公开(公告)号：WO2023028562A1

公开(公告)日：2023-03-02

申请号：PCT/US2022/075468

申请日：2022-08-25

申请人： INVENSENSE, INC. ,  BALDASARRE, Leonardo ,  COLOMBO, Alessandro ,  CONFALONIERI, Federica ,  TRAVAGLIATI, Marco

发明人： BALDASARRE, Leonardo ,  COLOMBO, Alessandro ,  CONFALONIERI, Federica ,  TRAVAGLIATI, Marco

IPC分类号： B06B1/06 ,  H01L41/047 ,  G01H11/08

摘要： An ultrasonic transducer device including a substrate, an edge support structure connected to the substrate, and a membrane connected to the edge support structure such that a cavity is defined between the membrane and the substrate, the membrane configured to allow movement at ultrasonic frequencies. The membrane includes a structural layer, a piezoelectric layer having a first surface and a second surface, a first electrode placed on the first surface of the piezoelectric layer, wherein the first electrode is located at the center of the membrane, a second electrode placed on the first surface of the piezoelectric layer, wherein the second electrode is a patterned electrode comprising more than one electrode components that are electrically coupled, and a third electrode coupled to the second surface of the piezoelectric layer and electrically coupled to ground.

公开(公告)号：WO2023026614A1

公开(公告)日：2023-03-02

申请号：PCT/JP2022/021187

申请日：2022-05-24

申请人： 日本特殊陶業株式会社

发明人： 廣瀬　吉進 ,  小林　亮介 ,  笠島　崇 ,  山崎　正人

IPC分类号： C04B35/495 ,  C01G33/00 ,  C01G45/00 ,  H01L41/047 ,  H01L41/187 ,  H01L41/29

摘要： 無鉛圧電磁器組成物は、組成式（Ａ１ａＭ１ｂ）ｃ（Ｎｂｄ１，Ｍｎｄ２，Ｍ２ｄ３）Ｏ３＋ｅ（但し、元素Ａ１はアルカリ金属のうちの少なくとも１種であり、元素Ｍ１はＢａ、Ｃａ、Ｓｒのうち少なくとも１種であり、元素Ｍ２はＴｉ、Ｚｒのうち少なくとも１種であり、０＜ａ＜１、０＜ｂ＜１、ａ＋ｂ＝１であり、ｃは０．８０＜ｃ＜１．１０を満たし、０＜ｄ１＜１、０＜ｄ２＜１、０＜ｄ３＜１、ｄ１＋ｄ２＋ｄ３＝１であり、ｅは酸素の欠損あるいは過剰を示す値）で表されるニオブ酸アルカリ系ペロブスカイト型酸化物からなる主相を含み、ｂ／（ｄ２＋ｄ３）＞１．０を満たす。

公开(公告)号：WO2023275843A1

公开(公告)日：2023-01-05

申请号：PCT/IB2022/056149

申请日：2022-07-01

申请人： ARECO FINANCES ET TECHNOLOGIES-ARFITEC

发明人： DECORDE, Nicolas ,  GSCHWIND, Michel

IPC分类号： H01L41/047 ,  B06B1/06 ,  B05B17/06 ,  B05B17/0615 ,  B05B17/0669 ,  B06B1/0651 ,  H01L41/0475

摘要： Élément piézoélectrique pour dispositif d'émission d'ondes acoustiques, comprenant une plaquette (21) en un matériau piézoélectrique de forme sensiblement cylindrique, ladite plaquette comprenant sur la face d'émission d'ondes acoustiques une première couche de conductivité métallique capable d'agir comme première électrode (2), formant un disque et s'étendant sur au moins 70 % de la superficie de ladite face avant, ladite plaquette comprenant sur sa face arrière une deuxième couche de conductivité métallique capable d'agir comme deuxième électrode (24) et s'étendant sur au moins 50 % de la superficie de ladite face arrière, ladite deuxième électrode formant un disque comportant au moins deux zones de prolongement (33, 34) s'étendant chacune dans une direction radiale, et au moins trois éléments de connexion électrique (28, 35, 36) fixés sur lesdites zones de prolongement et sur ladite première électrode.

