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公开(公告)号：CN115585894A
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202211377247.6
申请日：2022-11-04
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于4f系统实现四波前横向剪切率极小的波前检测方法。本发明包括利用两组消球差光学系统组成的4f系统，物面放置由振幅光栅和相位光栅所组成的随机编码混合光栅，经过4f系统将该混合光栅直接成像在CCD感光面的像面上。本发明不但可以实现四波前剪切率可以达到极小，达到高精度检测；通过调整混合光栅后不同位置的波前位于4f系统前焦面，可以实现对光栅后不同剪切量的干涉波前的4f成像，从而实现可变剪切率，实现高精度与高灵敏度的平衡；利用该成像方法还能解决CCD相机感光面受类似保护玻璃及其他物理结构限制，而无法控制实现较小的剪切率的不足，尤其是对于一些昂贵及特殊的相机、像增强器等。
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公开(公告)号：CN112945152A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110172065.4
申请日：2021-02-08
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明公开了一种基于双边掠入射共路自干涉技术的晶圆平坦度检测装置。本发明包含检测装置及检测方法两部分内容。在装置结构上，本发明采用了双边掠入射检测光路，解决了晶圆未抛光面在正入射时反射率过低的问题，同时无需翻转晶圆即可完成检测，实现了两个面检测结果的准确对应；本发明引入了光束整形系统，消除了掠入射导致的干涉图映射误差；本发明结合了具有共光路、自干涉特点的四波前横向剪切干涉技术，简化了系统结构、提高了抗环境干扰的能力。在检测方法上，本发明提出了由干涉法测得相位计算晶圆面型，再由晶圆面型计算晶圆平坦的参数的方法，可计算的晶圆平坦度参数包括：翘曲度、形变量、关于拟合面的变形量和最大厚度偏差。
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公开(公告)号：CN111928788A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202010915875.X
申请日：2020-09-03
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开了一种双向对射光谱共焦平板厚度检测系统及其双光轴校准方法。本发明先分别调整系统两个共焦探头与被测平板表面的平行度；其次粗调系统两个共焦探头光轴对齐，使得两个共焦探头光轴平行且相交于被测平板中心点；最后精调系统两个共焦探头光轴对齐，使得其平行且相交于被测平板中心点；本发明利用两个五轴位移平台承载共焦探头置于被测平板两侧，通过调整对应的轴体旋钮，利用光能量法定量精确调整系统平行度、对齐共焦探头光轴。只有在进行了平行度校准与光轴对齐之后，系统才能精确进行参数标定与厚度检测，并且有效减小了后续平板厚度测量的误差，提高系统测量精度。
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公开(公告)号：CN111729860A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010558631.0
申请日：2020-06-18
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种洗衣机外观缺陷在线自动化检测系统及方法。本发明包括传送线体、传送托盘、成像调整块Ⅰ、成像相机Ⅰ、横梁式固定桁架、投影屏Ⅰ、成像相机Ⅱ、成像调整块Ⅱ、投影屏Ⅱ、旋转模组、横向主动传送滚筒、纵向主动传送滚筒。本发明实现了洗衣机及类似家电产品的在线自动化检测，具有检测精度高、检测效率高、可定量识别的特点。系统中提出了阵列投影的成像方式，解决了洗衣机及类似家电产品复杂曲面、反光强，易产生高反光和高炫光的问题，可高精度的通过图像融合成像到洗衣机表面真实图像，再利用图像提取算法，检测到洗衣机表面外观缺陷，可适应在线检测。
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公开(公告)号：CN104833679B
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201510217110.8
申请日：2015-04-29
Applicant: 浙江大学 , 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种微观缺陷三维尺度逆向标定及检测方法。本发明具体步骤如下：1、通过FDTD仿真软件建立仿真缺陷模型和仿真缺陷暗场散射模型；对缺陷进行电磁场仿真；外推获得仿真缺陷模型在光学成像系统像面上的理想光强分布；提取理想光强分布特征；在理想光强分布中加高斯型光学系统像差模型；构建多维特征参数向量并创建仿真模型样本库。2、元件缺陷暗场散射成像，显微成像系统采集缺陷图像；提取缺陷图像中垂直于待测缺陷长度方向的灰度分布；提取灰度分布中的灰度分布特征。3、建立相似度评价函数；搜寻仿真模型样本库中特征参数向量；判断相似度是否达到要求。本发明易于操作且具有较高的检测效率，能够达到纳米量级的纵向分辨率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110146507B
