電極を有する半導体基板を用いた半導体装置の製造に用いられ、ニッケルをエッチングせずに銅を選択的にエッチングできるエッチング液及びこれを用いた半導体装置の製造方法を提供する。　過酸化水素と有機酸と有機ホスホン酸とを含み、有機酸がクエン酸及びリンゴ酸から選ばれる少なくとも一種であり、過酸化水素の含有量が０．７５～１２質量％であり、有機酸の含有量が０．７５～２５質量％であり、かつ有機ホスホン酸の含有量が０．０００５～１質量％である、電極を有する半導体基板を用いた半導体装置の製造に用いられるエッチング液、及びこれらのエッチング液を用いた半導体装置の製造方法である。