放電ランプ、光源装置、露光装置、及び露光装置の製造方法
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    发明申请
    放電ランプ、光源装置、露光装置、及び露光装置の製造方法 审中-公开
    放电灯,光源装置,曝光装置和曝光装置制造方法

    公开(公告)号:WO2008026709A1

    公开(公告)日:2008-03-06

    申请号:PCT/JP2007/066947

    申请日:2007-08-30

    Abstract:  取り付け機構に対する放電ランプの装着等を容易に短時間に行うことができる光源装置である。発光部を形成するガラス管(25)とこれに連結された口金部(26)とを有する放電ランプ(1)と、口金部(26)を介して放電ランプ(1)を保持する取り付け装置(31)とを備えた光源装置であって、口金部(26)は、取り付け装置(31)の位置決め板(50)と当接するフランジ部(26a)と、フランジ部(26a)を位置決め板(50)に押圧する押圧力が付勢される固定部(26h)とを有し、取り付け装置(31)は、圧縮コイルばね(44A)によって固定部(26h)を付勢する固定用アーム(55A)を有する。

    Abstract translation: 提供了一种光源装置,其中可以在短时间内容易地执行放电灯到安装机构的安装等。 光源装置设置有具有用于形成发光部的玻璃管(25)和与玻璃管连接的卡口盖(26)的放电灯(1)。 光源装置还设有用于通过卡口盖(26)保持放电灯(1)的安装装置(31)。 卡刀帽(26)设置有与安装装置(31)的定位板(50)抵接的凸缘部(26a),以及用于按压凸缘部的按压力的固定部(26h) 26a)连接到定位板(50)。 安装装置(31)具有用于通过压缩螺旋弹簧(44A)推压固定部(26h)的固定臂(55A)。

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