Invention Application
- Patent Title: 両面研磨装置用キャリアの製造方法及びウェーハの両面研磨方法
- Patent Title (English): METHOD FOR MANUFACTURING CARRIER FOR DOUBLE-SIDE POLISHING DEVICE, CARRIER FOR DOUBLE-SIDE POLISHING DEVICE, AND METHOD FOR WAFER DOUBLE-SIDE POLISHING
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Application No.: PCT/JP2021/010649Application Date: 2021-03-16
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Publication No.: WO2021235066A1Publication Date: 2021-11-25
- Inventor: 吉田 容輝 , 田中 佑宜
- Applicant: 信越半導体株式会社
- Applicant Address: 〒1000004 東京都千代田区大手町二丁目2番1号 Tokyo
- Assignee: 信越半導体株式会社
- Current Assignee: 信越半導体株式会社
- Current Assignee Address: 〒1000004 東京都千代田区大手町二丁目2番1号 Tokyo
- Agency: 好宮 幹夫
- Priority: JP2020-087470 2020-05-19
- Main IPC: B24B37/12
- IPC: B24B37/12 ; B24B37/28 ; B24B41/06 ; H01L21/304
Abstract:
本発明は、研磨布が貼付された上定盤及び下定盤を有する両面研磨装置で用いられ、ウェーハを保持するための保持孔が形成されたキャリア母材と、前記保持孔の内周面に沿って配置され前記ウェーハの外周部と接する内周部が形成された樹脂インサートとを有する両面研磨装置用キャリアの製造方法であって、前記キャリア母材と、該キャリア母材よりも厚い前記樹脂インサートを準備する準備工程と、前記樹脂インサートを、前記保持孔の内周面に非接着かつ剥離強度が10N以上50N以下となるように形成する形成工程と、前記キャリア母材及び前記樹脂インサートからなるキャリアを、前記両面研磨装置を用いて、荷重が2段以上の多段である立上研磨を行う立上研磨工程とを有する両面研磨装置用キャリアの製造方法である。これにより、両面研磨装置用キャリアにおいて樹脂インサートとキャリア母材との段差量の表裏差を低減することができる両面研磨装置用キャリアの製造方法が提供される。
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