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公开(公告)号:CN105393342A
公开(公告)日:2016-03-09
申请号:CN201480041087.5
申请日:2014-07-14
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/47 , C08K5/02 , C08K5/06 , C08L27/12 , H01L21/027 , H01L21/308 , H01L21/336 , H01L29/786 , H01L51/05 , H01L51/40 , H01L51/50 , H01L21/312
CPC classification number: H01L51/56 , C08F232/04 , C08K5/02 , C08K5/06 , C09D5/00 , C09D7/20 , C09D127/12 , C09D129/10 , C09D145/00 , G03F7/0002 , G03F7/038 , H01L27/3241 , H01L51/0017 , H01L51/0018 , H01L51/0019 , H01L51/0052 , H01L51/0558 , H01L51/5012 , C08F216/14
Abstract: 本发明的膜形成用组合物包含:含有式(1)表示的重复单元和通式(2)表示的重复单元的氟树脂、以及氟系溶剂。(R1为碳数1~15的直链状、碳数3~15的支链状或碳数3~15的环状的烃基,烃基中的氢原子的至少1个可以被氟原子或氯原子取代,也可以具有羟基。)该组合物能够在有机半导体膜上形成氟树脂膜,在光刻法等中得到有机半导体的精致的图案时,对蚀刻溶剂具有耐性,在有机半导体元件的制造方法中是有用的。
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公开(公告)号:CN105393341B
公开(公告)日:2018-03-16
申请号:CN201480041085.6
申请日:2014-07-14
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/47 , C08K5/02 , C08K5/06 , C08L27/12 , H01L21/027 , H01L21/308 , H01L21/336 , H01L29/786 , H01L51/05 , H01L51/40 , H01L51/50 , H01L21/312
CPC classification number: H01L51/0018 , C08K5/02 , C08K5/06 , C09D133/16 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , H01L51/0019 , H01L51/0052 , H01L51/0558
Abstract: 本发明的膜形成用组合物包含:含有通式(1)表示的重复单元的氟树脂、以及氟系溶剂。(R1各自独立地为氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基。R2各自独立地为碳数1~15的直链状、碳数3~15的支链状或碳数3~15的环状的含氟烃基,烃基中的氢原子可以被氟原子取代,重复单元中包含至少1个氟原子。)该组合物能够在有机半导体膜上形成膜,在光刻法等中得到有机半导体的精致的图案时,对蚀刻溶剂具有耐性,在有机半导体元件的制造方法中是有用的。
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公开(公告)号:CN105393341A
公开(公告)日:2016-03-09
申请号:CN201480041085.6
申请日:2014-07-14
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/47 , C08K5/02 , C08K5/06 , C08L27/12 , H01L21/027 , H01L21/308 , H01L21/336 , H01L29/786 , H01L51/05 , H01L51/40 , H01L51/50 , H01L21/312
CPC classification number: H01L51/0018 , C08K5/02 , C08K5/06 , C09D133/16 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , H01L51/0019 , H01L51/0052 , H01L51/0558
Abstract: 本发明的膜形成用组合物包含:含有通式(1)表示的重复单元的氟树脂、以及氟系溶剂。(R1各自独立地为氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基。R2各自独立地为碳数1~15的直链状、碳数3~15的支链状或碳数3~15的环状的含氟烃基,烃基中的氢原子可以被氟原子取代,重复单元中包含至少1个氟原子。)该组合物能够在有机半导体膜上形成膜,在光刻法等中得到有机半导体的精致的图案时,对蚀刻溶剂具有耐性,在有机半导体元件的制造方法中是有用的。
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公开(公告)号:CN115427470B
公开(公告)日:2024-06-07
申请号:CN202180024933.2
申请日:2021-03-25
Applicant: 中央硝子株式会社
Abstract: 一种酚醛清漆树脂,其具有由‑C(CF3)H‑所示的部分结构。另外,一种感光性树脂组合物,其包含上述酚醛清漆树脂和感光剂。另外,一种环氧树脂,其具有由‑C(CF3)H‑所示的部分结构。另外,一种固化性树脂组合物,其包含上述酚醛清漆树脂或上述环氧树脂。另外,一种固化物,其是使上述组合物固化而成的。另外,一种酚醛清漆树脂的制造方法,其通过使芳香族化合物和2,2,2‑三氟乙醛在酸催化剂的存在下反应,从而制造具有由‑C(CF3)H‑所示的部分结构的酚醛清漆树脂。另外,一种环氧树脂的制造方法,其包括:使具有由‑C(CF3)H‑所示的部分结构的酚醛清漆树脂在碱的存在下与表卤代醇反应的环氧化工序。
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公开(公告)号:CN115427470A
公开(公告)日:2022-12-02
申请号:CN202180024933.2
申请日:2021-03-25
Applicant: 中央硝子株式会社
Abstract: 一种酚醛清漆树脂,其具有由‑C(CF3)H‑所示的部分结构。另外,一种感光性树脂组合物,其包含上述酚醛清漆树脂和感光剂。另外,一种环氧树脂,其具有由‑C(CF3)H‑所示的部分结构。另外,一种固化性树脂组合物,其包含上述酚醛清漆树脂或上述环氧树脂。另外,一种固化物,其是使上述组合物固化而成的。另外,一种酚醛清漆树脂的制造方法,其通过使芳香族化合物和2,2,2‑三氟乙醛在酸催化剂的存在下反应,从而制造具有由‑C(CF3)H‑所示的部分结构的酚醛清漆树脂。另外,一种环氧树脂的制造方法,其包括:使具有由‑C(CF3)H‑所示的部分结构的酚醛清漆树脂在碱的存在下与表卤代醇反应的环氧化工序。
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公开(公告)号:CN105393342B
公开(公告)日:2018-03-20
申请号:CN201480041087.5
申请日:2014-07-14
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/47 , C08K5/02 , C08K5/06 , C08L27/12 , H01L21/027 , H01L21/308 , H01L21/336 , H01L29/786 , H01L51/05 , H01L51/40 , H01L51/50 , H01L21/312
CPC classification number: H01L51/56 , C08F232/04 , C08K5/02 , C08K5/06 , C09D5/00 , C09D7/20 , C09D127/12 , C09D129/10 , C09D145/00 , G03F7/0002 , G03F7/038 , H01L27/3241 , H01L51/0017 , H01L51/0018 , H01L51/0019 , H01L51/0052 , H01L51/0558 , H01L51/5012 , C08F216/14
Abstract: 本发明的膜形成用组合物包含:含有式(1)表示的重复单元和通式(2)表示的重复单元的氟树脂、以及氟系溶剂。(R1为碳数1~15的直链状、碳数3~15的支链状或碳数3~15的环状的烃基,烃基中的氢原子的至少1个可以被氟原子或氯原子取代,也可以具有羟基。)该组合物能够在有机半导体膜上形成氟树脂膜,在光刻法等中得到有机半导体的精致的图案时,对蚀刻溶剂具有耐性,在有机半导体元件的制造方法中是有用的。
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