Invention Application
- Patent Title: 高周波超音波圧電素子、その製造方法、及びそれを含む高周波超音波プローブ
- Patent Title (English): High-frequency ultrasonic piezoelectric element, method for manufacturing same, and high-frequency ultrasonic probe including same
- Patent Title (中): 高频超声波压电元件，其制造方法以及包括其中的高频超声波探头
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Application No.: PCT/JP2016/067395Application Date: 2016-06-10
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Publication No.: WO2016208425A1Publication Date: 2016-12-29
- Inventor: 小林 牧子 , 田邉 将之 , 椎名 毅 , 隅田 剣生 , 河口 範夫
- Applicant: 国立大学法人 熊本大学 , 国立大学法人京都大学 , 株式会社産学連携研究所
- Applicant Address: 〒8608555 熊本県熊本市中央区黒髪二丁目39番1号 Kumamoto JP
- Assignee: 国立大学法人 熊本大学,国立大学法人京都大学,株式会社産学連携研究所
- Current Assignee: 国立大学法人 熊本大学,国立大学法人京都大学,株式会社産学連携研究所
- Current Assignee Address: 〒8608555 熊本県熊本市中央区黒髪二丁目３９番１号 Kumamoto JP
- Agency: 井関 勝守
- Priority: JP2015-126268 20150624
- Main IPC: H01L41/318
- IPC: H01L41/318 ; H01L41/047 ; H01L41/09 ; H01L41/29 ; H01L41/43 ; H04R17/00 ; H04R31/00 ; A61B8/14
Abstract:
下部電極を準備し、該下部電極の上に、ゾルゲル溶液と圧電粉末とを含む複合体をスプレー法により塗布する。その後、塗布された複合体を焼結して圧電膜を形成し、 該圧電膜の上に上部電極を形成する。
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IPC分类:
