公开(公告)号：CN108342683A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201810139182.9

申请日：2018-02-09

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  合肥京东方光电科技有限公司

发明人： 房伟华 ,  张勋泽 ,  焦东晟 ,  肖亮 ,  王效坤 ,  蔡登刚 ,  段龙龙 ,  王健 ,  常浩 ,  张文俊 ,  李立 ,  曹金要

IPC分类号： C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/08

摘要： 本发明实施例提供一种预溅射基板及其制作方法，该所述预溅射基板包括：主基板，主要采用氧化铝和/或硅化锆材料形成；主基板的溅射侧表面为具有凹凸结构的凹凸吸附面；和/或，主基板的溅射侧表面依次设置有中间层和熔射层；其中，中间层的表面粗糙度大于或等于3μm。

公开(公告)号：CN104404466A

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201410828442.5

申请日：2014-12-26

申请人： 合肥京东方光电科技有限公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

发明人： 王效坤 ,  朴祥秀 ,  张勋泽 ,  王召波 ,  沙磊 ,  程贯杰 ,  张文俊 ,  王化露 ,  闻庆亮 ,  吕雷雷

IPC分类号： C23C14/35

CPC分类号： H01J37/3417 ,  C23C14/086 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/352 ,  C23C14/505 ,  C23C14/562 ,  H01J37/3447 ,  H01J37/3473 ,  H01J37/3488

摘要： 本发明提供了一种磁控溅射镀膜方法及系统，属于显示技术领域。其中，该磁控溅射镀膜系统包括溅射腔室，还包括设置在所述溅射腔室内的由多条靶材拼接形成的靶材组；与所述靶材组相对设置、用于承载待成膜基板的基板载体；带动所述基板载体沿所述靶材排列方向往复运动的传动装置。本发明的技术方案能够有效提高磁控溅射成膜的均匀性，进而保证显示基板的性能和品质。

公开(公告)号：CN107477346B

公开(公告)日：2020-11-03

申请号：CN201710918952.5

申请日：2017-09-30

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  合肥京东方光电科技有限公司

发明人： 刘欢 ,  张勋泽 ,  宋淦 ,  朱昊 ,  丁冬 ,  王效坤 ,  闻庆亮 ,  王健 ,  张文俊 ,  宣增志 ,  董巍 ,  黄金伟 ,  王虎 ,  王化露

IPC分类号： F16N21/02 ,  F16N25/00 ,  F16N7/00 ,  F16C29/00

摘要： 本发明涉及导轨润滑技术领域，提出了一种导轨注油工具，该导轨注油工具包括：滑动本体、进油口以及涂油槽；滑动本体能够扣设在导轨上并沿导轨滑动，滑动本体朝向导轨的待涂油面的内侧面的垂直于导轨的截面的形状与导轨的待涂油面的截面形状相适配；进油口设置于滑动本体；涂油槽与进油口连通，设于滑动本体的内侧面并围绕导轨的待涂油面，以使滑动本体滑动时能够通过涂油槽向导轨的待涂油面涂油。使用该导轨注油工具能够将润滑油涂覆均匀，而且效率较高。

公开(公告)号：CN103700599B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201310652050.3

申请日：2013-12-05

申请人： 合肥京东方光电科技有限公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

发明人： 王召波 ,  朴祥秀 ,  张勋泽 ,  朱昊 ,  张卓然 ,  刘飞 ,  张文俊

IPC分类号： H01L21/66

摘要： 本发明公开了一种校正治具，该校正治具包括：校正架，所述校正架包括：校正基台、支撑架和校正顶针，所述校正基台水平放置，所述校正基台上设置有限位槽，所述支撑架设置于所述校正基台上，所述校正顶针竖直穿过所述支撑架，所述校正顶针位于所述限位槽的正上方，所述限位槽用于固定靶材支撑基座或中间连杆，所述校正顶针竖直向下运动至所述靶材支撑基座的凹槽内以对所述凹槽的异常处进行校正，本发明提供校正治具，其操作简单、校正精确度高，同时校正过程中所耗费的时间短、校正工作量小。

公开(公告)号：CN103700599A

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201310652050.3

申请日：2013-12-05

申请人： 合肥京东方光电科技有限公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

发明人： 王召波 ,  朴祥秀 ,  张勋泽 ,  朱昊 ,  张卓然 ,  刘飞 ,  张文俊

IPC分类号： H01L21/66

CPC分类号： H01L21/67259

摘要： 本发明公开了一种校正治具，该校正治具包括：校正架，所述校正架包括：校正基台、支撑架和校正顶针，所述校正基台水平放置，所述校正基台上设置有限位槽，所述支撑架设置于所述校正基台上，所述校正顶针竖直穿过所述支撑架，所述校正顶针位于所述限位槽的正上方，所述限位槽用于固定靶材支撑基座或中间连杆，所述校正顶针竖直向下运动至所述靶材支撑基座的凹槽内以对所述凹槽的异常处进行校正，本发明提供校正治具，其操作简单、校正精确度高，同时校正过程中所耗费的时间短、校正工作量小。

公开(公告)号：CN107477346A

公开(公告)日：2017-12-15

申请号：CN201710918952.5

申请日：2017-09-30

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  合肥京东方光电科技有限公司

发明人： 刘欢 ,  张勋泽 ,  宋淦 ,  朱昊 ,  丁冬 ,  王效坤 ,  闻庆亮 ,  王健 ,  张文俊 ,  宣增志 ,  董巍 ,  黄金伟 ,  王虎 ,  王化露

IPC分类号： F16N21/02 ,  F16N25/00 ,  F16N7/00 ,  F16C29/00

摘要： 本发明涉及导轨润滑技术领域，提出了一种导轨注油工具，该导轨注油工具包括：滑动本体、进油口以及涂油槽；滑动本体能够扣设在导轨上并沿导轨滑动，滑动本体朝向导轨的待涂油面的内侧面的垂直于导轨的截面的形状与导轨的待涂油面的截面形状相适配；进油口设置于滑动本体；涂油槽与进油口连通，设于滑动本体的内侧面并围绕导轨的待涂油面，以使滑动本体滑动时能够通过涂油槽向导轨的待涂油面涂油。使用该导轨注油工具能够将润滑油涂覆均匀，而且效率较高。

公开(公告)号：CN205062169U

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201520882117.7

申请日：2015-11-03

申请人： 合肥京东方光电科技有限公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

发明人： 王效坤 ,  朴祥秀 ,  张勋泽 ,  丁冬 ,  沙磊 ,  王化露 ,  王召波 ,  张文俊 ,  闻庆亮 ,  吕雷雷 ,  张卓然

IPC分类号： C23C14/35

摘要： 本实用新型提供一种板材安装治具，属于半导体技术领域。本实用新型的板材安装治具包括框架，所述框架用于对板材进行吊装固定，还包括至少一个矫正单元，所述矫正单元包括支撑板以及与所述支撑板垂直设置的矫正模块，所述支撑板设置于所述框架内部，所述矫正模块能相对所述支撑板所在的平面垂直往复移动，以对所述板材进行面矫正。本实用新型的板材安装治具能够对安装在磁控溅射镀膜设备上的铜背板进行面矫正，从而使所有安装螺钉均能够与铜背板连接，避免存在未连接固定的安装螺钉碰撞磁铁，造成磁铁损坏。