公开(公告)号：WO2007073994A1

公开(公告)日：2007-07-05

申请号：PCT/EP2006/068711

申请日：2006-11-21

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  MUCHOW, Joerg ,  BENZEL, Hubert ,  ARMBRUSTER, Simon ,  SCHELLING, Christoph

Inventor： MUCHOW, Joerg ,  BENZEL, Hubert ,  ARMBRUSTER, Simon ,  SCHELLING, Christoph

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0054 ,  G01L9/0055

Abstract: Es wird ein mikromechanisches Sensorelement (1) mit einer geschlossenen, in einem Rahmen (3) aufgespannten Membran (2), vorgeschlagen, das eine hohe Empfindlichkeit bei hoher Überlastfestigkeit und kleiner Baugröße aufweist und eine piezoresistive Messwerterfassung ermöglicht. Dazu ist im Bereich der Membran (2) mindestens ein Trägerelement (4) ausgebildet, das über mindestens einen Verbindungssteg (5) mit dem Rahmen (3) verbunden ist. Außerdem sind im Bereich des Verbindungsstegs (5) Piezowiderstände (6) zur Detektion einer Deformation angeordnet.

Abstract translation: 它是一种微机械传感器元件（1）具有封闭，在一个框架（3）被夹持的方案（2）隔膜，其具有在高过载能力的高灵敏度和小的结构尺寸，并且使得压阻采集测量值。 通过在膜的区域中形成（2）至少一个承载元件（4），其经由至少一个连接网（5）连接到所述框架（3）。 另外，（5）压电电阻器（6）被设置用于在连接腹板的区域检测的变形。

公开(公告)号：WO2006087045A1

公开(公告)日：2006-08-24

申请号：PCT/EP2005/057023

申请日：2005-12-21

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  ILLING, Matthias ,  WEBER, Heribert ,  SCHELLING, Christoph ,  STAHL, Heiko ,  WEISS, Stefan

Inventor： ILLING, Matthias ,  WEBER, Heribert ,  SCHELLING, Christoph ,  STAHL, Heiko ,  WEISS, Stefan

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81C1/00158 ,  B81B2201/0264 ,  B81C1/00476 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2201/053

Abstract: Die vorliegende Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Membransensors bzw. einen mit dem Verfahren hergestellten mikromechanischen Membransensor. Dabei ist vorgesehen, dass der mikromechanische Membransensor wenigstens eine erste Membran und eine im Wesentlichen über der ersten Membran liegende zweite Membran aufweist. Weiterhin ist vorgesehen, dass der mikromechanische Membransensor einen ersten Hohlraum und einen im Wesentlichen über dem ersten Hohlraum liegenden zweiten Hohlraum aufweist.

Abstract translation: 本发明描述了一种用于制造微机械膜型传感器或通过该方法制备的微机械膜型传感器的方法。 它提供了微机械膜型传感器具有至少一个第一膜和一个基本上覆盖所述第一膜第二膜。 它进一步提供的是微机械膜型传感器具有第一腔体和基本上高于所述第一空腔第二空腔。

公开(公告)号：WO2005044720A1

公开(公告)日：2005-05-19

申请号：PCT/DE2004/001954

申请日：2004-09-03

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  FUERTSCH, Matthias ,  WEBER, Heribert ,  GRUEN, Detlef ,  DUELL, Andreas ,  SCHELLING, Christoph ,  EBERLE-GOUBET, Klaus ,  BAISCH, Joerg

Inventor： FUERTSCH, Matthias ,  WEBER, Heribert ,  GRUEN, Detlef ,  DUELL, Andreas ,  SCHELLING, Christoph ,  EBERLE-GOUBET, Klaus ,  BAISCH, Joerg

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0072 ,  B81B2201/0264

Abstract: Der Erfindung beschreibt ein mikromechanisches Bauelement bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements, welches wenigstens einen ersten, einen zweiten und einen dritten Bereich aufweist. Der erste und der zweite Bereich des mikromechanischen Bauelements weist dabei vorteilhafterweise den gleichen Schichtaufbau auf. Zwischen dem ersten und dem zweiten Bereich ist der dritte Bereich angeordnet. Während der Nutzung des mikromechanischen Bauelements beispielsweise als Halterung eines Sensorelements können auf den Bauelement Risse entstehen. Diese Risse können sich unter ungünstigen Umständen auf der Oberfläche des mikromechanischen Bauelements vergrößern bzw. ausbreiten. Beim Aufbau der drei Bereiche ist dabei vorgesehen, dass der dritte Bereich im Vergleich zum ersten und/oder zweiten Bereich höhere Anfälligkeit der Rissausbreitung aufweist. Erfindungsgemäß sind der dritte Bereich und die beiden anderen Bereiche derart gestaltet, dass die Rissausbreitung vorzugsweise im dritten Bereich an vorgebbaren Positionen auf den Bauelement gestoppt wird.

