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WO2008006900A1 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES KERAMIKSUBSTRATS SOWIE KERAMIKSUBSTRAT
审中-公开
一种用于生产陶瓷基板与陶瓷基板
- Patent Title: VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES KERAMIKSUBSTRATS SOWIE KERAMIKSUBSTRAT
- Patent Title (English): Method for the production of a ceramic substrate, and a ceramic substrate
- Patent Title (中): 一种用于生产陶瓷基板与陶瓷基板
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Application No.: PCT/EP2007/057241Application Date: 2007-07-13
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Publication No.: WO2008006900A1Publication Date: 2008-01-17
- Inventor: EBERT, Marco , HENRICH, Martin , LAUER, Andreas , NAUDITT, Gotthard , SCHEIBEL, Thorsten , WEISS, Roland
- Applicant: SCHUNK KOHLENSTOFFTECHNIK GMBH , EBERT, Marco , HENRICH, Martin , LAUER, Andreas , NAUDITT, Gotthard , SCHEIBEL, Thorsten , WEISS, Roland
- Applicant Address: Rodheimer Str. 59 35452 Heuchelheim DE
- Assignee: SCHUNK KOHLENSTOFFTECHNIK GMBH,EBERT, Marco,HENRICH, Martin,LAUER, Andreas,NAUDITT, Gotthard,SCHEIBEL, Thorsten,WEISS, Roland
- Current Assignee: SCHUNK KOHLENSTOFFTECHNIK GMBH,EBERT, Marco,HENRICH, Martin,LAUER, Andreas,NAUDITT, Gotthard,SCHEIBEL, Thorsten,WEISS, Roland
- Current Assignee Address: Rodheimer Str. 59 35452 Heuchelheim DE
- Agency: STOFFREGEN, Hans-Herbert
- Priority: DE10 20060713
- Main IPC: C04B35/573
- IPC: C04B35/573 ; H01L21/02
Abstract:
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines Keramiksubstrats eines Halbleiterbauelementes, das durch die Verfahrensschritte gekennzeichnet ist: Herstellen eines Papiers enthaltend zumindest Cellulosefasern sowie zu carbonisierenden Füllstoff und/oder SiC; Pyrolysieren des hergestellten Papiers; und Silizieren des pyrolysierten Papiers.
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IPC分类:
