一种制备低反射率金属薄膜的方法

    公开(公告)号:CN103265181A

    公开(公告)日:2013-08-28

    申请号:CN201310173072.1

    申请日:2013-05-10

    IPC分类号: C03C17/09

    摘要: 本发明涉及一种制备低反射率金属薄膜的方法,特别涉及一种在光学玻璃表面制备低反射率薄膜的方法,适用于航天器用光学零件如码盘、光栅等所采用的低反射率薄膜的制备,属于薄膜制备技术领域。本发明的方法制备的金属薄膜的反射率低≤10%,能够作为制备码盘、柱面镜、光学入射缝板等光学零件的低反射率薄膜;在制备过程中使用了反应气体,使膜层含气,不易氧化,容易刻蚀。

    空间用光学石英玻璃耐辐照滤紫外薄膜及制备方法

    公开(公告)号:CN102096136A

    公开(公告)日:2011-06-15

    申请号:CN201010611624.9

    申请日:2010-12-17

    摘要: 空间用光学石英玻璃耐辐照滤紫外薄膜及制备方法,包括石英玻璃基片和多层膜,多层膜通过真空热蒸发镀膜法和磁控溅射镀膜法镀在石英玻璃基片上,所述的多层膜为L1层/H层/L2层结构,L1层为SiO2层或SiO层,L2层为SiO2层或SiO层,H层为CeO2层或ZnO层。本发明采用石英玻璃基片和多层膜复合结构,提高了材料的耐辐照性能,辐照试验结果表明:采用普通石英加薄膜的材料的耐辐照性能远远优于掺杂石英,经过5×108Rad(Si)累计剂量的辐照后在工作波段(400~1000nm)光谱透过率平均值T≥90%,掺杂材料为T≥70%。

    一种用于制备红外探测器内引极的工装

    公开(公告)号:CN203163879U

    公开(公告)日:2013-08-28

    申请号:CN201320110625.4

    申请日:2013-03-12

    IPC分类号: G01J5/20

    摘要: 本实用新型涉及一种用于制备红外探测器内引极的工装,属于红外探测器技术领域。该工装包括真空镊子和固定装置。本实用新型的工装能够提高金浆内引极改进的工艺可操作性,该工艺改进后探测器合格率及可靠性得到大幅提高;该工装可用于热敏电阻薄片的固定,能提高红外探测器的生产效率及可靠性;同时可以推广应用于类似的具有尺寸小、厚度薄、强度差的薄片型物体的固定,具有广阔的应用前景;本实用新型的工装能有效固定热敏电阻薄片,操作简单、效率高,使用该工装制备的探测器,其成品率及长期稳定性高,具有很强的实用性。