Abstract translation: 本发明描述了一种微型机械装置和用于制造具有至少一个第一，第二和第三区域的微机械部件的方法。 微机械部件的第一和第二区域具有在该情况下有利的是相同的层结构。 在第一和第二区域之间，所述第三区域被设置。 虽然使用了微机械部件的，例如，作为传感器元件的保持器可在组分发生裂纹。 这些裂纹可不利条件下的微机械装置或扩散的表面上而增加。 在三个区域的构造中规定，所述第三区域具有更高的易感性裂纹扩展相比，第一和/或第二区域。 根据本发明的第三区域和其它两个区域被配置为使得裂纹扩展在第三区域优选停止在设备上的预定位置。

公开(公告)号：WO2009124605A3

公开(公告)日：2009-10-15

申请号：PCT/EP2008/066388

申请日：2008-11-28

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  PIRK, Tjalf ,  PINTER, Stefan ,  BENZEL, Hubert ,  WEBER, Heribert ,  KRUEGER, Michael ,  SATTLER, Robert ,  NJIKAM NJIMONZIE, Frederic ,  MUCHOW, Joerg ,  FRITZ, Joachim ,  SCHELLING, Christoph ,  FRIESE, Christoph

Inventor： PIRK, Tjalf ,  PINTER, Stefan ,  BENZEL, Hubert ,  WEBER, Heribert ,  KRUEGER, Michael ,  SATTLER, Robert ,  NJIKAM NJIMONZIE, Frederic ,  MUCHOW, Joerg ,  FRITZ, Joachim ,  SCHELLING, Christoph ,  FRIESE, Christoph

IPC: B81C1/00

Abstract: Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement mit Schrägstruktur und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Das Bauelement umfasst ein Substrat (1) mit einer Oberfläche (O); einen ersten Anker (3e; 3e'), welcher auf der Oberfläche (O) des Substrats (1) vorgesehen ist und welcher sich vom Substrat (1) weg erstreckt; und mindestens einen an einer Seitenfläche (S1, S2; S1'; S1'') des Ankers (3e; 3e') vorgesehenen Ausleger (3c, 3d; 3c; 3c'), welcher schräg vom Anker (3e; 3e') weggerichtet ist.

公开(公告)号：WO2009095108A3

公开(公告)日：2009-08-06

申请号：PCT/EP2008/065532

申请日：2008-11-14

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  PIRK, Tjalf ,  PINTER, Stefan ,  BENZEL, Hubert ,  WEBER, Heribert ,  KRUEGER, Michael ,  SATTLER, Robert ,  NJIKAM NJIMONZIE, Frederic ,  MUCHOW, Joerg ,  FRITZ, Joachim ,  SCHELLING, Christoph ,  FRIESE, Christoph

Inventor： PIRK, Tjalf ,  PINTER, Stefan ,  BENZEL, Hubert ,  WEBER, Heribert ,  KRUEGER, Michael ,  SATTLER, Robert ,  NJIKAM NJIMONZIE, Frederic ,  MUCHOW, Joerg ,  FRITZ, Joachim ,  SCHELLING, Christoph ,  FRIESE, Christoph

IPC: B81B7/00

Abstract: Das erfindungsgemäße Festkörpergelenk (16) zum Aufhängen einer mikromechanischen Einrichtung (2) beinhaltet einen tragenden Balken (17) und eine auf dem tragenden Balken (17) aufgebrachte dünne Schicht (22). Die dünne Schicht ragt seitlich über den tragenden Balken (17) hin. In der dünnen Schicht (22) sind ein oder mehrere Leiterbahnen (18) eingebettet.

公开(公告)号：WO2009089946A2

公开(公告)日：2009-07-23

申请号：PCT/EP2008/065572

申请日：2008-11-14

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  BENZEL, Hubert ,  SCHELLING, Christoph

Inventor： BENZEL, Hubert ,  SCHELLING, Christoph

IPC: B81B3/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/042 ,  G02B26/0825 ,  G02B26/0858

Abstract: Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil (10) mit einer Halterung (12) mit einer an einer Oberfläche der Halterung (12) ausgebildeten Aussparung (14); einer Membran (16), welche die Aussparung (14) zumindest teilweise abdeckt; mindestens einem auf der Membran (16) angeordneten Aktivelement (24) mit Spannungsanschlüssen; wobei das Aktivelement (24) dazu ausgebildet ist, bei Anlegen einer Spannung an das Aktivelement (24) seine räumliche Ausdehnung zu variieren und die Membran (16) zu verformen; und einem auf der Membran (16) angeordneten Mikroelement (22), welches über ein Verformen der Membran (16) durch Anlegen der Spannung an das Aktivelement (24) verstellbar ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil (10) und ein Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Bauteils (10).

