【課題】本発明は、例えば、酸素ガス、炭酸ガスおよび窒素酸化物ガスなどのプラズマ化が困難なガスのプラズマを容易に生成することができるプラズマ生成用ガスおよびプラズマ生成方法並びにこれにより生成された大気圧プラズマを提供するとともに、得られた大気圧プラズマを用いて多くの産業分野へのプラズマ処理の応用化を実現可能とすることを目的としている。 【解決手段】大気圧プラズマを生成するために用いられるプラズマ生成用ガスであって、プラズマとなることにより処理能力を有するとともに、プラズマ生成用ガス全体をプラズマ源に搬送するためのベースガス（キャリアーガス）と、前記大気圧プラズマの処理効果を向上する処理効果向上ガスとの混合ガスとされたプラズマ生成用ガスとした。また、前記混合ガスに対し、プラズマ化を補助するための生成補助ガスをさらに混合したプラズマ生成用ガスとした。さらに、当該プラズマ生成用ガスを用いてプラズマを生成するプラズマ生成方法並びに当該プラズマ生成用ガスから生成した大気圧プラズマとした。