Invention Application
- Patent Title: 리프트 핀 및 이를 포함하는 웨이퍼 처리 장치
- Patent Title (English): Lift pin, and wafer-processing apparatus comprising same
- Patent Title (中): 提升销和包括其的晶片处理设备
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Application No.: PCT/KR2010/001349Application Date: 2010-03-04
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Publication No.: WO2010101423A2Publication Date: 2010-09-10
- Inventor: 최명호 , 박진성 , 박진철 , 장지숙
- Applicant: 주식회사 코미코 , 최명호 , 박진성 , 박진철 , 장지숙
- Applicant Address: 경기도 안성시 신모산동 79, 456-390 Gyeonggi-do KR
- Assignee: 주식회사 코미코,최명호,박진성,박진철,장지숙
- Current Assignee: 주식회사 코미코,최명호,박진성,박진철,장지숙
- Current Assignee Address: 경기도 안성시 신모산동 79, 456-390 Gyeonggi-do KR
- Agency: 박영우
- Priority: KR10-2009-0019052 20090306
- Main IPC: H01L21/687
- IPC: H01L21/687 ; H01L21/683
Abstract:
몸통부 및 지지부를 포함하는 리프트 핀에 있어서, 상기 몸통부는 웨이퍼가 놓여지는 서셉터의 관통홀에 수직 방향으로 이동이 가능하도록 삽입되고, 상기 지지부는 몸통부의 상부면에 체결되어 웨이퍼를 지지하며 상기 웨이퍼의 표면에 스크래치(scratch) 결함이 발생되는 것을 방지하기 위하여 웨이퍼보다 경도가 낮은 물질로 이루어진다.
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IPC分类:
