Invention Application
- Patent Title: MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT SCHRÄGSTRUKTUR UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN
- Patent Title (English): MICROMECHANICAL COMPONENT HAVING A SLANTED STRUCTURE AND CORRESPONDING PRODUCTION METHOD
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Application No.: PCT/EP2008/066388Application Date: 2008-11-28
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Publication No.: WO2009124605A3Publication Date: 2009-10-15
- Inventor: PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
- Applicant: ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
- Applicant Address: Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- Assignee: ROBERT BOSCH GMBH,PIRK, Tjalf,PINTER, Stefan,BENZEL, Hubert,WEBER, Heribert,KRUEGER, Michael,SATTLER, Robert,NJIKAM NJIMONZIE, Frederic,MUCHOW, Joerg,FRITZ, Joachim,SCHELLING, Christoph,FRIESE, Christoph
- Current Assignee: ROBERT BOSCH GMBH,PIRK, Tjalf,PINTER, Stefan,BENZEL, Hubert,WEBER, Heribert,KRUEGER, Michael,SATTLER, Robert,NJIKAM NJIMONZIE, Frederic,MUCHOW, Joerg,FRITZ, Joachim,SCHELLING, Christoph,FRIESE, Christoph
- Current Assignee Address: Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- Agency: ROBERT BOSCH GMBH
- Priority: DE10 20080408
- Main IPC: B81C1/00
- IPC: B81C1/00
Abstract:
Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement mit Schrägstruktur und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Das Bauelement umfasst ein Substrat (1) mit einer Oberfläche (O); einen ersten Anker (3e; 3e'), welcher auf der Oberfläche (O) des Substrats (1) vorgesehen ist und welcher sich vom Substrat (1) weg erstreckt; und mindestens einen an einer Seitenfläche (S1, S2; S1'; S1'') des Ankers (3e; 3e') vorgesehenen Ausleger (3c, 3d; 3c; 3c'), welcher schräg vom Anker (3e; 3e') weggerichtet ist.
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