Invention Application
WO2021260792A1 半導体記憶装置
审中-公开
- Patent Title: 半導体記憶装置
- Patent Title (English): SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE
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Application No.: PCT/JP2020/024598Application Date: 2020-06-23
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Publication No.: WO2021260792A1Publication Date: 2021-12-30
- Inventor: 清水 敬 , 福島 崇 , 服巻 直美 , 田原 寛子 , 井手 謙一
- Applicant: キオクシア株式会社
- Applicant Address: 〒1080023 東京都港区芝浦三丁目1番21号 Tokyo
- Assignee: キオクシア株式会社
- Current Assignee: キオクシア株式会社
- Current Assignee Address: 〒1080023 東京都港区芝浦三丁目1番21号 Tokyo
- Agency: 蔵田 昌俊
- Main IPC: H01L27/11582
- IPC: H01L27/11582 ; H01L21/76802 ; H01L21/76843 ; H01L21/76877 ; H01L23/5226 ; H01L23/53266 ; H01L23/53271 ; H01L27/11556
Abstract:
実施形態の半導体記憶装置は、第1方向に積層された、それぞれタングステンを含む複数の第1導電体層と、前記複数の第1導電体層と交互に積層される積層部と、前記積層部に対して前記第1方向に直交する第2方向に突出する第1突出部とを含む複数の絶縁膜と、複数の前記積層部と前記複数の第1導電体層との積層体内を前記第1方向に延びる半導体層と、前記複数の第1導電体層と前記半導体層との間に配置される電荷蓄積層と、前記絶縁膜における前記第1突出部の上において前記第1導電体層に接して配置され、不純物を含むシリコンを有する複数の第2導電体層と、前記複数の第2導電体層のうちの1の第2導電体層の上に前記1の第2導電体に接して設けられ、導電性を有し、前記第1方向に延びる複数のコンタクトプラグと、を備える。
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IPC分类: