VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BEARBEITUNG EINES VERBUNDMATERIALS MITTELS LASER SOWIE VERBUNDMATERIAL
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bearbeitung eines eine erste Schicht (118) und eine zweite Schicht (120) aufweisenden Verbundmaterials (102) mittels eines Laserstrahls (108), wobei bei einem Auftreffen des Laserstrahls (108) auf einen Bearbeitungsbereich des Verbundmaterials (102) Material des Verbundmaterials (102) entfernt wird. Das Verfahren umfasst einen Schritt des Ermittelns einer Änderung, insbesondere einer Frequenzänderung und/oder einer Intensitätsänderung, unter Verwendung eines Sensorsignals (128), das eine aus dem Bearbeitungsbereich ausgesandte Detektionsstrahlung (122) repräsentiert, einem Beleuchten des Bearbeitungsbereichs mit einer sich von dem Laserstrahl unterscheidenden Beleuchtungsstrahlung zur Identifizierung des definierten Spektrums der Schicht oder einer Grenzfläche,einen Schritt des Vergleichens der Änderung mit einer vorgegebenen Änderung, die bei einem Übergang des Bearbeitungsbereichs aus der ersten Schicht (118) in eine weitere Schicht (120) erwartet wird, und einen Schritt des Ausgebens zumindest eines Steuersignals (134, 138, 140) zum Steuern der Bearbeitung abhängig von einem Ergebnis des Vergleichens der Änderung mit der vorgegebenen Änderung.
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