Invention Application
WO2015146863A1 CeドープのPZT系圧電体膜形成用組成物 审中-公开
用于形成陶瓷PZT压电薄膜的组合物

CeドープのPZT系圧電体膜形成用組成物
Abstract:
 このCeドープのPZT系圧電体膜形成用組成物は、複合金属酸化物を構成する各金属原子を含むPZT系前駆体と、ジオールと、ポリビニルピロリドン等とを含む。組成物中の金属原子比(Pb:Ce:Zr:Ti)が、(1.00~1.28):(0.005~0.05):(0.40~0.55):(0.60~0.45)を満たし、かつZrとTiの金属原子比の合計割合が1となる割合で、PZT系前駆体を含む。組成物100質量%中に占めるPZT系前駆体の濃度が酸化物濃度で17~35質量%であり、組成物100質量%中のジオールの割合が16~56質量%であり、ポリビニルピロリドン等の割合がPZT系前駆体1モルに対してモノマー換算で0.01~0.25モルである。
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