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WO2019158488A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM EINFÜGEN EINER TRENNLINIE IN EIN TRANSPARENTES SPRÖDBRÜCHIGES MATERIAL, SOWIE VERFAHRENSGEMÄSS HERSTELLBARES, MIT EINER TRENNLINIE VERSEHENES ELEMENT 审中-公开

VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM EINFÜGEN EINER TRENNLINIE IN EIN TRANSPARENTES SPRÖDBRÜCHIGES MATERIAL, SOWIE VERFAHRENSGEMÄSS HERSTELLBARES, MIT EINER TRENNLINIE VERSEHENES ELEMENT
Abstract:
Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, ein sprödbrechendes, transparentes Substrat für einen Trennprozess vorzubereiten und eine vorbereitete Trennlinie zu schaffen, entlang der das Element ohne hohe Bruchkräfte und der damit verbundenen Gefahr von Ausmuschelungen an der hergestellten Kante trennbar ist. Dazu sieht die Erfindung ein Verfahren zur Vorbereitung eines Teilens eines Werkstücks (2) vor, bei welchem - ein Werkstück (2) bereitgestellt wird, welches für das Licht eines gepulsten Laserstrahls (4) transparent ist, wobei - der Laserstrahl (4) mittels einer Optik (6) in mindestens zwei Teilstrahlen (41, 42) aufgeteilt wird, wobei beide Teilstrahlen (41, 42) auf das Werkstück (2) so gerichtet werden, dass diese unter unterschiedlichen Winkeln zur Normalen der bestrahlten Oberfläche (21) auf das Werkstück (2) treffen und sich im Inneren des Werkstücks (2) überlagern, und die Teilstrahlen (41, 42) miteinander so interferieren, dass sich eine Abfolge von entlang des Überlappungsbereichs (43) der Teilstrahlen (41, 42) hintereinander aufgereihten Intensitätsmaxima (45) im Inneren des Werkstücks (2) bildet, und wobei die Intensität in den Intensitätsmaxima (45) so hoch ist, dass das Material des Werkstücks (2) modifiziert wird, so dass sich eine kettenförmige periodische Anordnung (9) von Materialmodifikationen (8) ausbildet, und wobei das Werkstück (2) und die Teilstrahlen (41, 42) relativ zueinander bewegt werden, so dass eine Vielzahl von entlang eines eine Trennlinie (11) bildenden Pfades liegende kettenförmige periodische Anordnungen (9) von Materialmodifikationen (8) erzeugt werden.
Abstract(English):

The aim of the invention is that of preparing a brittle-fracture, transparent substrate for a separation process and creating a prepared separation line along which the element can be separated without high breaking forces and without the associated risk of conchoidal fractures on the produced edge. To this end, the invention proposes a method for preparing a parting of a workpiece (2), in which - a workpiece (2) is provided that is transparent for the light of a pulsed laser beam (4), wherein - the laser beam (4) is split into at least two partial beams (41, 42) by means of an optical system (6), wherein both partial beams (41, 42) are directed onto the workpiece (2) in such a way that they strike the workpiece (2) at different angles to the normal of the irradiated surface (21) and are superimposed in the interior of the workpiece (2), and the partial beams (41, 42) interfere with each other in such a way that a sequence of intensity maximums (45) lined up one after the other along the overlapping region (43) of the partial beams (41, 42) in the interior of the workpiece is formed, and wherein the intensity in the intensity maximums (45) is so high that the material of the workpiece (2) is modified such that a chain-like periodic arrangement (9) of material modifications (8) is formed, and wherein the workpiece (2) and the partial beams (41, 42) are moved relative to one another such that a plurality of chain-like periodic arrangements (9) of material modifications (8) along a path forming a separation line are produced.

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