公开(公告)号：WO2023274771A1

公开(公告)日：2023-01-05

申请号：PCT/EP2022/066735

申请日：2022-06-20

Applicant: JENOPTIK OPTICAL SYSTEMS GMBH

Inventor： PANITZ, Meik ,  RAUPACH, Lutz ,  TILKE, Martin ,  ZYBELL, Sabine

IPC: H01L21/3213 ,  H01L21/768 ,  B81C1/00396 ,  B81C1/00579 ,  B81C2201/0132 ,  H01L21/0332 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/32139

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren (100) zum Herstellen einer Ätzmaske, wobei das Verfahren (100) einen Schritt (105) des Bereitstellens eines Substrates umfasst, sowie einen Schritt (110) des Aufbringens einer Metallschicht, wobei die Metallschicht wenigstens ein Übergangsmetall und/oder Aluminium umfasst oder aus einem solchen ausgebildet ist, einen Schritt (115) des Auftragens einer Maskierungsschicht, einen Schritt (120) des Strukturierens der Maskierungsschicht, wobei an wenigstens einem Prozessierungsbereich die Metallschicht freigelegt wird, einen Schritt (125) des Beschichtens des Substrats mit einer Tetrelschicht, die zumindest teilweise ein Tetrel aufweist, wobei sich an dem Prozessierungsbereich an einer Grenzfläche zwischen der Metallschicht und der Tetreischicht eine Interdiffusionszone zwischen dem Übergangsmetall oder Aluminium und dem Tetrel ausbildet, einem Schritt (130) des Abtragens der Maskierungsschicht und einen Schritt (135) des selektiven Ätzens der Metallschicht, wobei an wenigstens einem Ätzbereich, welcher von dem Prozessierungsbereich verschieden ist, das Substrat freigelegt wird und an dem Prozessierungsbereich die Metallschicht wenigstens teilweise erhalten bleibt.

公开(公告)号：WO2022200138A1

公开(公告)日：2022-09-29

申请号：PCT/EP2022/056773

申请日：2022-03-16

Applicant: JENOPTIK OPTICAL SYSTEMS GMBH

Inventor： HAECKER, Daniel ,  HERGENHAN, Guido ,  HOERTZSCH, Steffen

IPC: F16M11/04 ,  B25J15/00 ,  B25J17/02 ,  B25J19/00 ,  F16M11/14 ,  F16M11/18 ,  F16M11/20 ,  F16M11/24 ,  F16C11/06 ,  F16C11/10

Abstract: Eine Kalottenvorrichtung (102) zum Ausrichten eines Oberelements (104) gegenüber einem Unterelement (106) weist einen Verbindungsabschnitt (110) zum Verbinden der Kalottenvorrichtung (102) mit einem Hubarm (108) einer Positioniervorrichtung (100) auf. Ein äußeres Kalottenelement (112) ist mit dem Verbindungsabschnitt (110) verbunden und weist eine konkave Kontaktfläche auf. Ein mittleres Kalottenelement weist eine konvexe Außenfläche und eine konkave Innenfläche auf. Das mittlere Kalottenelement ist beweglich zu dem äußeren Kalottenelement (112) angeordnet. Ein beweglich mit dem Verbindungsabschnitt (110) verbundenes Stempelelement ist zum Andrücken des mittleren Kalottenelements an das äußere Kalottenelement (112) vorgesehen. Ein mit dem mittleren Kalottenelement verbundenes Aufnahmeelement (114) dient zum Aufnehmen des Oberelements (104). Ein Magnetelement (116) ist an dem äußeren Kalottenelement (112) angeordnet und ausgebildet, um eine Magnetkraft zum Fixieren des mittleren Kalottenelements gegenüber dem äußeren Kalottenelement (112) bereitzustellen.

