公开(公告)号：WO2019044697A1

公开(公告)日：2019-03-07

申请号：PCT/JP2018/031350

申请日：2018-08-24

Applicant: 京セラ株式会社

Inventor： 副島　宗高

IPC: G01C19/5628 ,  H01L41/083

Abstract: センサ素子は、平面視において、圧電体と、複数の電極とを有している。圧電体は、基部ならびに基部から延び出ている少なくとも１本の腕部を含んでいる。複数の電極は、腕部の表面に位置している。圧電体は、平面視において、基部および腕部を囲んでおり、基部が架け渡されている枠部をさらに含んでいる。

公开(公告)号：WO2015190105A1

公开(公告)日：2015-12-17

申请号：PCT/JP2015/002921

申请日：2015-06-11

Applicant: 株式会社デンソー

Inventor： 金澤　武 ,  酒井　峰一 ,  吉田　直記 ,  杉本　圭正 ,  葛谷　伸明

IPC: G01P15/08 ,  B81B3/00 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01P15/125 ,  H01L41/053 ,  H01L41/113 ,  H01L41/311 ,  H01L41/313

CPC classification number: G01C19/5621 ,  B81B7/02 ,  G01C19/5628 ,  G01C19/5783 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814 ,  H01L41/053 ,  H01L41/0825 ,  H01L41/113 ,  H01L41/311 ,  H01L41/313

Abstract: 　凹部（１３、１４）が形成された収容部（１１）の当該凹部（１３、１４）の底面に第１接続部材（５１）を介して回路基板（４０）を配置する。そして、回路基板（４０）の上に第２接続部材（５２）を介して加速度センサ（２０）を積層する。これによれば、角速度センサ（３０）と加速度センサ（２０）との間には、防振部（５３、５５、３１８）と、第１接続部材（５１）と、第２接続部材（５２、５４）との３つ以上のバネとして機能する部分が配置される。このため、角速度センサ（３０）における振動体（３１２）の振動が加速度センサ（２０）に伝達されることを抑制でき、加速度センサ（２０）の検出精度が低下することを抑制できる。

Abstract translation: 在其中形成有凹部（13,14）的壳体部（11）内，通过中间的第一连接部件（51）在凹部（13,14）的底面上配置电路基板（40） 。 加速度传感器（20）通过中间的第二连接构件（52）堆叠在电路板（40）上。 在这样做时，用作三个或更多个弹簧的部分，即振动部分（53,55,318），第一连接部件（51）和第二连接部件（52,54），位于角度 速度传感器（30）和加速度传感器（20）。 因此，能够使角速度传感器30中的振动体（312）的振动传递到加速度传感器（20），能够使加速度传感器（20）的检测精度的降低最小化。

公开(公告)号：WO2015198536A1

公开(公告)日：2015-12-30

申请号：PCT/JP2015/002811

申请日：2015-06-03

Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社

Inventor： 石田　貴巳

IPC: G01C19/5628 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113 ,  H01L41/332

CPC classification number: G01C19/5607 ,  G01C19/5628 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0825 ,  H01L41/113 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/332

Abstract: 　この角速度センサは、基板と、基板上に設けられた下部電極と、下部電極上に設けられた圧電体と、圧電体上に設けられた上部電極とを備える。圧電体は、圧電体の下面に繋がる側面を有する第１の部分と、圧電体の上面に繋がる側面を有してかつ第１の部分の上方に位置する第２の部分とを有する。圧電体の上面と圧電体の第２の部分の側面との間の角度の補角は、圧電体の下面と圧電体の第１の部分の側面との間の角度より小さい。この角速度センサは、圧電体への応力集中を効果的に抑制できる。

Abstract translation: 该角速度传感器设置有：基板; 设置在所述基板上的下电极; 设置在下电极上的压电体; 以及设置在压电体上的上电极。 压电体具有：具有与压电体的下表面连接的侧面的第一部分; 以及第二部分，其具有连接到压电体的上表面并且位于第一部分上方的侧表面。 压电体的上表面与压电体的第二部分的侧面之间的角度的补角比压电体的下表面与第一部分的压电体的侧表面之间的角度小 压电体。 角速度传感器能够有效地抑制压电体的应力集中。

