この角速度センサは、基板と、基板上に設けられた下部電極と、下部電極上に設けられた圧電体と、圧電体上に設けられた上部電極とを備える。圧電体は、圧電体の下面に繋がる側面を有する第１の部分と、圧電体の上面に繋がる側面を有してかつ第１の部分の上方に位置する第２の部分とを有する。圧電体の上面と圧電体の第２の部分の側面との間の角度の補角は、圧電体の下面と圧電体の第１の部分の側面との間の角度より小さい。この角速度センサは、圧電体への応力集中を効果的に抑制できる。