Invention Application
- Patent Title: 研磨パッド、研磨方法
- Patent Title (English): POLISHING PAD, AND POLISHING METHOD
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Application No.: PCT/JP2022/008014Application Date: 2022-02-25
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Publication No.: WO2022181787A1Publication Date: 2022-09-01
- Inventor: 天▲高▼ 恭祐 , 片山 浩二 , 安井 大祐 , 長谷 英治 , 菱田 翔太
- Applicant: 株式会社フジミインコーポレーテッド
- Applicant Address: 〒4528502 愛知県清須市西枇杷島町地領二丁目1番地1 Aichi
- Assignee: 株式会社フジミインコーポレーテッド
- Current Assignee: 株式会社フジミインコーポレーテッド
- Current Assignee Address: 〒4528502 愛知県清須市西枇杷島町地領二丁目1番地1 Aichi
- Agency: 田中 秀▲てつ▼
- Priority: JP2021-030702 2021-02-26
- Main IPC: B24B37/26
- IPC: B24B37/26 ; B24B27/00 ; B24B37/00 ; B24B37/22 ; B24B37/24
Abstract:
被研磨面が曲面であっても高い追従性を有する研磨パッドを提供する。本発明の一態様の研磨パッド(1)は、研磨面(21)を有する研磨層(2)と、研磨層(2)より軟らかい材料からなり、研磨層(2)の研磨面(21)とは反対側の面(22)に固定された支持層(3)と、を備え、支持層(3)の硬さはF硬度で30以上70未満である。
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