公开(公告)号：WO2014045914A1

公开(公告)日：2014-03-27

申请号：PCT/JP2013/074215

申请日：2013-09-09

Applicant: 富士フイルム株式会社

Inventor： 藤井　隆満

IPC: H01L41/27 ,  G01C19/5614 ,  G01C19/5628 ,  H01L41/04 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187

CPC classification number: H01L41/042 ,  H01L41/0472 ,  H01L41/0825 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/257

Abstract: 　圧電デバイス(10)は、圧電材料のバイポーラ分極－電界（Pr-E）ヒステリシス特性が非対称となる偏りを持ち、絶対値の小さい方の第１の抗電界をEc1、絶対値の大きい方の第２の抗電界をEc2とし、抗電界の偏り率を〔（Ec2＋Ec1）／（Ec2－Ec1）〕×100［％］と定義するとき、偏り率が２０％以上である圧電体膜(42)が用いられ、第１の抗電界よりも小さい電界強度で動作する圧電素子部（28）を備える。また、圧電デバイス(10)は、当該デバイスの動作性能を保つために、デバイスを動作させる電界強度よりも大きく、かつ第１の抗電界の絶対値｜Ec１｜の３倍以下の電界強度となる電圧を印加して圧電体膜(42)の分極状態を回復させるリフレッシュ電圧印加回路(36)を備える。

Abstract translation: 在压电装置（10）中，使用由压电材料制成的压电膜（42），所述压电材料具有这样的偏压，即双极性极化电场（Pr-E）滞后特性是不对称的，并且具有 抗电场为20％以上，偏置比定义为[（Ec2 + Ec1）/（Ec2-Ec1）]×100 [％]，其中“Ec1”表示绝对值较小的第一抗电场 值，“Ec2”表示具有较大绝对值的第二抗电场。 该压电装置包括在比第一抗电场小的电场强度下工作的压电元件部分（28）。 压电装置（10）还包括刷新电压施加电路（36），该刷新电压施加电路（36）施加导致电场强度大于导致器件工作的电场强度并且等于或小于三倍的电场强度的电压 绝对值| Ec1 | 以恢复压电体膜（42）的偏振状态，以保持压电器件的操作性能。

公开(公告)号：WO2013061558A1

公开(公告)日：2013-05-02

申请号：PCT/JP2012/006732

申请日：2012-10-22

Applicant: パナソニック株式会社

Inventor： 藤井　剛

IPC: G01C19/5628

CPC classification number: G01P3/14 ,  G01C19/5733

Abstract: 　互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸のうちの少なくとも１軸周りにおいて角速度を検出する検出素子は、支持体と、第１～第４振動アームと、第１～第４錘と、重量調整部とを有する。各振動アームの第１端は支持体に接続され、第２端にはそれぞれの錘が接続されている。各振動アームはＸＹ平面内に延伸している。第１振動アーム及び第１錘と第２振動アーム及び第２錘とは支持体を通るＸ軸に対して対称である。第１振動アーム及び第１錘と第３振動アーム及び第３錘とは支持体を通るＹ軸に対して対称である。第２振動アーム及び第２錘と第４振動アーム及び第４錘とは支持体を通るＹ軸に対して対称である。重量調整部は第１～第４錘または第１～第４振動アームのうち対角位置の２つのみに設けられている。

Abstract translation: 用于检测彼此正交的x轴，y轴和/或z轴周围的角速度的检测元件具有支撑体，第一至第四振动臂，第一至第四重物以及重量调节部 。 每个振动臂的第一端连接到支撑体，并且第二端连接到相应的重物。 每个振动臂在x-y平面内延伸。 第一振动臂和第一重物以及第二振动臂和第二重物关于穿过支撑体的x轴对称。 第一振动臂和第一重物，以及第三振动臂和第三重物围绕穿过支撑体的y轴对称。 第二振动臂和第二重物以及第四振动臂和第四重量相对于穿过支撑体的y轴对称。 重量调节部仅设置在第一至第四重物或第一至第四振动臂中的两个，两个重物或两个振动臂相对于彼此处于对角位置。

