-
公开(公告)号：CN117066242A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311323637.X
申请日：2023-10-13
申请人： 济南晶博电子有限公司
摘要： 本发明属于一般清洁技术领域，尤其为一种硅片清洗装置及其使用方法，包括硅片清洗槽，所述硅片清洗槽相对地面倾斜设置，所述硅片清洗槽相对地面的倾斜角度不大于1.5度，所述硅片清洗槽的底部内侧固定连接有延伸至所述硅片清洗槽内部的清洗管，所述清洗管有多个，多个所述清洗管呈矩阵式分布，所述清洗管分为冲洗区和分离区，所述分离区中的多个所述清洗管的顶端分别与所述硅片清洗槽的顶端齐平；所述冲洗区中的多个所述清洗管的顶端分别距离所述硅片清洗槽的顶端具有一定的间隙，本发明通过流水线式对圆形硅片进行清洗，在清洗圆形硅片的时候，圆形硅片不会与任何固体进行接触，圆形硅片只会与超纯水进行接触，从而提高了清洗效果。
-
公开(公告)号：CN114275540A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202110344478.6
申请日：2021-03-31
申请人： 济南晶博电子有限公司
发明人： 徐寒生
IPC分类号： B65G49/07 , B65G59/02 , B65G65/32 , B65G39/07 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种用于硅片自动装花篮的插片机，涉及半导体硅片生产机械技术领域，包括工作台、和设置在工作台上的的料桶和花篮，工作台倾斜设置，料桶的位置高于花篮的位置，料桶的下端设有上推机构，花篮通过花篮底座设置在工作台面上，花篮底座的两端滑动设有导杆，花篮底座的底端设有齿条，齿条的顶端贯穿工作台固定在花篮底座上，齿条通过齿轮传动，齿轮连接有驱动机构，料桶的顶端设有排料轮，排料轮通过传动机构与驱动机构连接。本发明利用一个驱动电机利用推动花篮移动的同时，旋转排料轮把硅片装入花篮，完成自动分片装入花篮的动作，自动装蓝的同时，有效避免了对硅片的污染和易碎的问题，有效提升了分片的效率。
-
公开(公告)号：CN104103559B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201410350736.1
申请日：2014-07-23
申请人： 济南晶博电子有限公司
发明人： 马汝朝
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 一种夹持式硅片涂布旋转机，包括马达、转轴、转盘、夹板、推板、推板弹簧、拉绳、踏板和马达开关，所述马达的输出轴与所述转轴的底端连接，所述转盘设置在转轴顶端，所述转盘、推板和推板弹簧自上而下依次套置在所述转轴上；所述夹板有三个，等间距的通过销轴可转动的设置在所述转盘边缘，在夹板的上端设置有凸台；所述推板上的边缘设置有与所述夹板对应的凹槽；所述拉绳有两根，对称设置在推板底部两侧，拉绳的下端固定在踏板上。本发明保证了硅片与转轴同心，不会发生偏心现象；推板通过拉绳控制，踏板放在地面用脚踩踏，操作方便；夹板上设置有阶梯状凸台，可以加持不同直径的硅片，实用性强。
-
公开(公告)号：CN104102095A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201410350781.7
申请日：2014-07-23
申请人： 济南晶博电子有限公司
发明人： 许玉雷
摘要： 一种硅片显影定影装置，它包括槽体、槽盖、吹气泵、吸气泵、气体罐、流量调节阀和气体分流装置，所述吹气泵的进气端与气体罐连通，其出气端与所述气体分流装置连通，在出气端与气体分流装置连通的管道上设置所述流量调节阀；所述吸气泵的进气端与槽体连通，其出气端与所述气体罐连通；所述气体分流装置设置在槽体底部。本发明通过在槽体内设置气体分流装置，在显影定影液中通入气体，利用气泡的冲击力对硅片进行清洗，同时，气体可回收利用，不仅不会对环境造成污染，而且使用成本低。
-
公开(公告)号：CN113856964B
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202110896202.9
申请日：2021-08-05
申请人： 济南晶博电子有限公司
发明人： 杨戈
摘要： 本发明涉及新型电子元器件技术领域，且公开了一种电子元器件制造用的注胶装置的工作方法，注胶装置包括壳体，所述壳体的内壁活动连接有阀门，所述壳体的内壁固定连接有接触轨，所述壳体的内壁活动连接有触发机构，所述阀门的内壁活动连接有清理机构。该电子元器件制造用的注胶装置，通过阀门的关闭，带动电介质板的移动，进而正极板与负极板之间的相对面积减小，使得电路中的压敏电阻处于通路的状态，基于盖·吕萨克定律，实现了避免注胶装置的出胶口内壁会有大量的胶水残留，防止在注胶装置短暂的停歇过程中，避免注胶装置的出胶口内的胶水会发生硬化，防止注胶装置堵塞，避免人工清理，省时省力，提高了电子元器件制造的生产效率。