公开(公告)号：WO2022215524A1

公开(公告)日：2022-10-13

申请号：PCT/JP2022/013437

申请日：2022-03-23

申请人： 富士フイルム株式会社

发明人： 岩本　崇裕 ,  田原　朋子

IPC分类号： H04R17/00 ,  H01L41/047 ,  H01L41/187 ,  H01L41/193 ,  H01L41/29

摘要： 高い圧電性能を有する圧電フィルムを提供する。高分子材料を含むマトリックス中に圧電体粒子を含有する高分子複合圧電体からなる圧電体層、および、圧電体層の両面に形成される電極層を有し、圧電体粒子がチタン酸ジルコン酸鉛を含む粒子であり、圧電体層の厚さ方向の断面において、チタン酸ジルコン酸鉛粒子の面積に対する、Ｐｂ／（Ｐｂ＋Ｚｒ）が９０％以上である領域の面積の比率が０．２～４％である。

公开(公告)号：WO2022209717A1

公开(公告)日：2022-10-06

申请号：PCT/JP2022/010720

申请日：2022-03-10

申请人： 富士フイルム株式会社

发明人： 望月　文彦 ,  中村　誠吾 ,  小林　宏之

IPC分类号： H01L41/187 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  H01L41/047 ,  H01L41/29 ,  H01L41/316 ,  H01L41/39

摘要： 圧電特性の低下を抑制した、安価な圧電素子（1）及び圧電素子の製造方法を提供する。　基板（11）上に、下部電極層（12）、ペロブスカイト型酸化物を主成分とする圧電膜（15）、及び上部電極層（18）をこの順に備えた圧電素子であって、上部電極層の少なくとも最も圧電膜側の領域はＩｎを含む酸化物導電層（18a）から構成されており、圧電膜と上部電極層の酸化物導電層との間の界面領域について、Ｘ線光電子分光測定により取得される結合エネルギーの強度プロファイルにおいて、酸素と結合したＩｎの３ｄ５／２軌道に由来する結合エネルギーのピーク強度をαとし、ＯＨ基と結合したＩｎの３ｄ５／２軌道に由来する結合エネルギーのピーク強度をγとした場合のピーク強度比がγ／α≦０．２５を満たす。

公开(公告)号：WO2022190715A1

公开(公告)日：2022-09-15

申请号：PCT/JP2022/003906

申请日：2022-02-02

申请人： 富士フイルム株式会社

发明人： 香川　裕介 ,  芦川　輝男

IPC分类号： H04R1/02 ,  H04R1/24 ,  H04R17/00 ,  H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/23 ,  H01L41/29

摘要： 高い可撓性を有し、電極層への導通を十分に確保できる圧電フィルムを提供する。圧電層、圧電層の両面に形成される電極層、および、電極層の、圧電層側の面とは反対側の面に積層される保護層を有する圧電フィルムであって、保護層は、表面から電極層まで貫通する孔部を有し、孔部内に配置され電極層と導線とを電気的に接続する、導電布、金属布および導電ウレタンフォームの少なくとも１つを含む軟性導電部材を有する。

公开(公告)号：WO2022172672A1

公开(公告)日：2022-08-18

申请号：PCT/JP2022/000632

申请日：2022-01-12

申请人： 住友化学株式会社

发明人： 黒田　稔顕 ,  柴田　憲治 ,  渡辺　和俊 ,  木村　健司

IPC分类号： H01L41/047 ,  H01L41/053 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H01L41/23 ,  H01L41/29

摘要： 基板（1）と、基板上に設けられた下部電極膜（2）と、下部電極膜上に設けられ、下部電極膜の平面積よりも小さい平面積を有する圧電膜（3）と、圧電膜上に設けられた上部電極膜（4）と、圧電膜の側面の少なくとも一部を覆うように上部電極膜から下部電極膜にかけて設けられた絶縁膜（5）と、を有し、絶縁膜には、上部電極膜の上面と下部電極膜の上面との間の段差を埋めるスロープ部（9a）が形成されており、スロープ部は段差を緩和する形状に形成されている。

