公开(公告)号：WO2010101423A2

公开(公告)日：2010-09-10

申请号：PCT/KR2010/001349

申请日：2010-03-04

Applicant: 주식회사 코미코 ,  최명호 ,  박진성 ,  박진철 ,  장지숙

Inventor： 최명호 ,  박진성 ,  박진철 ,  장지숙

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/68742

Abstract: 몸통부 및 지지부를 포함하는 리프트 핀에 있어서, 상기 몸통부는 웨이퍼가 놓여지는 서셉터의 관통홀에 수직 방향으로 이동이 가능하도록 삽입되고, 상기 지지부는 몸통부의 상부면에 체결되어 웨이퍼를 지지하며 상기 웨이퍼의 표면에 스크래치(scratch) 결함이 발생되는 것을 방지하기 위하여 웨이퍼보다 경도가 낮은 물질로 이루어진다.

Abstract translation: 一种升降销，其包括本体和支撑件，其中，所述本体插入基座的通孔中，所述晶片被放置在所述基座中以便可垂直移动， 并且由具有比晶片的硬度低的硬度的材料制成，以防止在晶片的表面上产生划痕缺陷。

公开(公告)号：WO2011152620A2

公开(公告)日：2011-12-08

申请号：PCT/KR2011/003625

申请日：2011-05-17

Applicant: 주식회사 코미코 ,  조상범 ,  최명호 ,  최진식

Inventor： 조상범 ,  최명호 ,  최진식

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/02 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/6833

Abstract: 정전척은 정전층 및 발열층을 포함한다. 정전층은 상부에 놓여지는 기판을 고정하기 위하여 정전력을 발생하는 정전 전극이 배치되면서 제1 열전달 계수를 갖는다. 발열층은 정전층의 하부에 배치되며, 기판을 가열하기 위한 발열 전극이 배치되면서 제1 열전달 계수보다 높은 제2 열전달 계수를 갖는다.

Abstract translation: 静电卡盘包括静电层和发热层。 静电层在其中设置有静电电极，其产生用于固定其上放置的基板的静电力，同时还具有第一传热系数。 发热层设置在静电层下方，并且在其中设置有用于加热基板的发热电极，同时还具有高于第一传热系数的第二传热系数。