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公开(公告)号：CN109661480A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201780051663.8
申请日：2017-08-23
申请人： 住友金属矿山股份有限公司
发明人： 大上秀晴
CPC分类号： C23C14/562 , C23C14/34 , C23C14/56 , C23C16/54 , H05K3/00 , H05K3/16 , H05K2203/085 , H05K2203/1545
摘要： 本申请提供一种可抑制成本并且对长条基材以几乎不产生皱褶的方式进行处理的卷对卷方式的长条基材的表面处理装置。一种表面处理装置，其具有：2个罐状辊，其等将于真空室内以卷对卷方式搬送的长条树脂膜卷绕至外周面并利用循环于内部的冷媒使其冷却；及表面处理手段，其以设置于与所述2个罐状辊的外周面对向的位置的磁控溅镀阴极为代表；且所述2个罐状辊中、除位于最上游侧的第1罐状辊以外的第2罐状辊具备自外周面释放气体的气体释放机构。
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公开(公告)号：CN109554682A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201811467931.7
申请日：2018-12-03
申请人： 江苏中宇光伏科技有限公司
发明人： 皇韶峰
CPC分类号： C23C14/56 , C23C14/50 , H01L31/1876
摘要： 本发明公开了一种太阳能电池镀膜设备，包括进片室、镀膜室和出片室，所述进片室和出片室之间设置有镀膜室，所述进片室和出片室与镀膜室连接的一侧挖设有送料口，所述镀膜室内设置有两组滚动轴，所述滚动轴通过转轴杆转动安装在镀膜室内，所述进片室的送料口底部固定焊接有固定台，所述固定台顶部两平行外缘固定焊接有六组安装块，平行的两组安装块之间转动安装有转动轴，所述进片室和出片室内部构造相同，所述进片室和出片室沿镀膜室中心线对称设置。该太阳能电池镀膜设备，设计合理，能在工作过程中对镀膜的太阳能电池进行限位，能在需要时对太阳能电池进行多层镀膜，适合推广使用。
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公开(公告)号：CN109207933A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201811032522.4
申请日：2018-09-05
申请人： 兰州大学
CPC分类号： C23C14/26 , C23C14/243 , C23C14/56
摘要： 本发明公开了一种多功能真空蒸镀超薄膜装置，包括高温蒸镀模块或低温蒸镀模块、可移动水冷模块，所述高温蒸镀模块或低温蒸镀模块在真空环境下使用各自的方法将镀膜材料蒸发到被蒸镀样品表面形成薄膜，所述可移动水冷模块用于支持高温蒸镀模块和低温蒸镀模块在真空内部的移动、测试以及冷却。本发明通过对高温和低温蒸镀模块尺寸设计，实现了在同一平台上集成。蒸镀模块均设有热辐射屏蔽层，可有效减少热量损耗以及外部扰动带来的不稳定因素。进一步地可以对表面进行可控的极少量膜材蒸镀，实现埃量级超薄膜的蒸镀。高温蒸镀模块中加热丝与底座之间设有屏蔽层，以减少蒸镀分子对底座的影响。
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公开(公告)号：CN109023274A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810943679.6
申请日：2018-08-18
申请人： 昭工表面制品(深圳)有限公司
CPC分类号： C23C14/35 , C23C14/505 , C23C14/56
摘要： 本发明公开了一种手表表盘字钉真空镀膜方法，涉及手表加工技术领域，包括以下步骤，做好开机前的准备工作，检查设备、水、气等是否处于正常待机状态；真空机开机，真空机的系统主电上电后，真空机的控制柜电源指示灯亮，按下控制柜门面板上电源按钮，控制系统上电，同时按钮指示灯绿灯亮，恢复急停按钮为弹起状态；通过控制柜上的触摸屏控制真空机抽真空；真空机本体内真空，温度达到本次生产工艺所预期要求后，调节节流阀，调节质量流量计进气，使真空室中压强满足工作要求，确定真空机接线正确及负载无短路情况下，按照工艺要求进行镀膜。解决表盘镀膜不平整的问题，能够在表盘表面均匀镀膜，使表盘表面更加平整。
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公开(公告)号：CN108966658A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201780005861.0
申请日：2017-03-17
申请人： 应用材料公司
发明人： 塞巴斯蒂安·巩特尔·扎尔夫 , 安德烈亚斯·索尔 , 奥利弗·海姆尔
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/56 , H01L51/0011