公开(公告)号：WO2022171493A1

公开(公告)日：2022-08-18

申请号：PCT/EP2022/052339

申请日：2022-02-01

Applicant: JENOPTIK OPTICAL SYSTEMS GMBH

Inventor： FASOLD, Dieter ,  SCHUHMANN, Uwe ,  WENDT, Mario

IPC: G01B11/06 ,  C23C14/54 ,  G01N21/17

Abstract: Vorrichtung und Verfahren zum Erfassen einer optischen Eigenschaft eines Werkstücks Der hier vorgestellte Ansatz betrifft Vorrichtung (100) zum Erfassen einer optischen Eigenschaft eines Werkstücks (105). Die Vorrichtung (100) weist eine eingangsseitig fokussierende Spiegeleinrichtung (110) auf, die ausgeformt ist, um Licht (120) von einer Lichtquelle (125) zu einem Aufnahmebereich (130) zum Aufnehmen des Werkstückes (105) zu leiten. Ferner weist die Vorrichtung (100) eine ausgangsseitig fokussierende Spiegeleinrichtung (115) auf, die ausgeformt ist, um das Licht (120) von dem Aufnahmebereich (130) zu einer Erfassungseinrichtung (135) zu leiten.

公开(公告)号：WO2022033617A1

公开(公告)日：2022-02-17

申请号：PCT/DE2021/100078

申请日：2021-01-27

Applicant: JENOPTIK OPTICAL SYSTEMS GMBH

Inventor： BÜTTNER, Robert ,  GRUNDMANN, Armin ,  GNAUSCH, Tobias ,  KADEN, Thomas ,  FRANZ, Stefan ,  KARRAS, Christian

IPC: G01R31/311 ,  G01R1/07 ,  G01R1/04

Abstract: Kontaktierungsmodul und Verfahren zur Montage eines Kontaktierungsmoduls, mit einem Optikmodul (1), enthaltend einen Optikblock (1.1) aus Glas, der in einer optischen Schnittstellenebene (Eopt) eine Anordnung von optischen Schnittstellen (Sopt) aufweist und einem Elektronikmodul (2), der in einer elektrischen Schnittstellenebene (Eele) eine Anordnung von elektrischen Schnittstellen(Sele) aufweist, wobei das Optikmodul (1) und das Elektronikmodul (2) so zueinander angeordnet sind, dass die Anordnung von optischen Schnittstellen(Sopt) und die Anordnung von elektrischen Schnittstellen (Sele) eine definierte Justierlage zueinander aufweisen. Das Optikmodul (1) enthält eine Montageplatte (1.2) die über eine wiederholt lösbare, reproduzierbare Verbindung mit dem Elektronikmodul (2) in Verbindung steht.

公开(公告)号：WO2021052937A1

公开(公告)日：2021-03-25

申请号：PCT/EP2020/075720

申请日：2020-09-15

Applicant: JENOPTIK OPTICAL SYSTEMS GMBH

Inventor： SCHROEDER, Matthias

IPC: H01S5/022

Abstract: Die Erfindung beinhaltet ein Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung, insbesondere die Verbindung eines Halbleiterchips mit einer Wärmesenke. Eine erste metallische Schicht aus Pb, Cd, In oder Sn wird so dünn ausgeführt, dass sie mittels einer gegenüberliegenden zweiten Metallschicht aus einem anderen Metall, beispielsweise Gold, in einer Schicht aus intermetallischen Phasen gebunden wird. Dadurch kann eine Migration der Weichmetalle verhindert werden. Das Aufreißen der spröden intermetallischen Schicht wird durch eine permanente Andruckkraft verhindert.

