁層の表面に沿って外側に伸びる保持部とよりなり、本発明の製造方法は表面電極部と短絡部は個別に金属を充填することを特徴とする。
Abstract translation: [问题]为了提供片状探针及其制造方法，即使在微细电路微细电极装置中也能获得稳定的连接条件，电极结构不会从绝缘膜下降并获得高耐久性， 在大面积晶片和具有待测试的小间距电极的电路器件的老化测试中，可以确保在电极结构和由于温度变化而被测试的电极之间的位置偏移，并且优异的连接 条件稳定地保持。 解决问题的手段片状探针设置有具有沿厚度方向延伸的多个电极结构的绝缘层和用于支撑绝缘层的金属框架板。 电极结构由从绝缘层的正面突出的前面电极部分，从绝缘层的背面露出的背面电极部分，从基底边缘连续延伸的短路部分 所述绝缘层的厚度方向的前面电极部分与所述背面电极部连接，所述支撑部从所述前面平面电极部的所述基底边缘部沿着所述绝缘层的前方平面连续地延伸到 外部。 在制造方法中，前面平面电极部分和短路部分分别用金属填充。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2006051880A1
公开(公告)日：2006-05-18
申请号：PCT/JP2005/020648
申请日：2005-11-10
CPC classification number: G01R1/07314
Abstract: 絶縁層と、前記絶縁層の面方向に互いに離間して配置され、さらに前記絶縁層の厚み方向に貫通して伸びる複数の電極構造体を備えた接点膜を有し、前記電極構造体の各々は、前記絶縁層の表面に露出し、さらに前記絶縁層の表面から突出する表面電極部と、前記絶縁層の裏面に露出する裏面電極部と、前記表面電極部の基端から連続して前記絶縁層をその厚み方向に貫通して伸び、前記裏面電極部に連結された短絡部とよりなるとともに、前記短絡部の上端部分と前記表面電極部の基端部分との径が異なるよう肩部が設けられ、前記接点膜は、貫通孔が形成された金属フレーム板の貫通孔の周縁部に支持され、さらに、前記金属フレーム板の外周縁に前記絶縁層とは離間してリング状の支持部材が設けられているシート状プローブであって、 前記絶縁層の熱線膨張係数をＨ１とし、 前記金属フレーム板の熱線膨張係数をＨ２とし、 前記リング状の支持部材の熱線膨張係数をＨ３としたとき、下記の条件（１）～（３）、すなわち、 条件（１）：Ｈ１＝０．８×１０ -5 ～８×１０ -5 ／Ｋ 条件（２）：Ｈ２／Ｈ１＜１ 条件（３）：Ｈ３／Ｈ１＜１ を満足するシート状プローブである。
Abstract translation: 一种片状探针，包括绝缘层和接触膜，所述接触膜设置有沿绝缘层的表面方向设置的多个电极结构，以便彼此分离并在其厚度方向上延伸穿过绝缘层，其中 每个电极结构由暴露于绝缘层的表面然后突出超过绝缘层的表面的前表面电极单元，暴露于绝缘层的后表面的后表面电极单元组成， 电路单元从前表面电极单元的基端在其厚度方向上连续延伸穿过绝缘层并连接到后表面电极单元，其中肩单元设置成使得短路单元的上端部分为 直径与前表面电极单元的基端不同，接触膜被支撑在周边e上 在形成有通孔的金属框架片中的通孔的dge和环形支撑构件设置在远离绝缘层的金属框架片的外周缘上，以下条件（1） - （3 ）满足绝缘层的热膨胀系数为H1，金属框架片H2的热膨胀系数，环形支撑构件H3的热膨胀系数。 条件（1）：H1 = 0.8×10 -5至8×10 -5 / K条件（2）：H2 / H1 <1条件（3）：H3 / H1 <1
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公开(公告)号：WO2006051845A1
公开(公告)日：2006-05-18
申请号：PCT/JP2005/020593
申请日：2005-11-10
CPC classification number: G01R1/07307
Abstract: 直径が８インチ以上で被検査電極のピッチが極めて小さいウエハでも、良好な電気的接続状態が確実に達成され、温度変化による位置ずれが防止され、良好な電気的接続状態が安定に維持される探針部材、プローブカードおよびウエハ検査装置の提供。 本発明の探針部材は、開口が形成された金属よりなるフレーム板、およびその表面に、開口を塞ぐよう配置されて支持された複数の接点膜よりなり、接点膜は、柔軟な絶縁膜に複数の電極構造体が配置されてなるシート状プローブと、複数の開口が形成されたフレーム板、およびこのフレーム板に、それぞれ一の開口を塞ぐよう配置されて支持された複数の弾性異方導電膜よりなり、シート状プローブの裏面に配置された異方導電性コネクターとを有し、シート状プローブにおけるフレーム板の開口は、異方導電性コネクターのフレーム板における面方向の外形を受容し得る大きさとされている。
Abstract translation: 可靠地获得良好的电连接状态的探针构件，探针卡和晶片检查装置被防止由于温度变化引起的位置偏移，并且即使对于直径为8英寸的晶片也能够稳定地维持良好的电连接状态 以上，并配置有以极小间距进行检查的电极。 探针构件包括具有开口的金属框架板和支撑在其表面上并设置成闭合开口的多个接触膜。 接触膜包括片状探针，其中多个电极结构布置在柔性绝缘膜上，具有多个开口的框架板和由支撑在框架上的多个弹性各向异性导电膜构成的各向异性导电连接器 并且设置成分别关闭一个开口，并且布置在片状探针的后表面上，其中片状探针的框架板中的开口足够大以在其平面中接收各向异性导电连接器的轮廓 框架板的方向。
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公开(公告)号：WO2006046650A1
公开(公告)日：2006-05-04
申请号：PCT/JP2005/019799
