板材安装治具
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205062169U

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201520882117.7

    申请日:2015-11-03

    IPC分类号: C23C14/35

    摘要: 本实用新型提供一种板材安装治具,属于半导体技术领域。本实用新型的板材安装治具包括框架,所述框架用于对板材进行吊装固定,还包括至少一个矫正单元,所述矫正单元包括支撑板以及与所述支撑板垂直设置的矫正模块,所述支撑板设置于所述框架内部,所述矫正模块能相对所述支撑板所在的平面垂直往复移动,以对所述板材进行面矫正。本实用新型的板材安装治具能够对安装在磁控溅射镀膜设备上的铜背板进行面矫正,从而使所有安装螺钉均能够与铜背板连接,避免存在未连接固定的安装螺钉碰撞磁铁,造成磁铁损坏。