公开(公告)号：CN107957183B

公开(公告)日：2021-12-31

申请号：CN201710978142.9

申请日：2017-10-18

申请人： 上村工业株式会社

发明人： 内海雅之 ,  奥田朋士 ,  西中豊 ,  松山大辅

IPC分类号： F26B21/00 ,  B08B3/02

摘要： 本发明提供了干燥装置，该干燥装置具有对被处理物进行干燥处理的干燥槽、所述被处理物的固定件、与所述被处理物的表面相对的加热单元、和与所述被处理物的里面相对的加热单元，所述加热单元的长度方向相对于水平线倾斜设置，从而能够抑制被处理物的干燥不均匀等的干燥不良。

公开(公告)号：CN107957183A

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：CN201710978142.9

申请日：2017-10-18

申请人： 上村工业株式会社

发明人： 内海雅之 ,  奥田朋士 ,  西中豊 ,  松山大辅

IPC分类号： F26B21/00 ,  B08B3/02

CPC分类号： H05K3/227 ,  F26B3/30 ,  F26B15/14 ,  F26B21/004 ,  H05K2203/08 ,  H05K2203/1105 ,  H05K2203/1518 ,  F26B21/00 ,  B08B3/02

摘要： 本发明提供了干燥装置，该干燥装置具有对被处理物进行干燥处理的干燥槽、所述被处理物的固定件、与所述被处理物的表面相对的加热单元、和与所述被处理物的里面相对的加热单元，所述加热单元的长度方向相对于水平线倾斜设置，从而能够抑制被处理物的干燥不均匀等的干燥不良。

公开(公告)号：CN108067471A

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201711096693.9

申请日：2017-11-09

申请人： 上村工业株式会社

发明人： 山本久光 ,  内海雅之 ,  西条义司 ,  奥田朋士 ,  西中豊 ,  中西巧典

IPC分类号： B08B3/12 ,  B08B13/00 ,  B06B1/10

CPC分类号： B08B3/123 ,  B08B3/12 ,  B06B1/10 ,  B08B13/00

摘要： 本发明提供能够超声波处理装置，该超声波处理装置具有如下要点：该超声波处理装置具有用于对被处理物实施超声波处理的超声波槽，在所述被处理物的表面侧振荡超声波的第一超声波振动体，以及在所述被处理物的里面侧振荡超声波的第二超声波振动体，所述第一超声波振动体配置为与所述第二超声波振动体不相对，从而能够防止超声波处理不均匀。

公开(公告)号：CN116254492A

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN202211465062.0

申请日：2022-11-22

申请人： 上村工业株式会社

发明人： 西元一善 ,  谷川正仁 ,  奥田朋士 ,  西中豊 ,  内海雅之

IPC分类号： C23C2/00

摘要： 本发明提供一种表面处理装置，其小型且高效。排列表面处理装置(P1～Pn)，通过电动致动器(18)使工件(4)进行出入。在表面处理室中结束了处理的工件(4)通过使电动致动器(18)整体移动来移送到下一个表面处理室。这样，在多个表面处理室中对工件(4)进行处理。

公开(公告)号：CN108067471B

公开(公告)日：2022-11-22

申请号：CN201711096693.9

申请日：2017-11-09

申请人： 上村工业株式会社

发明人： 山本久光 ,  内海雅之 ,  西条义司 ,  奥田朋士 ,  西中豊 ,  中西巧典

IPC分类号： B08B3/12 ,  B08B13/00 ,  B06B1/10

摘要： 本发明提供能够超声波处理装置，该超声波处理装置具有如下要点：该超声波处理装置具有用于对被处理物实施超声波处理的超声波槽，在所述被处理物的表面侧振荡超声波的第一超声波振动体，以及在所述被处理物的里面侧振荡超声波的第二超声波振动体，所述第一超声波振动体配置为与所述第二超声波振动体不相对，从而能够防止超声波处理不均匀。