公开(公告)号：CN108004582B

公开(公告)日：2021-04-13

申请号：CN201710822691.7

申请日：2017-09-13

申请人： 上村工业株式会社

发明人： 内海雅之 ,  谷川正仁

IPC分类号： C25D17/00 ,  C25D17/02 ,  C25D19/00

摘要： 本发明提供一种表面处理装置，其抑制了不良的产生。处理液通过槽(4)下部的处理液回收口/空气排出口(13)而储存在罐(15)中。被处理液加热后的空气经由槽(4)下部的处理液回收口/空气排出口(13)而朝向罐(15)的上部(无处理液的部分)并经由排气管道(17)排出。这样，在槽(4)中，由于将温度变高而要向上上升的空气从下部排出并由外部气体从上部进行置换，所以能够使槽(4)的空气的温度均匀。因此，能够使从基板(54)的上部到下部的处理液的温度保持均匀。在槽(4)中，由于使空气的流动从上部朝向下部，所以基板(54)被向下方牵引，能够使基板(54)的摇动变小。因此，能够降低基板(54)与入口(44)或出口(46)接触的可能性。

公开(公告)号：CN108004582A

公开(公告)日：2018-05-08

申请号：CN201710822691.7

申请日：2017-09-13

申请人： 上村工业株式会社

发明人： 内海雅之 ,  谷川正仁

IPC分类号： C25D17/00 ,  C25D17/02 ,  C25D19/00

CPC分类号： B05C5/002 ,  B05C3/09 ,  B05C5/0208 ,  B05C11/11 ,  B08B3/041 ,  B08B11/02 ,  C23C18/1619 ,  C23C18/1632 ,  C23C18/168 ,  C23C18/38 ,  C25D17/02 ,  C25D21/02 ,  C25D17/00

摘要： 本发明提供一种表面处理装置，其抑制了不良的产生。处理液通过槽(4)下部的处理液回收口/空气排出口(13)而储存在罐(15)中。被处理液加热后的空气经由槽(4)下部的处理液回收口/空气排出口(13)而朝向罐(15)的上部(无处理液的部分)并经由排气管道(17)排出。这样，在槽(4)中，由于将温度变高而要向上上升的空气从下部排出并由外部气体从上部进行置换，所以能够使槽(4)的空气的温度均匀。因此，能够使从基板(54)的上部到下部的处理液的温度保持均匀。在槽(4)中，由于使空气的流动从上部朝向下部，所以基板(54)被向下方牵引，能够使基板(54)的摇动变小。因此，能够降低基板(54)与入口(44)或出口(46)接触的可能性。

公开(公告)号：CN116254492A

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN202211465062.0

申请日：2022-11-22

申请人： 上村工业株式会社

发明人： 西元一善 ,  谷川正仁 ,  奥田朋士 ,  西中豊 ,  内海雅之

IPC分类号： C23C2/00

摘要： 本发明提供一种表面处理装置，其小型且高效。排列表面处理装置(P1～Pn)，通过电动致动器(18)使工件(4)进行出入。在表面处理室中结束了处理的工件(4)通过使电动致动器(18)整体移动来移送到下一个表面处理室。这样，在多个表面处理室中对工件(4)进行处理。