Invention Application
WO2022142989A1 镀膜遮蔽治具
审中-公开
- Patent Title: 镀膜遮蔽治具
- Patent Title (English): COATING SHIELDING JIG
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Application No.: PCT/CN2021/134973Application Date: 2021-12-02
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Publication No.: WO2022142989A1Publication Date: 2022-07-07
- Inventor: 宗坚 , 孙富恩
- Applicant: 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
- Applicant Address: 中国江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号, Jiangsu 214000
- Assignee: 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
- Current Assignee: 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
- Current Assignee Address: 中国江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号, Jiangsu 214000
- Agency: 北京集佳知识产权代理有限公司
- Priority: CN202011575637.5 2020-12-28
- Main IPC: C23C16/04
- IPC: C23C16/04 ; C23C14/04 ; C23C16/458 ; C23C16/50 ; C23C14/50
Abstract:
本发明公开一镀膜遮蔽治具,其包括一第一模板组件和一第二模板组件,所述第一模板组件和所述第二模板组件具有一开模状态和一合模状态,在所述开模状态,所述第一模板组件和所述第二模板组件相互分离,在所述合模状态,所述第一模板组件和所述第二模板组件相互结合形成一容纳腔,所述容纳腔适于容纳一待镀膜工件,所述第一模板组件具有一局部镀膜通道,所述局部镀膜通道连通所述容纳腔,以便于通过所述局部镀膜通道向所述待镀膜工件的预定镀膜区进行镀膜。
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