-
1.
公开(公告)号:WO2023069876A1
公开(公告)日:2023-04-27
申请号:PCT/US2022/078132
申请日:2022-10-14
Applicant: BAKER HUGHES OILFIELD OPERATIONS LLC
Inventor: WISE, Peter Leonard , AVAGLIANO, Aaron , SAKTHIVEL, Navin
IPC: H01L41/318 , H01L41/39 , H01L41/27 , H01L41/187
Abstract: A method of forming a piezoelectric device may include depositing a sol-gel film over a substrate and curing the sol-gel film by impinging light onto an exposed surface of the sol-gel film to form a piezoelectric ceramic element. The method may produce a piezoelectric composite material including at least two piezoelectric ceramic pillars over the substrate. The at least two piezoelectric pillars may include at least one layer. The at least one layer having a gradient density, such that a first portion of the at least one layer proximate the substrate has a density lower than a second portion that is located a greater distance from the substrate than the first portion. The piezoelectric composite material may further include a resin separating the at least two piezoelectric ceramic pillars.
-
公开(公告)号:WO2023032464A1
公开(公告)日:2023-03-09
申请号:PCT/JP2022/026808
申请日:2022-07-06
Applicant: 株式会社村田製作所
IPC: H04R17/00 , H01L41/053 , H01L41/187 , G01S7/521
Abstract: 接続部(143)の他端の周縁からの第2面(142t)の第2方向(X軸方向)における張り出し長さの最大値は、接続部(143)の一端の周縁からの第1面(141b)の第2方向(X軸方向)における張り出し長さの最大値の半分以下である。接続部(143)の一端の周縁からの第1面(141b)の第3方向(Y軸方向)における張り出し長さの最大値は、接続部(143)の他端の周縁からの第2面(142t)の第3方向(Y軸方向)における張り出し長さの最大値の半分以下である。
-
公开(公告)号:WO2022255035A1
公开(公告)日:2022-12-08
申请号:PCT/JP2022/019714
申请日:2022-05-09
Applicant: TDK株式会社
Inventor: 佐藤 祐介
IPC: H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/187
Abstract: 圧電薄膜素子は、第一電極層と、第一電極層に重なる圧電薄膜と、圧電薄膜に重なる第二電極層と、を含む。圧電薄膜の性能指数Pは、(d33,f)2×Y/εと定義される。d33,fは、圧電薄膜の厚み縦振動の圧電歪定数である。Yは、圧電薄膜のヤング率である。εは、圧電薄膜の誘電率である。性能指数Pは、10%以上80.1%以下である。
-
公开(公告)号:WO2022231020A1
公开(公告)日:2022-11-03
申请号:PCT/KR2021/005329
申请日:2021-04-27
Applicant: (주)퀸테스
IPC: C04B35/626 , C04B35/64 , C04B35/01 , B01D3/10 , H01L41/187
Abstract: 화학용액 합성법으로 제조한 압전 전구체 용액으로부터 액상의 유기용매 성분만을 분리 및 추출한 후, 하소 열처리로 열분해시켜 유기 폴리머 성분을 완전히 제거함으로써, 고품질의 균일한 조성비를 가질 수 있는 저온소성용 고순도 압전 세라믹 나노분말 및 그 제조 방법에 대하여 개시한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 저온소성용 고순도 압전 세라믹 나노분말 및 그 제조 방법은 화학용액 합성법으로 각 성분을 완전히 용해시켜 합성함으로써 조성비 제어가 용이하고, 균일한 조성비를 가진 고순도의 압전 세라믹 나노분말을 제조하는 것이 가능해질 수 있다.
