基板缺陷检查装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116773542A

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202210898658.3

    申请日:2022-07-28

    IPC分类号: G01N21/95 G01N21/88

    摘要: 基板缺陷检查装置包括:光源,产生在第一方向上行进的光;狭缝,在第一方向上与光源隔开配置,并形成有光能够通过的开口;以及传感器,能够检测穿过狭缝的光透过在第一方向上与狭缝隔开配置的被检查体而形成的散射光,并在第一方向上与被检查体隔开配置,光具有由下面式1定义的散度(divergence)A,[式1]散度A=D/HD为开口的在垂直于第一方向的第二方向上的宽度,H为狭缝与被检查体在第一方向上隔开的距离,传感器以从光源的中心在第一方向上延伸的虚拟线为基准在第二方向上与虚拟线隔开。

    保护膜剥离设备
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109664595B

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN201811182056.8

    申请日:2018-10-11

    IPC分类号: B32B38/10 B32B43/00

    摘要: 公开了一种保护膜剥离设备,所述保护膜剥离设备包括:剥离带;带支撑部,设置在剥离带的一侧下方;第一按压部,设置在剥离带的所述一侧上并且将剥离带的所述一侧固定到带支撑部;第二按压部,设置在剥离带的另一侧上并且将剥离带的所述另一侧按压并附着到面板上的保护膜的虚设部分的一侧;以及抓握部,设置在虚设部分上。带支撑部和第一按压部剥离虚设部分的所述一侧和虚设部分的预定部分,抓握部剥离虚设部分的剩余部分。

    剥离保护膜的方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114476279A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202210151624.8

    申请日:2018-10-11

    IPC分类号: B65B69/00

    摘要: 提供了一种剥离保护膜的方法,所述方法包括以下步骤:将在第一方向上延伸的剥离带的一侧设置在带支撑部上;将设置在剥离带的所述一侧上的第一按压部在向下方向上移动以将剥离带的所述一侧按压并固定到带支撑部;将设置在剥离带的另一侧上的第二按压部在向下方向上移动以将剥离带的所述另一侧按压并附着到母面板的保护膜的虚设部分的一侧;将第二按压部在向上方向上移动并且将带支撑部和第一按压部在向上方向上移动以使虚设部分的所述一侧和虚设部分的预定部分剥离;以及通过用抓握部抓握虚设部分的被剥离的预定部分使虚设部分的剩余部分剥离。

    激光设备和使用该激光设备的衬底蚀刻方法

    公开(公告)号:CN111185677B

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN201911111208.X

    申请日:2019-11-14

    IPC分类号: B23K26/362 B23K26/06

    摘要: 公开了激光设备和使用该激光设备的衬底蚀刻方法。激光设备可包括激光发生器、光学系统和台,其中,激光发生器生成用作输入光的至少一个激光束,光学系统将从激光发生器提供的输入光转换为多个图案光,并且目标物体被装载到台上。输出光可照射到目标物体上。光学系统可将输入光划分成多个分光,并且图案光可通过多个分光的相长干涉而生成。图案光中的每个的直径可小于输入光的直径。

    剥离保护膜的方法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114476279B

    公开(公告)日:2023-11-03

    申请号:CN202210151624.8

    申请日:2018-10-11

    IPC分类号: B65B69/00

    摘要: 提供了一种剥离保护膜的方法,所述方法包括以下步骤:将在第一方向上延伸的剥离带的一侧设置在带支撑部上;将设置在剥离带的所述一侧上的第一按压部在向下方向上移动以将剥离带的所述一侧按压并固定到带支撑部;将设置在剥离带的另一侧上的第二按压部在向下方向上移动以将剥离带的所述另一侧按压并附着到母面板的保护膜的虚设部分的一侧;将第二按压部在向上方向上移动并且将带支撑部和第一按压部在向上方向上移动以使虚设部分的所述一侧和虚设部分的预定部分剥离;以及通过用抓握部抓握虚设部分的被剥离的预定部分使虚设部分的剩余部分剥离。

    激光蚀刻设备
    9.
    发明公开
    激光蚀刻设备 审中-公开

    公开(公告)号:CN111451652A

    公开(公告)日:2020-07-28

    申请号:CN202010016461.3

    申请日:2020-01-08

    摘要: 公开了一种激光蚀刻设备。所述激光蚀刻设备用于在具有多层结构的显示面板中形成孔,激光蚀刻设备包括:光源,用于发射具有第一能量分布的第一激光束;以及扫描器,用于沿圆形路径将第二激光束辐射到对象物体上,第二激光束具有不同于第一能量分布的第二能量分布。

    激光设备和使用该激光设备的衬底蚀刻方法

    公开(公告)号:CN111185677A

    公开(公告)日:2020-05-22

    申请号:CN201911111208.X

    申请日:2019-11-14

    IPC分类号: B23K26/362 B23K26/06

    摘要: 公开了激光设备和使用该激光设备的衬底蚀刻方法。激光设备可包括激光发生器、光学系统和台,其中,激光发生器生成用作输入光的至少一个激光束,光学系统将从激光发生器提供的输入光转换为多个图案光,并且目标物体被装载到台上。输出光可照射到目标物体上。光学系统可将输入光划分成多个分光,并且图案光可通过多个分光的相长干涉而生成。图案光中的每个的直径可小于输入光的直径。