公开(公告)号：CN108484822A

公开(公告)日：2018-09-04

申请号：CN201810272754.0

申请日：2014-06-12

Applicant: 三菱化学株式会社

Inventor： 加藤圭辅 ,  安田敦 ,  安斋龙一 ,  前田晋一

IPC: C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  C08F220/42 ,  G03F7/023 ,  G03F7/039

CPC classification number: C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  C08F220/42 ,  C08F2220/283 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供一种抗蚀剂用共聚物，使用该抗蚀剂用共聚物时，灵敏度良好，形成的抗蚀剂图案的形状良好，抗蚀剂图案作为掩膜进行干蚀刻时的耐干蚀刻性良好，能够控制对基板进行干蚀刻加工时形成的图案的表面粗糙度。该抗蚀剂用共聚物具有基于具有金刚烷环等的环烃基、及与该环烃基键合的2个以上氰基的(甲基)丙烯酸酯衍生物的结构单元(1)、具有内酯骨架和桥环结构的结构单元(2)和具有酸离去基团的结构单元(3)。