公开(公告)号：WO2019180142A1

公开(公告)日：2019-09-26

申请号：PCT/EP2019/057089

申请日：2019-03-21

Applicant: JENOPTIK OPTICAL SYSTEMS GMBH

Inventor： WERSCHNIK, Jan ,  FRANZ, Stefan ,  MUENZBERG, Carolin

IPC: B23K26/40

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bearbeitung eines eine erste Schicht (118) und eine zweite Schicht (120) aufweisenden Verbundmaterials (102) mittels eines Laserstrahls (108), wobei bei einem Auftreffen des Laserstrahls (108) auf einen Bearbeitungsbereich des Verbundmaterials (102) Material des Verbundmaterials (102) entfernt wird. Das Verfahren umfasst einen Schritt des Ermittelns einer Änderung, insbesondere einer Frequenzänderung und/oder einer Intensitätsänderung, unter Verwendung eines Sensorsignals (128), das eine aus dem Bearbeitungsbereich ausgesandte Detektionsstrahlung (122) repräsentiert, einem Beleuchten des Bearbeitungsbereichs mit einer sich von dem Laserstrahl unterscheidenden Beleuchtungsstrahlung zur Identifizierung des definierten Spektrums der Schicht oder einer Grenzfläche,einen Schritt des Vergleichens der Änderung mit einer vorgegebenen Änderung, die bei einem Übergang des Bearbeitungsbereichs aus der ersten Schicht (118) in eine weitere Schicht (120) erwartet wird, und einen Schritt des Ausgebens zumindest eines Steuersignals (134, 138, 140) zum Steuern der Bearbeitung abhängig von einem Ergebnis des Vergleichens der Änderung mit der vorgegebenen Änderung.

公开(公告)号：WO2019154459A1

公开(公告)日：2019-08-15

申请号：PCT/DE2019/100115

申请日：2019-02-04

Applicant: JENOPTIK OPTICAL SYSTEMS GMBH

Inventor： ERBE, Torsten ,  FAHR, Stephan ,  ROSENBERGER, Carolin

IPC: G02B7/02

CPC classification number: G02B7/021 ,  G02B7/023

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Linsenfassung mit einem monolithischen Fassungskörper (1), der in einen Außenring (3), einen Innenring (4) und den Innenring (4) und den Außenring (3) miteinander monolithisch verbindende elastische Verbindungsstrukturen unterteilt ist. Die Verbindungsstrukturen sind wenigstens teilweise im Außenring (3) integriert angeordnet. Der Außenring (3) und die Verbindungsstrukturen sind beidseitig wenigstens teilweise durch zwei Abdeckringe (6) abgedeckt. Um eine Klemmung der Verbindungsstrukturen durch die Abdeckringe (6) zu vermeiden, weisen entweder die Verbindungsstrukturen eine gegenüber der Dicke (d) des Fassungskörpers (1) reduzierte Dicke (d r ) auf oder die zwei Abdeckringe (6) weisen jeweils eine Ausnehmung auf, durch die die Verbindungsstrukturen freigestellt sind.

公开(公告)号：WO2018050616A1

公开(公告)日：2018-03-22

申请号：PCT/EP2017/072822

申请日：2017-09-12

Applicant: JENOPTIK OPTICAL SYSTEMS GMBH

Inventor： PANITZ, Meik ,  GRIMM, Daniel ,  TILKE, Martin ,  RAUPACH, Lutz ,  BRAKHAGE, Peter

IPC: B05D1/00 ,  B05D5/08 ,  C23C16/40 ,  G02B1/18

CPC classification number: C23C16/402 ,  B05D1/60 ,  B05D1/62 ,  B05D5/08 ,  G02B1/18

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer hydrophoben und/ oder lyophoben Beschichtung eines Substrats (1) mit den folgenden Merkmalen: Bereitstellen eines Substrats (1); Abscheiden einer Funktionsschicht (2) auf dem Substrat, wobei eine Oberfläche der Funktionsschicht eine erste mittlere Rauheit aufweist; Abscheiden einer haftvermittelnden Schicht (3) auf der Funktionsschicht, wobei eine Oberfläche der haftvermittelnden Schicht (3) eine zweite mittlere Rauheit aufweist, die größer als die erste mittlere Rauheit ist; und Abscheiden einer hydrophoben und/oder lyophoben Schicht (4) auf die haftvermittelnde Schicht (3).

