公开(公告)号：CN102453871A

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN201110319821.8

申请日：2011-10-18

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 金武谦 ,  朴一秀

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/56 ,  C23C14/04

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C14/246 ,  C23C14/56

Abstract: 本发明公开了用于执行连续沉积的薄膜沉积设备以及包括在薄膜沉积设备中的掩模单元和坩埚单元。薄膜沉积设备包括：基底移动单元，被构造成移动作为沉积靶材的基底；掩模单元，被构造成选择地将沉积源的蒸气向基底传送；以及坩埚单元，包括容纳沉积源并沿穿过掩模单元的循环路径行进的多个坩埚。

公开(公告)号：CN102420254A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201110237591.0

申请日：2011-08-18

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 金武谦 ,  朴昶模 ,  朴一秀 ,  李榕洙 ,  曹煐美

IPC: H01L29/84 ,  H01L27/02 ,  G06F3/041 ,  G01L1/16

CPC classification number: H01L29/7869 ,  H01L27/0705 ,  H01L29/42384 ,  H01L29/78669 ,  H01L29/78678

Abstract: 本申请公开了一种薄膜带电体传感器及显示设备。用于基于带电体的电场而检测带电体的接触和/或非接触移动的薄膜带电体传感器。所述薄膜带电体传感器可以包括：基板；位于所述基板上的第一薄膜晶体管单元，包括栅极层、与所述栅极层绝缘的有源层，以及与所述栅极层绝缘并连接至所述有源层的源/漏极层；以及位于所述基板上的薄膜触角单元，包括电连接至所述栅极层且具有导电材料的第一膜，所述薄膜触角单元适于响应于带电体的电场而产生输入电流。