公开(公告)号：WO2017164051A1

公开(公告)日：2017-09-28

申请号：PCT/JP2017/010569

申请日：2017-03-16

Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社

Inventor： 高山　了一 ,  足立　秀明 ,  張替　貴聖 ,  田中　良明

IPC: H01L41/113 ,  G01C19/5628 ,  G01J1/02 ,  H01L41/047 ,  H01L41/319

Abstract: 基板と、基板の上に設けられる第１の層と、第１の層の上に設けられる第２の層と、第２の層の上に設けられる第３の層と、を備え、第１の層は、Ｍを金属元素として、化学式ＭＩｎ ２ Ｏ ４ を含む層であり、第２の層は、面心立方構造の金属層であり、第３の層は、強誘電体膜である構造体及びこの構造体を用いたセンサ。

Abstract translation: 设置在基板上的第一层，设置在第一层上的第二层和设置在第二层上的第三层 包括层，第一层，所述M为金属元素，含有式min的层<子> 2 0 <子> 4 中，第二层，该表面 第三层是铁电薄膜，以及使用这种结构的传感器。

公开(公告)号：WO2017033717A1

公开(公告)日：2017-03-02

申请号：PCT/JP2016/073237

申请日：2016-08-08

Applicant: 株式会社デンソー ,  セイコーエプソン株式会社

Inventor： 吉田　直記 ,  井出　次男

IPC: G01C19/5628 ,  B81B3/00 ,  G01C19/5621 ,  G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84 ,  H01L41/113

CPC classification number: B81B3/00 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84 ,  H01L41/113

Abstract: 複合センサは、回路基板（３００）に対するノイズ遮蔽部として機能する第１シールドパターン（９１）と、第１センサ（１００）に対するノイズ遮蔽部として機能する第２シールドパターン（９２）と、第２センサ（２００）に対するノイズ遮蔽部として機能する第３シールドパターン（９３）とを備える。そして、第１シールドパターン（９１）が第２、第３シールドパターン（９２）、（９３）よりインピーダンスが低くなるようにし、第２シールドパターン（９２）と第３シールドパターン（９３）とを第１シールドパターン（９１）を介して電気的に接続する。これにより、電気的なノイズによって検出精度が低下することを抑制する。

Abstract translation: 该复合传感器包括：用作电路板（300）的噪声屏蔽单元的第一屏蔽图案（91）。 用作第一传感器（100）的噪声屏蔽单元的第二屏蔽图案（92）; 以及用作第二传感器（200）的噪声屏蔽单元的第三屏蔽图案（93）。 此外，第一屏蔽图案（91）的阻抗被设定为低于第二屏蔽图案（92），第三屏蔽图案（93）和第二屏蔽图案（92）和第三屏蔽图案（93）的阻抗， 经由第一屏蔽图案（91）电连接。 因此，抑制了由电噪声引起的检测精度的降低。

公开(公告)号：WO2016113828A1

公开(公告)日：2016-07-21

申请号：PCT/JP2015/006468

申请日：2015-12-25

Applicant: 株式会社デンソー ,  セイコーエプソン株式会社

Inventor： 吉田　直記 ,  青山　孝志 ,  上原　純

IPC: G01P15/08 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84 ,  H01L41/047 ,  H01L41/053 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113

CPC classification number: G01C19/5705 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814 ,  H01L41/047 ,  H01L41/053 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113 ,  H01L41/1132

