本発明は、従来よりも低エネルギー密度のエネルギービームにより、金属部材と他部材との密着性を確保できる粗面、もしくは、金属部材におけるはんだの拡がりを抑制できる粗面を形成することを目的とする。本発明の基材（２１）の表面（２１ａ）に金属薄膜（２２）が設けられた金属部材（２）の表面加工方法は、前記金属薄膜の表面（２２ａ）に対して、エネルギー密度が１００Ｊ／ｃｍ ２ 以下であるパルス発振のレーザービームを、パルス幅を１μ秒以下として照射することにより前記金属薄膜の表面部分を溶融または蒸発させ、前記溶融または蒸発の後に、前記金属薄膜の表面部分を凝固させることで、前記金属薄膜の表面を粗面化する、ことを有し、前記金属薄膜は、Ｎｉ、Ａｕ、Ｐｄ、Ａｇのうちの少なくとも一つを主成分とする材料で構成されている。