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN201910362702.7
申请日：2019-04-30
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种汽车漆面表面外观缺陷检测系统及方法。本发明包括可移动的照明光源子系统，多视角布置的成像系统和被检测汽车；检测时，被检测汽车移动至检测区域后，移动照明光源子系统，成像系统实时不间断拍照，进行汽车表面的全范围成像，成像后通过汽车漆面图像处理方法提取汽车漆面表面外观缺陷。本发明检测精度高、效率高、可定量识别漆溅、划伤等多种表面缺陷；本发明可以对汽车生产车间现有的照明光源进行改造，通过光源系统的明暗场移动，改善高亮漆面的表面外观缺陷检测效果，可以精确和快速的检测出缺陷的位置和尺度，避免人眼目测观察的主观性及低效率。
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公开(公告)号：CN106989833B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN201710024091.6
申请日：2017-01-13
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
Inventor： 曹频
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于随机编码混合光栅的可变剪切率的波前传感器。本发明包括由振幅光栅和相位光栅所组成的随机编码混合光栅，CCD及机械调节装置。待测波前经光栅后衍射产生四个子波，产生的四波前干涉图由CCD接收。本发明的技术特点是实现了剪切率随光栅与CCD之间距离改变而连续变化，使波前传感器通用性更强。横向剪切干涉中，剪切率选取小检测精度高，但灵敏度低，剪切率过大则精度下降，因此在检测中实现任意剪切率选择具有重要意义。本发明用于光学系统像差，球面、非球面面形及生物细胞相位信息的测量。本发明基于共路横向剪切干涉原理，无额外参考光路，抗干扰能力强，抗震性好，稳定性高，能在一般的环境中实现高精度检测。
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公开(公告)号：CN114322834A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111680644.6
申请日：2021-12-29
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种自由曲面零位干涉检测装置及计算全息图设计方法。本发明解决了非回转对称性自由曲面检测所需零位补偿元件难以设计、优化与仿真的难题。本发明利用自由曲面表达式进行密集采样得到采样点坐标并计算出对应法向量，基于双通光路光线追迹原理在选定位置计算得到计算全息图所需补偿离散点相位值，基于Zernike多项式拟合波前原理计算得到连续相位值，经自研算法与光路仿真软件优化后达到零位补偿标准，生成刻蚀光刻铬板所需工程图，产生包含零位补偿与辅助定位功能的计算全息图实物。位姿调节足够精准时，自由曲面面形误差由出射平面波携带，采集、解调与重构波前能够定量获得面形误差信息。
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公开(公告)号：CN110426326B
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN201910730335.1
申请日：2019-08-08
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种检测与区分光滑表面和亚表面颗粒的激光偏振装置和方法。本发明步骤如下：步骤1、将装置调整至最优偏振测量态；步骤2、利用旋转台S15和平移台S16扫描整个光滑表面，记录每一点的强度信号s0和偏振特征x0；步骤3、根据强度信号s0的值判别每个扫描点是否存在颗粒；步骤4、若存在颗粒，将偏振特征x0的值输入分类器，来区分表面颗粒和亚表面颗粒。本发明解决了传统激光散射技术无法识别散射源的难题，不仅能推动缺陷自动化检测系统的发展和应用，更为提高先进光学元件、半导体晶圆的超精密加工技术、提高工业生产产量等提供有力手段。
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公开(公告)号：CN109781033A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201910160434.0
申请日：2019-03-04
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种透明材质三维轮廓重构的深紫外结构光精密检测装置。本发明包括深紫外条纹投影系统和深紫外成像系统，其中深紫外条纹投影系统包括宽谱深紫外LED光源、窄带紫外波段滤波片、准直扩束系统、一维深紫外横向剪切光栅及扩束镜组，且宽谱深紫外LED光源和窄带紫外波段滤波片构成紫外光源单元；深紫外成像系统由成像透镜和深紫外CCD组成。本发明对透明材质的曲面玻璃表面三维轮廓实现高精度形变检测，克服了传统可见结构光光源穿透透明材质混淆上下表面形貌形变的弊端，避免数字曝光正弦光栅产生的锯齿状条纹带来的误差，实现了对大尺寸曲面玻璃三维轮廓的精确重构。
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