Abstract: 　複合センサは、検出対象に応じた第１センサ信号を出力する第１センサ（１００）と、異なる検出対象に応じた第２センサ信号を出力する第２センサ（２００）と、第１、第２センサと電気的に接続される回路基板（３００）と、第１、第２センサおよび回路基板が配置される一面（３３ａ）を有する被搭載部材（１０）と、を備える。第１、第２センサは、所定の振幅および周波数を有する入力信号が入力されるための入力端子（１６１、２４４ａ）および第１、第２センサ信号を出力するための出力端子（１６２、１６３、２４１ａ～２４３ａ）をそれぞれ有する。第１、第２センサの配列方向に沿った方向であって、第１、第２センサの中心を通る直線を仮想線（Ｋ）としたとき、入力端子が仮想線に対して分割される一方の同じ領域側に位置し、出力端子が仮想線に対して分割される他方の同じ領域側に位置している。

Abstract translation: 该复合传感器设置有：第一传感器（100），其输出与待检测对象相对应的第一传感器信号; 输出对应于要检测的不同被摄体的第二传感器信号的第二传感器（200） 与第一和第二传感器电连接的电路板（300）; 以及具有一个表面（33a）的安装构件（10），第一和第二传感器和电路板设置在该表面上。 第一传感器和第二传感器分别具有输入端子（161,244a），输入端子（161,243a，243a），输入信号具有预定的幅度和频率，以及用于输出第一和第二传感器信号的输出端子（162,163,241a-243a）。 当设置第一和第二传感器的方向上的直线被设置为虚拟线（K）时，所述直线穿过第一和第二传感器的中心，输入端子被定位在除以 虚拟线路和输出端子位于由虚拟线分割的另一相同区域中。

公开(公告)号：WO01069175A1

公开(公告)日：2001-09-20

申请号：PCT/JP2001/002097

申请日：2001-03-16

IPC: G01C19/56 ,  G01C19/5628 ,  G01P9/04

CPC classification number: G01C19/5607

Abstract: An angular velocity sensor comprises an oscillator with an oscillating part and a connection part, a first base connected to the connection part, a support plate for supporting the first base, a circuit board secured to the support plate, an elastic body attached to the end of the support plate and/or the circuit board, and a second base provided to stop the opening of a case. The oscillating part has a short side and a long side. The oscillator is so arranged that the long side of the oscillating part is perpendicular to the second base. The elastic body is located between the inner wall of the case and the end of the support plate and/or the circuit board. The elastic body supports the support plate and the circuit board in the case. The variation in compressibility of the elastic body, thus the variation in external vibration to the oscillator, is prevented, resulting in stable output characteristic of the angular velocity sensor.

Abstract translation: 角速度传感器包括具有振荡部分和连接部分的振荡器，连接到连接部分的第一基座，用于支撑第一基座的支撑板，固定到支撑板的电路板，附接到端部的弹性体 支撑板和/或电路板的第二基座和设置成阻止壳体开口的第二基座。 摆动部分具有短边和长边。 振荡器被布置成使得振荡部分的长边垂直于第二基座。 弹性体位于壳体的内壁和支撑板的端部和/或电路板之间。 弹性体在壳体中支撑支撑板和电路板。 弹性体的压缩性的变化，从而防止振动器的外部振动的变化，从而导致角速度传感器的稳定的输出特性。

公开(公告)号：WO2020111041A1

公开(公告)日：2020-06-04

申请号：PCT/JP2019/046103

申请日：2019-11-26

Applicant: 京セラ株式会社

Inventor： 副島　宗高 ,  ▲高▼浪　俊

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/053 ,  H01L41/113 ,  H01L41/29 ,  H01L41/332 ,  G01C19/5628

Abstract: 多軸角速度センサにおいて、Ｄ３軸に直交する基板部は、Ｄ２軸に平行な１対の長辺と、Ｄ１軸に平行な１対の短辺とを有している。３軸用の３つのセンサ素子は、基板部の上面に実装されている。センサ素子の圧電体は、複数の腕を有している。これらの腕は、上面の平面視において所定の延在方向に延びている。圧電体は、腕の延在方向を長手方向としている。３つのセンサ素子のうち２つは、腕の延在方向が基板部の長辺に平行になる向きで、基板部の短辺に沿う方向に並んでいる。残りの１つは、腕の延在方向が短辺に平行になる向きで、前記２つの素子に対して長辺に沿う方向に並んでいる。