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公开(公告)号:CN107207819B
公开(公告)日:2021-06-22
申请号:CN201680007130.5
申请日:2016-04-15
Applicant: 三菱化学株式会社
IPC: C08L33/04 , C09D5/16 , C09D133/04
Abstract: 一种树脂组合物,其包含聚合物(A),该聚合物(A)具备至少一个以上源自具有下述式(1)、下述式(2)或下述式(3)所表示的结构的单体的构成单元,在40℃储存30天后的上述聚合物(A)中的下述式(1)、下述式(2)或下述式(3)的结构的分解率为20%以下。(式中,X为醚性氧原子、硫醚系硫原子或胺系氮原子。R1和R2各自表示氢原子或碳原子数1~10的烷基。R3和R5各自表示碳原子数1~20的烷基、环烷基或芳基。R4和R6各自表示碳原子数1~10的亚烷基。)
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公开(公告)号:CN113614073A
公开(公告)日:2021-11-05
申请号:CN202080023085.9
申请日:2020-03-25
Applicant: 三菱化学株式会社
IPC: C07D333/48 , C08F220/38 , C07B61/00 , G03F7/039
Abstract: 一种聚合物,其包含基于式(1)所表示的单体的结构单元(1),且基于具有多环结构的单体的结构单元的含量为35摩尔%以下。式(1)中,R1表示氢原子或甲基;A1表示包含酯键的连接基或单键,其中,A1不具有叔碳原子;Z1表示包含与A1结合的碳原子和‑SO2‑而形成碳原子数3~6的含硫环式烃基的原子团。
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公开(公告)号:CN105829394B
公开(公告)日:2019-02-12
申请号:CN201380081800.4
申请日:2013-12-24
Applicant: 三菱化学株式会社
IPC: C08G63/688 , G03G9/08 , G03G9/087
Abstract: 本发明涉及一种聚酯树脂,其是包含下述通式(1)所表示的构成单元、来自具有双酚骨架的化合物的构成单元和来自多元羧酸的构成单元的聚酯树脂,相对于所述来自多元羧酸的构成单元100摩尔份,包含20摩尔份以上所述来自具有双酚骨架的化合物的构成单元。根据本发明,能够提供相对于溶剂的溶解性、粉碎性以及所得到的调色剂的保存性优异的聚酯树脂。
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公开(公告)号:CN108484822A
公开(公告)日:2018-09-04
申请号:CN201810272754.0
申请日:2014-06-12
Applicant: 三菱化学株式会社
IPC: C08F220/18 , C08F220/28 , C08F220/42 , G03F7/023 , G03F7/039
CPC classification number: C08F220/18 , C08F220/28 , C08F220/42 , C08F2220/283 , G03F7/0233 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供一种抗蚀剂用共聚物,使用该抗蚀剂用共聚物时,灵敏度良好,形成的抗蚀剂图案的形状良好,抗蚀剂图案作为掩膜进行干蚀刻时的耐干蚀刻性良好,能够控制对基板进行干蚀刻加工时形成的图案的表面粗糙度。该抗蚀剂用共聚物具有基于具有金刚烷环等的环烃基、及与该环烃基键合的2个以上氰基的(甲基)丙烯酸酯衍生物的结构单元(1)、具有内酯骨架和桥环结构的结构单元(2)和具有酸离去基团的结构单元(3)。
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公开(公告)号:CN113614073B
公开(公告)日:2024-09-24
申请号:CN202080023085.9
申请日:2020-03-25
Applicant: 三菱化学株式会社
IPC: C07D333/48 , C08F220/38 , C07B61/00 , G03F7/039
Abstract: 一种聚合物,其包含基于式(1)所表示的单体的结构单元(1),且基于具有多环结构的单体的结构单元的含量为35摩尔%以下。式(1)中,R1表示氢原子或甲基;A1表示包含酯键的连接基或单键,其中,A1不具有叔碳原子;Z1表示包含与A1结合的碳原子和‑SO2‑而形成碳原子数3~6的含硫环式烃基的原子团。#imgabs0#
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公开(公告)号:CN107207819A
公开(公告)日:2017-09-26
申请号:CN201680007130.5
申请日:2016-04-15
Applicant: 三菱化学株式会社
IPC: C08L33/04 , C09D5/16 , C09D7/12 , C09D133/04
CPC classification number: C09D5/1668 , C08F216/20 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08F2220/1808 , C08F2220/281 , C08L33/04 , C09D5/16 , C09D7/40 , C09D129/10 , C09D133/04 , C09D133/14
Abstract: 一种树脂组合物,其包含聚合物(A),该聚合物(A)具备至少一个以上源自具有下述式(1)、下述式(2)或下述式(3)所表示的结构的单体的构成单元,在40℃储存30天后的上述聚合物(A)中的下述式(1)、下述式(2)或下述式(3)的结构的分解率为20%以下。(式中,X为醚性氧原子、硫醚系硫原子或胺系氮原子。R1和R2各自表示氢原子或碳原子数1~10的烷基。R3和R5各自表示碳原子数1~20的烷基、环烷基或芳基。R4和R6各自表示碳原子数1~10的亚烷基。)
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