摘要： 本公开内容提供一种用于真空沉积工艺的沉积设备(100)。沉积设备包括真空腔室(130)；可移动沉积源(110)，布置于真空腔室中；及供应布置(120)，提供用于数个媒介供应线的供应通道，这些媒介供应线用于可移动沉积源，其中供应布置包括轴向可偏转元件(122)。
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公开(公告)号：CN108950486A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810879342.3
申请日：2018-08-03
申请人： 台州市皓仔邦工业设计有限公司
发明人： 姜丽
CPC分类号： C23C14/28 , C23C14/042 , C23C14/541 , C23C14/545 , C23C14/56
摘要： 一种智能沉积系统，包括控制组件、扫描模组、激光源、一驱动机构、至少两个第一反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述激光源连接以驱动所述激光源移动，使得所述激光源发出的激光选择性地射入至所述至少两个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处。
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公开(公告)号：CN108823548A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810730712.7
申请日：2018-07-05
申请人： 江苏伟创真空镀膜科技有限公司
CPC分类号： C23C14/56 , C23C14/0605 , C23C14/0641 , C23C14/58
摘要： 本发明提供一种PVD古铜色镀膜工艺，其步骤依次为：将样品置于真空环境中在单一镀膜室内采用多靶位连续磁控溅射方式镀深金黄色TiN膜形成第一半成品：真空环境真空度为3.0×10-1Pa～5.0×10-1Pa，总气压为0.30Pa～0.50Pa，温度范围为20℃～150℃，氩气流量为200Sccm～220Sccm，氮气流量为200Sccm～220Sccm；在同一真空环境中在第一半成品上镀碳氧化物膜形成第二半成品；对第二半成品进行粗打磨和清洗形成第三半成品；对第三半成品进行精打磨和油漆处理形成一层硬度为2300HV的成品；对成品进行耐48小时人工汗测试，本发明能在真空环境中磁控溅射一次性镀好TiN+C使后处理过程得到简化。
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公开(公告)号：CN108738330A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201780006027.3
申请日：2017-02-24
申请人： 应用材料公司
发明人： 马蒂亚斯·海曼斯 , 斯特凡·班格特 , 奥利弗·海梅尔 , 安德烈亚斯·索尔 , 塞巴斯蒂安·巩特尔·臧
CPC分类号： C23C14/042 , C23C14/56 , H01L21/67709 , H01L21/67712 , H01L21/6776 , H01L21/682
摘要： 本公开内容提供一种用于基板(10)的真空处理的设备(200)。设备(200)包括真空腔室、输送基板载具(120)的第一轨道布置(110)、输送掩模载具(140)的第二轨道布置(130)以及将基板载具(120)和掩模载具(140)相对于彼此定位的保持布置。第一轨道布置(110)包括经配置以在基板(10)的第一端(12)支撑基板载具(120)的第一部分和经配置以在与基板(10)的第一端(12)相对的基板(10)的第二端(14)支撑基板载具(120)的第二部分。第二轨道布置(120)包括经配置以在掩模(20)的第一端(22)支撑掩模载具(140)的另外第一部分和经配置以在与掩模(20)的第一端(22)相对的掩模(20)的第二端(24)支撑掩模载具(140)的另外第二部分。第一轨道布置(110)的第一部分和第二部分之间的第一距离(D)与第二轨道布置(130)的另外第一部分和另外第二部分之间的第二距离(D’)实质上相同。
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公开(公告)号：CN107955938A
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201810003658.6
申请日：2018-01-03
申请人： 吉林大学
CPC分类号： C23C14/35 , C23C14/0036 , C23C14/56
摘要： 本发明公开了一种发动机气缸套内腔真空反应磁控溅射镀膜装置，包括：真空溅射室、气缸套支座、磁控阴极结构和运动控制机构；所述气缸套支座固定于所述真空溅射室底部；所述运动控制机构安装于所述真空溅射室顶部，并与所述磁控阴极结构连接对其驱动；本发明采用真空反应磁控溅射镀膜的方法对气缸套内表面进行镀膜，从而使气缸套内表面具有更好的耐高温和耐磨性能；不仅能够实现气缸套内表面全覆盖镀膜，而且还能够实现均匀镀膜。
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