로봇을 이용한 폴리싱 장치 및 이에 의한 폴리싱 방법
摘要:
본 발명의 일 실시 예는 로봇을 이용하여 폴리싱 공정을 자동으로 수행하고, 스핀틀의 전류 값을 실시간으로 모니터링하여 폴리싱 공정을 실시간으로 제어하는 기술을 제공한다. 본 발명의 실시 예에 따른 로봇을 이용한 폴리싱 장치는, 복수 개의 링크를 구비하고 다자유도로 구동하는 로봇인 연마로봇; 연마로봇의 말단과 결합하고 연마대상의 표면에 대한 연마를 수행하는 연마부; 연마로봇과 결합하고 연마부에 의해 연마되기 바로 전인 연마대상의 표면 일 부위에 대한 표면 조도를 측정하는 표면조도측정부; 및 연마부로 공급되는 전류인 모터전류의 변화 정보를 전달받고, 표면조도측정부로부터 연마대상의 표면 조도 정보를 전달받으며, 각각의 정보를 이용하여 연마부의 작동이 중단되도록 연마부로 제어신호를 전달하는 제어부를 포함한다.
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