申请日：2005-10-27
CPC classification number: G01R1/0735
Abstract: 直径が８インチ以上で被検査電極のピッチが極めて小さいウエハでも、良好な電気的接続状態が確実に達成され、温度変化による位置ずれが防止され、良好な電気的接続状態が安定に維持される探針部材、プローブカードおよびウエハ検査装置が開示されている。 本発明の探針部材は、複数の開口が形成された金属よりなるフレーム板、およびその表面に、それぞれ開口を塞ぐよう配置されて支持された複数の接点膜よりなり、接点膜の各々は、柔軟な絶縁膜に複数の電極構造体が配置されてなるシート状プローブと、複数の開口が形成されたフレーム板、およびこのフレーム板に、それぞれ一の開口を塞ぐよう配置されて支持された複数の弾性異方導電膜よりなり、シート状プローブの裏面に配置された異方導電性コネクターとを有し、シート状プローブにおけるフレーム板の開口の各々は、弾性異方導電膜における面方向の外形を受容し得る大きさとされている。
Abstract translation: 即使在具有8英寸以上的直径的晶片的情况下，也能够稳定地实现由于温度变化引起的位置偏移而稳定且稳定地实现良好的电连接状态的探针构件，探针卡和晶片检查设备，并且极小 正在检查的电极间距。 探针构件包括由设置有多个开口的金属框架板和设置并支撑在其表面上的多个接触膜组成的片状探针，以便关闭各个开口，每个接触膜由多个 布置在软绝缘膜上的电极结构以及由设置有多个开口的框架板和多个弹性各向异性导电膜组成的各向异性导电连接器，所述多个弹性各向异性导电膜设置并支撑在该框架上，以便封闭相应的开口并且被布置在 片状探针的后表面，其中片状探针中的框架板的每个开口足够大以在平面方向上接收弹性各向异性导电膜的轮廓。
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公开(公告)号：WO2005103735A1
公开(公告)日：2005-11-03
申请号：PCT/JP2005/007811
申请日：2005-04-25
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R1/07314 , G01R1/0735 , G01R3/00
Abstract: 径が小さい表面電極部の形成が可能で、ピッチが小さい電極を有する回路装置にも安定な接続状態が達成され、電極構造体が絶縁膜から脱落せずに高い耐久性が得られ、大面積のウエハや被検査電極のピッチが小さい回路装置に対し、バーンイン試験において、温度変化による電極構造体と被検査電極との位置ずれが確実に防止され、良好な接続状態が安定に維持されるシート状プローブおよびその製造方法並びにその応用が開示されている。 本発明のシート状プローブは、絶縁膜およびその厚み方向に伸びる複数の電極構造体を有する接点膜と、これを支持する金属製の支持膜とを具え、電極構造体は、絶縁膜の表面から突出する表面電極部と、絶縁膜の裏面に露出する裏面電極部と、表面電極部の基端から連続して絶縁膜の厚み方向に伸び、裏面電極部に連結された短絡部と、表面電極部の基端部分から連続して絶縁膜の表面に沿って外方に伸びる保持部とよりなる。
Abstract translation: 提供片状探针，探针的制造方法和探针的应用，通过该方法可以形成小直径的表面电极部分，即使对于具有小间距的电路器件也可以获得稳定的连接状态 电极，通过防止电极结构从绝缘膜掉落，可以获得高耐久性，可以可靠地防止电极结构从老化试验中的温度变化引起的被检查电极的位置偏移， 具有要测试的小间距电极的电路器件和连接状态可以稳定地保持。 片状探针设置有具有绝缘膜的接触点膜和沿绝缘膜的厚度方向延伸的多个电极结构以及由用于支撑接触膜的金属制成的支撑膜。 电极结构由从绝缘膜的前表面突出的前表面电极部分，暴露在绝缘膜的后表面上的后表面电极部分，从基底边缘连续延伸的短路部分 绝缘膜的厚度方向上的前表面电极部分，并且与背面电极部分相连，并且沿着绝缘膜的前表面从前表面电极部分的基部边缘部分连续向外延伸的支撑部分。
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公开(公告)号：WO2005103733A1
公开(公告)日：2005-11-03
申请号：PCT/JP2005/007938
申请日：2005-04-26
IPC: G01R1/06
CPC classification number: A63H29/22 , A63H30/04 , A63H31/00 , F16H48/08 , G01R1/06711 , G01R1/0735 , G01R3/00 , H01L51/5012 , H05B33/14 , Y10T29/49155
Abstract: 電極構造体の各々は、絶縁層の表面に露出し、絶縁層の表面から突出し、その基端から先端に向かうに従って小径となる形状の表面電極部と、絶縁層の裏面に露出する裏面電極部と、表面電極部の基端から連続して前記絶縁層をその厚み方向に貫通して伸び、裏面電極部に連結された短絡部とよりなり、表面電極部の基端の径が、短絡部の表面電極部と接する側の端の径よりも大きいことを特徴とするシート状プローブ。
Abstract translation: 一种片状探针，其中电极结构体各自由暴露于绝缘层的前表面的前表面电极部分，从绝缘层的前表面突出并且具有从基底的直径减小的形状 前表面电极部分的端部朝向其头部，暴露于绝缘层的背面的背面电极部分和从前表面电极部分的基端连续延伸的短路部分，穿过绝缘层 其厚度方向，并连接到背面电极部分。 表面电极的基端的直径大于与前表面电极部分接触的短路部的端部的直径。
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