公开(公告)号：WO2022169405A1

公开(公告)日：2022-08-11

申请号：PCT/SG2021/050058

申请日：2021-02-03

申请人： AGENCY FOR SCIENCE, TECHNOLOGY AND RESEARCH

发明人： ZHU, Yao ,  LIU, Chen ,  WANG, Nan

IPC分类号： H03H9/17 ,  H03H9/13 ,  H03H3/02 ,  H01L41/047 ,  H01L41/22

摘要： Various embodiments may relate to an acoustic resonator. The acoustic resonator may include a piezoelectric layer. The acoustic resonator may also include a first electrode in contact with a first surface of the piezoelectric layer. The acoustic resonator may further include a plurality of dielectric structures in contact with the first surface of the piezoelectric layer. The acoustic resonator may additionally include a second electrode in contact with a second surface of the piezoelectric layer opposite the first surface. The first electrode may include a plurality of electrode structures. A dielectric structure of the plurality of dielectric structures may be in contact with a pair of neighboring electrode structures of the plurality of electrode structures.

公开(公告)号：WO2022118965A1

公开(公告)日：2022-06-09

申请号：PCT/JP2021/044524

申请日：2021-12-03

申请人： 国立大学法人熊本大学 ,  株式会社ＣＡＳＴ

发明人： 小林　牧子 ,  中妻　啓 ,  田邉　将之 ,  堤　喬資 ,  田中　雄也

IPC分类号： G01L1/16 ,  H01L41/047 ,  H01L41/053 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H01L41/23 ,  H01L41/29 ,  H01L41/318

摘要： フレキシブル性のあるゾルゲル複合体圧電センサの配線に適したセンサ装置等を提供する。センサ装置１は、センサ部３と配線部５を接続する。センサ部３は、ゾルゲル複合体圧電センサである。基材層と、基材層の上に形成される圧電膜層と、前記圧電膜層の上に形成される電極層と、保護層を備える。保護層は、基材層と電極層の一部を除き被覆する。配線部５は、信号線とグラウンド線を含む。信号線の先端には、圧着チップが存在する。上外装部７及び下外装部９は、センサ部３と配線部５のうち、少なくとも被覆されていない部分を覆う。加圧部１１は、圧着チップを、前記電極層において前記保護層が被覆しない部分に押し付けて圧着する。センサ装置は、例えば、センサ部などを覆うアタッチメントを利用して検査対象に取り付けることができる。

公开(公告)号：WO2022112027A1

公开(公告)日：2022-06-02

申请号：PCT/EP2021/081584

申请日：2021-11-12

申请人： ASML NETHERLANDS B.V.

发明人： HASPESLAGH, Luc, Roger, Simonne ,  PANDEY, Nitesh ,  VAN DER WOORD, Ties, Wouter ,  YEGEN, Halil, Gökay YEGEN ,  OVERKAMP, Jim, Vincent ,  BRONDANI TORRI, Guilherme ,  GOORDEN, Sebastianus, Adrianus ,  KLEIN, Alexander, Ludwig ,  OSORIO OLIVEROS, Edgar, Alberto

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B26/08 ,  H01L41/047 ,  H01L41/083

摘要： A micromirror array comprises a substrate, a plurality of mirrors for reflecting incident light and, for each mirror of the plurality of mirrors, at least one multilayer piezoelectric actuator for displacing the mirror, wherein the at least one multilayer piezoelectric actuator is connected to the substrate, and wherein the at least one multilayer piezoelectric actuator comprises a plurality of piezoelectric layers of piezoelectric material interleaved with a plurality of electrode layers to form a stack of layers. Also disclosed is a method of forming such a micromirror array. The micromirror array may be used in a programmable illuminator. The programmable illuminator may be used in a lithographic apparatus and/or in an inspection and/or metrology apparatus.