Invention Application

研磨パッド、研磨方法
Abstract:
被研磨面が曲面であっても高い追従性を有する研磨パッドを提供する。本発明の一態様の研磨パッド(1)は、研磨面(21)を有する研磨層(2)と、研磨層(2)より軟らかい材料からなり、研磨層(2)の研磨面(21)とは反対側の面(22)に固定された支持層(3)と、を備え、支持層(3)の硬さはF硬度で30以上70未満である。
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