公开(公告)号：WO2008133270A1

公开(公告)日：2008-11-06

申请号：PCT/JP2008/057839

申请日：2008-04-23

Applicant: JSR株式会社 ,  志水 誠 ,  成岡 岳彦 ,  大泉 芳史 ,  川上 峰規 ,  松村 信司 ,  大塚 昇

Inventor： 志水 誠 ,  成岡 岳彦 ,  大泉 芳史 ,  川上 峰規 ,  松村 信司 ,  大塚 昇

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0397 ,  G03F7/0045

Abstract: 　一般式（１）（２０モル％以上）、（２）及び（３）の繰り返し単位を有する樹脂（Ａ）と、感放射線性酸発生剤（Ｂ）とを含有する感放射線性樹脂組成物。レジストとしての基本物性に優れ、且つ、孤立ラインの性能および欠陥性能に優れた化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。

Abstract translation: 包含具有通式（1），（2）和（3）的重复单元的辐射敏感性酸产生剂（B）和树脂（A））的辐射敏感性树脂组合物，其中通式 1）为20摩尔％以上。 该放射线敏感性树脂组合物可用作抗蚀剂的基本性能优异的化学放大型抗蚀剂，隔离线性能和缺陷性能优异。 （1）（2）（3）

公开(公告)号：WO2009020029A1

公开(公告)日：2009-02-12

申请号：PCT/JP2008/063702

申请日：2008-07-30

Applicant: JSR株式会社 ,  大塚 昇 ,  川上 峰規 ,  西村 幸生 ,  杉浦 誠

Inventor： 大塚 昇 ,  川上 峰規 ,  西村 幸生 ,  杉浦 誠

IPC: G03F7/039 ,  C08F220/12 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08F220/12 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 　本発明の目的は、レジストとしての基本物性に優れるとともに、コンタクトホールパターンを形成する際における円形性及びＣＤ　Ｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙに優れる感放射線性樹脂組成物を提供することである。本感放射線性樹脂組成物は、酸の作用によりアルカリ可溶性となる酸解離性基含有樹脂（Ａ）と、酸発生剤（Ｂ）と、溶剤（Ｃ）とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、前記樹脂（Ａ）は、下記一般式（１）及び（２）で表される各繰り返し単位を含むものである。 〔Ｒ １ 及びＲ ２ は、各々、水素原子又は炭素数１～４の置換基を有してもよいアルキル基、Ｒ ３ は炭素数１～４の置換基を有してもよいアルキル基、Ｘは水素原子、ヒドロキシル基又はアシル基を示し、ｍは１～１８の整数、ｎは４～８の整数である。〕

Abstract translation: 不仅优异的抗蚀剂的基本性能，而且在形成接触孔图案中的放射敏感性树脂组合物的圆形度和CD均匀性均优异。 放射敏感性树脂组合物是含有酸解离基团的组合物，其含有树脂（A）通过酸，酸产生剂（B）和溶剂（C）在碱中溶解，其中树脂（A）含有任何 的通式（1）的重复单元和通式（2）的任何重复单元。 （1）（2）式中，R 1和R 2各自为氢原子或任意具有C 1〜C 4取代基的烷基; R3是任选具有C1-C4取代基的烷基; X是氢原子，羟基或酰基; m为1〜18的整数。 n为4〜8的整数。