中科微点-全球专利检索

  1. Login
  2. Sign Up
Invention Application
WO2019211280A3 VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN EINES SUBSTRATES MIT EINER KOHLENSTOFFHALTIGEN BESCHICHTUNG 审中-公开

VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN EINES SUBSTRATES MIT EINER KOHLENSTOFFHALTIGEN BESCHICHTUNG
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Abscheiden von Graphen, Carbon-Nano-Röhrchen oder anderen, insbesondere Kohlenstoff enthaltenen Beschichtungen auf einem durch eine Eintrittsöffnung (12) in ein Reaktorgehäuse (1) eintretenden und durch eine Austrittsöffnung (12') aus dem Reaktorgehäuse (1) austretenden, streifenförmigen Substrat (2), das in einer Transportrichtung von der Eintrittsöffnung (12) durch eine im Reaktorgehäuse (1) angeordnete, von einer Temperiereinrichtung (8) temperierte Prozesszone (5) hin zu einer Austrittsöffnung (12') transportiert wird.Erfindungsgemäß sind zwischen der Prozesszone (5) und der Eintrittsöffnung (12) und/oder der Austrittsöffnung (12') wärmetransporthemmende Mittel (14, 15, 16, 17) angeordnet, mit denen ein Wärmetransport von der Prozesszone (5) hin zur Eintrittsöffnung (12) oder der Austrittsöffnung (12') vermindert wird.Ferner sind Führungselemente (11) vorgesehen, um das Substrat (2) in unmittelbar an die Öffnungen (12, 12') angrenzenden Bereichen zu führen.
Abstract(English):

The invention relates to a device for depositing graphene, carbon nano-tubes or other, in particular carbon-contained coatings on a strip-shaped substrate which enters a reactor housing through an inlet opening (12) and is guided through an outlet opening (12') which emerges from the reactor housing (1) and which is transported in a transport direction from the inlet opening (12) through a process area (5) tempered by a tempering device (8) and arranged in the reactor housing (1). According to the invention, heat-transport-inhibiting means (14, 15, 16, 17) are arranged between the process area (5) and the inlet opening and/or the outlet opening (12') by means of which a heat transport from the process area (5) is reduced from the inlet opening (12) or the outlet opening (12') is reduced. Also guide elements (11) are provided in order to guide the substrate (2) into regions directly adjacent to the openings (12, 12').

Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0