Abstract translation: 本发明涉及一种具有在支架的一个表面上的保持器（12）配有一微机械部件（10）（12）形成的凹槽（14）; 的膜（16）连接所述凹部（14）至少部分地覆盖; 至少一个在所述膜（16）布置成与电压端子有源元件（24）; 其中所述有源元件（24）适于在施加电压以改变所述有源元件（24），其空间膨胀和变形膜（16）; 和布置成一个，其是可调节由所述膜（16）的变形而通过将电压施加到所述有源元件（24）的膜（16）的微元件（22）上。 此外，本发明涉及一种用于微机械部件（10）和用于操作的微机械部件（10）的方法的制造方法。

公开(公告)号：WO2007107461A1

公开(公告)日：2007-09-27

申请号：PCT/EP2007/052227

申请日：2007-03-09

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  BENZEL, Hubert ,  ILLING, Matthias ,  LAERMER, Franz ,  KRONMUELLER, Silvia ,  FARBER, Paul ,  ARMBRUSTER, Simon ,  LAMMEL, Gerhard ,  REICHENBACH, Ralf ,  SCHELLING, Christoph ,  FEYH, Ando

Inventor： BENZEL, Hubert ,  ILLING, Matthias ,  LAERMER, Franz ,  KRONMUELLER, Silvia ,  FARBER, Paul ,  ARMBRUSTER, Simon ,  LAMMEL, Gerhard ,  REICHENBACH, Ralf ,  SCHELLING, Christoph ,  FEYH, Ando

IPC: H01L21/225

CPC classification number: H01L21/228 ,  H01L21/02378 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02658 ,  H01L21/02667 ,  H01L21/223 ,  H01L21/225 ,  H01L21/324

Abstract: Die Erfindung schafft ein Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterstruktur mit den Schritten: Bereitstellen eines kristallinen Halbleitersubstrats (1); Vorsehen eines porösen Bereichs (10) angrenzend an einer Oberfläche (OF) des Halbleitersubstrats (1); Einbringen von einem Dotierstoff (12) in den porösen Bereich (10) von der Oberfläche (OF) aus; und thermisches Rekristallisieren des porösen Bereich (10) in einen kristallinen Dotierungsbereich (10') des Halbleitersubstrats (1), dessen Dotierungsart und/oder Dotierungskonzentration und/oder Dotierungsverteilung von derjenigen bzw. denjenigen des Halbleitersubstrat (1) abweicht. Die Erfindung schafft ebenfalls eine entsprechende Halbleiterstruktur.

Abstract translation: 本发明提供了一种生产半导体结构，包括以下步骤的方法：提供一结晶半导体基板（1）; 所述半导体衬底的（OF）（1）提供多孔区（10）相邻的一个表面上; 从表面（OF）的引入掺杂剂（12）插入多孔区（10）; 偏离和所述半导体基板的在结晶杂质区（10“）的热重结晶多孔区（10）（1）中，从那个或那些半导体衬底的掺杂类型和/或掺杂浓度和/或掺杂分布（1）。 本发明还提供了相应的半导体结构。

公开(公告)号：WO2007071515A1

公开(公告)日：2007-06-28

申请号：PCT/EP2006/068758

申请日：2006-11-22

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  BENZEL, Hubert ,  ARMBRUSTER, Simon ,  LAMMEL, Gerhard ,  SCHELLING, Christoph ,  BRASAS, Joerg

Inventor： BENZEL, Hubert ,  ARMBRUSTER, Simon ,  LAMMEL, Gerhard ,  SCHELLING, Christoph ,  BRASAS, Joerg

IPC: G01L9/12

CPC classification number: G01L9/0073

Abstract: Mit der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen kapazitiven Druckwandlers bzw. ein mit diesem Verfahren hergestelltes mikromechanisches Bauelement beschrieben. Zunächst wird dabei eine erste Elektrode in einem dotierten Halbleitersubstrat erzeugt. In einem weiteren Verfahrensschritt wird eine Membran mit einer zweiten Elektrode an der Oberfläche des Halbleitersubstrats erzeugt. Weiterhin ist vorgesehen, dass eine erste Schicht, die vorzugsweise aus dielektrischem Material besteht, auf die Membran und das Halbleitersubstrat aufgebracht wird. Mittels dieser ersten Schicht werden die Membran und das Halbleitersubstrat des fertigen mikromechanischen kapazitiven Druckwandlers direkt oder indirekt miteinander mechanisch verbunden. Weiterhin wird zwischen der ersten und der zweiten Elektrode eine vergrabene Kaverne in dem Halbleitersubstrat erzeugt. Mit einem nachfolgenden Ätzschritt durch Öffnungen in der ersten Schicht wird abschließend die Membran aus dem Halbleitersubstrat herausgelöst, wobei die mechanische Verbindung von der Membran zum Halbleitersubstrat mittels der ersten Schicht erfolgt. Diese mechanische Verbindung erlaubt der Membran bzw. der zweiten Elektrode eine bewegliche Aufhängung oberhalb der ersten Elektrode.