-
公开(公告)号:WO2022215666A1
公开(公告)日:2022-10-13
申请号:PCT/JP2022/016992
申请日:2022-04-01
Applicant: 日本特殊陶業株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/187 , H01L41/257 , H01L41/29 , C04B35/495
Abstract: 無鉛圧電磁器組成物における機械的品質係数(Qm)を高める。 無鉛圧電磁器組成物は、Nb(ニオブ)/Ta(タンタル)酸アルカリ系ペロブスカイト型酸化物を含む主相と、Ti(チタン)を含むスピネル化合物を含む副相と、を含む。無鉛圧電磁器組成物は、Mn(マンガン)が含有され、Tiの含有割合xは、0mol%より大きく4mоl%以下であり、かつ前記Tiの含有割合xとMnの含有割合yとは下記の関係式(1)を満足する。 x2/y≦20.0 …式(1)
-
公开(公告)号:WO2022210438A1
公开(公告)日:2022-10-06
申请号:PCT/JP2022/014719
申请日:2022-03-25
Applicant: 日東電工株式会社
IPC: H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/187 , H01L41/316 , H01L41/319 , C23C14/08 , C23C14/34 , C23C14/56
Abstract: 本発明に係る圧電素子の製造方法は、可撓性基材の一方の主面側に、不活性ガスと酸素を含む混合ガス雰囲気中でZnを含む非晶質材料をスパッタリングして、非晶質酸化物を含む角度調整層を形成する角度調整層形成工程と、前記角度調整層の上に、ロール・トゥ・ロール方式により、圧電体層を形成する圧電体層形成工程と、を含み、前記角度調整層形成工程は、前記不活性ガスと前記酸素の総流量に対する前記酸素の流量の比が1%を超える。
-
公开(公告)号:WO2022210182A1
公开(公告)日:2022-10-06
申请号:PCT/JP2022/013613
申请日:2022-03-23
Applicant: 日東電工株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/187 , H01L41/29 , H01L41/316 , C23C14/08 , C23C14/34
Abstract: 本発明に係る圧電体膜の製造方法は、非晶質膜の上に、少なくとも2種類の結晶膜が積層された圧電体膜を形成する圧電体膜形成工程を含み、前記圧電体膜形成工程は、前記非晶質膜の上に、Arを含むガス雰囲気中で圧電材料をスパッタリングして、前記圧電材料を主成分として含むと共にArを含む第1結晶膜を形成する第1結晶膜形成工程と、前記第1結晶膜の上に、Krを含むガス雰囲気中で前記圧電材料をスパッタリングして、前記圧電材料を主成分として含むと共にKrを含む第2結晶膜を形成する第2結晶膜形成工程と、を含む。
-
公开(公告)号:WO2022209716A1
公开(公告)日:2022-10-06
申请号:PCT/JP2022/010719
申请日:2022-03-10
Applicant: 富士フイルム株式会社
IPC: H01L41/187 , C01G25/00 , C23C14/08 , C23C14/34 , H01L41/047 , H01L41/29 , H01L41/316 , H01L41/39
Abstract: 圧電素子(1)及び圧電素子の製造方法において、圧電特性を低下させることなく、高い耐圧及び駆動安定性を実現する。 基板(11)上に、下部電極層(12)、ペロブスカイト型酸化物を主成分とする圧電膜(15)、及び上部電極層(18)をこの順に備えた圧電素子において、上部電極層は酸化物導電層を含み、圧電膜と酸化物導電層(18a)との間に、酸化物導電層の構成元素とOH基とを含む界面層(16)を備え、界面層はアモルファス構造を有し、かつ、1nm以上5nm以下の厚みであり、X線光電子分光測定により取得される界面層における結合エネルギーの強度プロファイルにおいて、金属と結合している酸素の1s軌道に由来する結合エネルギーのピーク強度をαとし、OH基を構成する酸素の1s軌道に由来する結合エネルギーのピーク強度をγとした場合のピーク強度比γ/αが0.35以上である。
-
公开(公告)号:WO2022194999A1
公开(公告)日:2022-09-22
申请号:PCT/EP2022/056951
申请日:2022-03-17
Applicant: TECHNISCHE UNIVERSITÄT DARMSTADT
Inventor: RÖDEL, Jürgen , KORUZA, Jurij , ZHAO, Changhao
IPC: C04B41/80 , H01L41/187
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ausscheidungshärtung einer Piezokeramik und eine Piezokeramik.
-
公开(公告)号:WO2022180961A1
公开(公告)日:2022-09-01
申请号:PCT/JP2021/042898
申请日:2021-11-24
Applicant: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
Inventor: アンガライニ スリ アユ , 秋山 守人 , 上原 雅人 , 山田 浩志 , 平田 研二
IPC: H01L41/083 , H01L41/187 , H01L27/11507 , C23C14/06 , H03H9/25
Abstract: 【課題】窒素極性を有するスカンジウムを添加した窒化アルミニウムを提供することを目的とする。 【解決手段】化学式ScXMYAl1-X-YNで表される窒化物材料であって、Mは、C、Si、GeおよびSnの少なくとも1つ以上の元素であり、Xは、0より大きく、0.4以下で、Yは、0より大きく、0.2以下で、X/Yが5以下であることを特徴とする。この窒化物材料は、薄膜成長方向と逆の分極方向を有する窒素極性の分極方向の圧電性を有する。
-
-
-
-
-
-
-
-
-