Invention Application
- Patent Title: 放電ランプ、光源装置、露光装置、及び露光装置の製造方法
- Patent Title (English): Discharge lamp, light source apparatus, exposure apparatus and exposure apparatus manufacturing method
- Patent Title (中): 放电灯,光源装置,曝光装置和曝光装置制造方法
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Application No.: PCT/JP2007/066947Application Date: 2007-08-30
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Publication No.: WO2008026709A1Publication Date: 2008-03-06
- Inventor: 白数 廣 , 青木 保夫 , 小山 元夫 , 菊池 孝幸
- Applicant: 株式会社ニコン , 白数 廣 , 青木 保夫 , 小山 元夫 , 菊池 孝幸
- Applicant Address: 〒1008331 東京都千代田区丸の内3丁目2番3号 Tokyo JP
- Assignee: 株式会社ニコン,白数 廣,青木 保夫,小山 元夫,菊池 孝幸
- Current Assignee: 株式会社ニコン,白数 廣,青木 保夫,小山 元夫,菊池 孝幸
- Current Assignee Address: 〒1008331 東京都千代田区丸の内3丁目2番3号 Tokyo JP
- Agency: 大森 聡
- Priority: JP2006-237252 20060901; JP2007-006462 20070115; JP2007-127451 20070511
- Main IPC: H01J5/50
- IPC: H01J5/50 ; F21V29/00 ; H01J61/52 ; H01J61/86 ; H01L21/027 ; H01R33/22
Abstract:
取り付け機構に対する放電ランプの装着等を容易に短時間に行うことができる光源装置である。発光部を形成するガラス管(25)とこれに連結された口金部(26)とを有する放電ランプ(1)と、口金部(26)を介して放電ランプ(1)を保持する取り付け装置(31)とを備えた光源装置であって、口金部(26)は、取り付け装置(31)の位置決め板(50)と当接するフランジ部(26a)と、フランジ部(26a)を位置決め板(50)に押圧する押圧力が付勢される固定部(26h)とを有し、取り付け装置(31)は、圧縮コイルばね(44A)によって固定部(26h)を付勢する固定用アーム(55A)を有する。
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