Abstract translation: 与本发明的用于制造微机械电容式压力传感器或者用此方法微机械部件制造的产品的方法进行说明。 首先，虽然形成在掺杂的半导体衬底中的第一电极。 在进一步的处理步骤中，半导体衬底的表面上产生具有第二电极的膜。 它进一步提供的是一个第一层，其优选地由介电材料被施加到所述隔膜和所述半导体衬底。 通过该第一层，所述隔膜和所述成品微机械电容式压力传感器直接或间接地连接到彼此机械的所述半导体衬底的装置。 此外，形成在第一和第二电极之间的半导体衬底的掩埋空腔。 通过在所述第一层中的开口的后续蚀刻步骤中，将膜最终从半导体基底上除去，膜的机械连接通过所述第一层进行对半导体衬底。 这种机械连接允许所述隔膜和所述第二电极是所述第一电极的上方的可动悬浮液。

公开(公告)号：WO2004100256A1

公开(公告)日：2004-11-18

申请号：PCT/DE2004/000821

申请日：2004-04-20

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  SCHELLING, Christoph ,  VOSSENBERG, Heinz-Georg ,  DUELL, Andreas ,  SCHAEFER, Frank ,  BENZEL, Hubert ,  NITSCHE, Juergen ,  JUNGER, Andreas ,  MUCHOW, Joerg

Inventor： SCHELLING, Christoph ,  VOSSENBERG, Heinz-Georg ,  DUELL, Andreas ,  SCHAEFER, Frank ,  BENZEL, Hubert ,  NITSCHE, Juergen ,  JUNGER, Andreas ,  MUCHOW, Joerg

IPC: H01L21/762

CPC classification number: H01L21/76245

Abstract: Es wird eine Vorrichtung mit einer Halbleiterschaltung (21) und einem Substrat (10) vorgeschlagen, wobei eine thermische und/oder mechanische Entkopplung mittels einer Entkopplungsstruktur (30, 31) vorgesehen ist.

Abstract translation: 它提出了一种具有半导体电路（21）和一个衬底（10），其中，去耦结构（30，31）的热和/或机械去耦装置，提供了一种装置。

公开(公告)号：WO2009086978A3

公开(公告)日：2010-04-01

申请号：PCT/EP2008065575

申请日：2008-11-14

Applicant: BOSCH GMBH ROBERT ,  PIRK TJALF ,  PINTER STEFAN ,  BENZEL HUBERT ,  WEBER HERIBERT ,  KRUEGER MICHAEL ,  SATTLER ROBERT ,  MUCHOW JOERG ,  FRITZ JOACHIM ,  SCHELLING CHRISTOPH ,  FRIESE CHRISTOPH

Inventor： PIRK TJALF ,  PINTER STEFAN ,  BENZEL HUBERT ,  WEBER HERIBERT ,  KRUEGER MICHAEL ,  SATTLER ROBERT ,  MUCHOW JOERG ,  FRITZ JOACHIM ,  SCHELLING CHRISTOPH ,  FRIESE CHRISTOPH

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00666 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/019 ,  B81C1/00166 ,  B81C2201/0167 ,  H02N1/002

Abstract: The invention relates to a production method for a micromechanical electrostatic adjuster device (10), comprising the steps: application of a first conducting layer (12) to a substrate (28,30), etching the first conducting layer (12) to form at least one first electrode (16) in the material of the first conducting layer (12), application of a separation layer (32a) to the first conducting layer (12), application of a second conducting layer to the separation layer (32a), etching the second conducting layer to form at least one second electrode (22) in the material of the second conducting layer and application of a cover layer (40) to the second electrode (22) and bending the second electrode (22) by means of a mechanical compression load exerted on the second electrode (22) by means of the cover layer (40). The invention further relates to a corresponding micromechanical electrostatic adjuster device.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于微机械静电调节器（10）的制造方法，包括以下步骤：基部（28,30）上沉积第一导电层（12），蚀刻所述第一导电层（12），用于形成至少一个第一电极（ 16）从第一导电层（12）的材料，在施加第一导电层（12）上的脱模层（32a），其上沉积隔离层（32A）上的第二导电层，蚀刻第二导电层，以形成至少一个 从第二导电层的材料，并施加于第二电极（22）的覆盖层（40）和由在第二电极上的覆盖层（40）中的一个的装置的第二电极（22）的弯曲的第二电极（22）（22） 施加机械压应力。 本发明还涉及一种相应的微机械静电调节器。