Abstract translation: 本发明涉及用于产生具有以下特征的基材（1）的疏水和/或疏液涂层的方法：提供基材（1）; 在衬底上沉积功能层（2），其中功能层的表面具有第一平均粗糙度; 在所述功能层上沉积粘合促进层（3），其中所述粘合促进层（3）的表面具有大于所述第一平均粗糙度的第二平均粗糙度; 并在粘合促进层（3）上沉积疏水和/或疏液层（4）

公开(公告)号：WO2015043581A1

公开(公告)日：2015-04-02

申请号：PCT/DE2014/100342

申请日：2014-09-25

Applicant: JENOPTIK OPTICAL SYSTEMS GMBH

Inventor： ERBE, Torsten

IPC: G02B7/02

CPC classification number: G02B7/028 ,  G02B7/003 ,  G02B7/008 ,  G02B7/026 ,  G02B7/1815

Abstract: Thermisch kompensierte optische Baugruppe bestehend aus einer monolithischen Fassung, die durch Schlitze in einen Fassungsring (1.1) und wenigstens drei elastische Verbindungen (2.1) unterteilt ist, die mit einem optischen Element (3.1) verbunden sind, wobei die elastischen Verbindungen (2.1) die thermischen Dehnungsunterschiede zwischen dem Fassungsring (1.1) und dem optischen Element (3.1) durch Verformung kompensieren. Die durch die Verformung hervorgerufenen temperaturabhängigen Reaktionskräfte (FR) werden kompensiert. Dazu sind Kompensationselemente (5.1) in einer Anzahl gleich der Anzahl von Verbindungen (2.1) vorhanden, die jeweils aus einem Dehnungskörper (8.1) und einem Federelement (11.1) bestehen.

Abstract translation: 热补偿由单片版本，其由槽分成一个安装环（1.1）的光学组件和至少三个弹性连接（2.1），其与光学元件（3.1）连接，其中所述弹性联接器（2.1），该热 补偿安装环（1.1）和由变形光学元件（3.1）之间的膨胀差别。 引起的依赖于温度的反作用力（FR）的变形进行补偿。 为了这个目的，该补偿元件（5.1）在数量上等于连接（2.1）的数量存在时，每个由膨胀元件（8.1）和一个弹簧元件（11.1）的制成。

公开(公告)号：WO2012037933A1

公开(公告)日：2012-03-29

申请号：PCT/DE2011/075188

申请日：2011-08-04

Applicant: JENOPTIK OPTICAL SYSTEMS GMBH ,  REICHMANN, Lutz ,  BENING, Matthias

Inventor： REICHMANN, Lutz ,  BENING, Matthias

IPC: G02B7/02

CPC classification number: G02B7/003 ,  G02B7/021 ,  G02B7/023

Abstract: Justierbare Fassungsbaugruppe (7) bestehend aus zwei zueinander justierbaren Fassungsteilen (1, 2), die selbst justierbare Fassungen darstellen, jeweils bestehend aus einem äußeren Fassungsrahmen (1.1, 2.1) und einem inneren Fassungsrahmen (1.2, 2.2). Die Fassungsbaugruppe (7) erlaubt eine hochgenaue Justierung zweier optischer Bauteile (1.5, 2.5) in einer Ebene senkrecht zu einer Achse (5) zueinander sowie eine Justierung der beiden zueinander justierten optischen Bauteile (1.5, 2.5) zu einer Bezugsbasis.

Abstract translation: 可调节的套筒组件（7）包括两个相互可调节的保持部件（1,2），这是自调节的帧，每个由外插座框架（1.1，2.1）和内框架的轮辋（1.2，2.2）的。 插座组件（7）允许在一个平面上的两个光学部件（1.5，2.5）的高度精确的对准垂直于轴线（5）彼此之间以及与两个相互对准的光学元件（1.5，2.5），以一个参考基准的调整。