感放射線性樹脂組成物

Invention Application

WO2008133270A1 感放射線性樹脂組成物审中-公开

Title translation: 辐射敏感性树脂组合物

Abstract:

　一般式（１）（２０モル％以上）、（２）及び（３）の繰り返し単位を有する樹脂（Ａ）と、感放射線性酸発生剤（Ｂ）とを含有する感放射線性樹脂組成物。レジストとしての基本物性に優れ、且つ、孤立ラインの性能および欠陥性能に優れた化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。

Abstract(Chinese):

包含具有通式（1），（2）和（3）的重复单元的辐射敏感性酸产生剂（B）和树脂（A））的辐射敏感性树脂组合物，其中通式 1）为20摩尔％以上。该放射线敏感性树脂组合物可用作抗蚀剂的基本性能优异的化学放大型抗蚀剂，隔离线性能和缺陷性能优异。（1）（2）（3）

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Global Dossier Patent Scope Espacenet

IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）
G03F7/004	.感光材料（G03F7/12，G03F7/14优先）
G03F7/039	..可光降解的高分子化合物，例如，正电子抗蚀剂（G03F7/075优先；高分子苯醌重氮化合物入G03F7/023）