铸造法生产类似单晶硅锭晶种制作方法
Abstract:
一种铸造法生产类似单晶硅锭晶种制作方法,采用的单晶硅晶向为 ,电阻率≥0.1Ω⋅cm,极性不限;依次进行以下工序:a.该圆柱状单晶硅的直径选择在130〜250mm之间;b.断棱处反切50〜350mm;c.采用开方机将单晶硅加工成方棒;d.采用平磨机对方棒四边进行抛光;e.采用截断机将硅单晶切割成每块高度在5〜50mm的晶块;f.采用化学抛光或机械抛光,对晶块进行抛光,去除表面损伤层;清洗干净,烘干包装,待用。通过本方法的控制,可有效地减少晶种引起的缺陷,使得铸锭炉生长类似单晶的质量提高。
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