-
公开(公告)号：CN104128309A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201410350742.7
申请日：2014-07-23
申请人： 济南晶博电子有限公司
摘要： 一种硅片筛选装置，包括支架、振动电机、固定板、振动弹簧板、筛盘、筛盘放置架、开关和放料斗，所述筛盘放置架设置在所述支架的上方，两者通过所述振动弹簧板连接，所述放料斗设置在所述筛盘左上方；所述固定板设置在振动弹簧板上，所述振动电机设置在固定板上；在所述筛盘放置架的下方设置一个锥型废料收集装置，所述废料收集装置的底端设置出料管。本发明实现自动晃动筛盘，提高了工作效率，减小了劳动强度；在支架的底部设置配重盘，在振动时保证了整个设备的稳定，不需要将设备固定在操作台上，使用灵活；它的开关为脚踏开关，放在地面上用脚踩踏，方便操作。
-
公开(公告)号：CN104103563A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201410350811.4
申请日：2014-07-23
申请人： 济南晶博电子有限公司
发明人： 陈文学
IPC分类号： H01L21/673 , C30B31/14
CPC分类号： H01L21/67313
摘要： 一种用于硅片扩散的石英舟，其特征在于，包括舟架、挡板和横梁，所述舟架为长方形，在其一端设置有挂鼻，所述挡板固定在挂鼻与舟架交界处，挡板上设置有若干通孔；每两个相邻所述横梁为一组硅片座，在每一组硅片座的横梁内侧相对设置有弧形卡槽。本发明可使硅片横向放置在舟架上，保证气体顺畅流通，提高了硅片扩散效率和质量；每两个相邻横梁上都可以放置硅片，提高了单个石英舟盛放硅片的数量；通过挡板与三角形挂鼻的配合，方便石英杆对石英舟的推拉操作。
-
公开(公告)号：CN117066242B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311323637.X
申请日：2023-10-13
申请人： 济南晶博电子有限公司
摘要： 本发明属于一般清洁技术领域，尤其为一种硅片清洗装置及其使用方法，包括硅片清洗槽，所述硅片清洗槽相对地面倾斜设置，所述硅片清洗槽相对地面的倾斜角度不大于1.5度，所述硅片清洗槽的底部内侧固定连接有延伸至所述硅片清洗槽内部的清洗管，所述清洗管有多个，多个所述清洗管呈矩阵式分布，所述清洗管分为冲洗区和分离区，所述分离区中的多个所述清洗管的顶端分别与所述硅片清洗槽的顶端齐平；所述冲洗区中的多个所述清洗管的顶端分别距离所述硅片清洗槽的顶端具有一定的间隙，本发明通过流水线式对圆形硅片进行清洗，在清洗圆形硅片的时候，圆形硅片不会与任何固体进行接触，圆形硅片只会与超纯水进行接触，从而提高了清洗效果。
-
公开(公告)号：CN114284169A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202110749917.1
申请日：2021-07-02
申请人： 济南晶博电子有限公司
发明人： 许玉雷
摘要： 本发明公开了一种新型硅片自动裂片机，涉及硅片裂片设备技术领域，包括固定台、固定架、硅片放置台和下压辊，固定台上端滑动设有滑台，滑台上端滑动设有轴承座，轴承座的上端旋转设有支撑柱，支撑柱的顶端固定在硅片放置台上，支撑柱外部固定设置有从动齿轮，轴承座的一侧设有伸缩缸，伸缩缸的伸缩杆固定在轴承座上，轴承座的另一侧设有转动驱动机构和主动齿轮，从动齿轮和主动齿轮在轴承座向转动驱动机构的一侧滑动靠近后进行齿轮传动，固定架的内侧设有可升降的下压辊，下压辊设置在硅片放置台的上端。本发明可以自动把硅片进行旋转90度后再次进行裂片，不需工人操作，节省劳动力，同时大大提高了裂片的效率。
-
公开(公告)号：CN104103562B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201410350714.5
申请日：2014-07-23
申请人： 济南晶博电子有限公司
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/683
摘要： 一种用于排纸源石英舟的底座，它包括底板、支架、活动板、挡板和挡块，所述支架的下端固定在所述底板的后端，所述挡板设置在底板的前端，在挡板后方设置若干挡块；所述活动板的上端两侧设置有凸钮，在所述支架内侧设置有与所述凸钮配合的滑槽。本发明结构简单，小巧，移动灵活方便；石英舟可倾斜放在上面，因此在排放纸源和硅片时不需要用手扶持；它的活动板可调节坡度，可根据需要调整石英舟的倾斜度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
37 条记录 (耗时 0.038 秒)
