公开(公告)号：CN105047595A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201510259676.7

申请日：2015-05-20

申请人： 北京控制工程研究所

发明人： 赵娜 ,  朱春英 ,  曾宪沪 ,  秦素然 ,  刘江 ,  赵晓雨 ,  石建民

IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L21/67

CPC分类号： H01L21/682 ,  H01L21/67282

摘要： 本发明涉及一种针对无定位标记的玻璃基片的光刻对准装置及对准方法。针对基片的形状设计专用的定位工装和配套的第一掩膜版、第二掩膜版；通过第一掩膜版在定位工装光刻标记；通过该标记实现第二掩膜版的定位，通过第二掩膜版的狭缝在玻璃基片上光刻狭缝。玻璃基片上的狭缝精度满足实际光刻的狭缝的中心线与半圆柱母线的距离偏差≤3μm。定位准确，且不在玻璃基片表面形成任何破坏性的标记，使基片的有效使用面积最大化。

公开(公告)号：CN103265181A

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN201310173072.1

申请日：2013-05-10

申请人： 北京控制工程研究所

发明人： 刘江 ,  秦素然 ,  高修涛 ,  石建民 ,  范汉超 ,  王婧烨 ,  赵娜

IPC分类号： C03C17/09

摘要： 本发明涉及一种制备低反射率金属薄膜的方法，特别涉及一种在光学玻璃表面制备低反射率薄膜的方法，适用于航天器用光学零件如码盘、光栅等所采用的低反射率薄膜的制备，属于薄膜制备技术领域。本发明的方法制备的金属薄膜的反射率低≤10%，能够作为制备码盘、柱面镜、光学入射缝板等光学零件的低反射率薄膜；在制备过程中使用了反应气体，使膜层含气，不易氧化，容易刻蚀。

公开(公告)号：CN103234511B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201310127448.5

申请日：2013-04-12

申请人： 北京控制工程研究所

发明人： 莫亚男 ,  崔坚 ,  贾锦忠 ,  吕政欣 ,  赵媛 ,  刘江 ,  陈然 ,  刘鑫 ,  秦素然 ,  孙建波 ,  严艾平 ,  张韩笑 ,  孙艳 ,  尹路

IPC分类号： G01C1/00

摘要： 本发明涉及小型长寿命编码式太阳敏感器，采用光机电一体化结构，采用小型化光学测量系统，采用以FPGA为核心的高集成度信号处理电路，采用挠性连接方式，通过标准串行通讯接口与星上计算机进行数据交换，具体包括第一光学测量组件、第二光学测量组件，光学基准镜、安装板、模拟板、数字板、壳体、第一接插件、第二接插件、接地桩和后盖，两个光学测量组件正交安装在安装板上部，光学测量组件包括进行了小型化设计的柱面镜、码盘、集成光电池等，模拟板与数字板安装在壳体内部，该敏感器采用光机电一体化结构设计，实现产品的小型化，大大降低了产品重量，并且延长了产品寿命。

公开(公告)号：CN102096136A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN201010611624.9

申请日：2010-12-17

申请人： 北京控制工程研究所

发明人： 刘江 ,  秦素然 ,  高修涛 ,  王周好 ,  王俊杰 ,  石建民 ,  范汉超

IPC分类号： G02B5/22 ,  G02B1/10 ,  B32B9/04 ,  B32B17/00

摘要： 空间用光学石英玻璃耐辐照滤紫外薄膜及制备方法，包括石英玻璃基片和多层膜，多层膜通过真空热蒸发镀膜法和磁控溅射镀膜法镀在石英玻璃基片上，所述的多层膜为L1层/H层/L2层结构，L1层为SiO2层或SiO层，L2层为SiO2层或SiO层，H层为CeO2层或ZnO层。本发明采用石英玻璃基片和多层膜复合结构，提高了材料的耐辐照性能，辐照试验结果表明：采用普通石英加薄膜的材料的耐辐照性能远远优于掺杂石英，经过5×108Rad(Si)累计剂量的辐照后在工作波段(400～1000nm)光谱透过率平均值T≥90％，掺杂材料为T≥70％。

公开(公告)号：CN105047595B

公开(公告)日：2017-10-03

申请号：CN201510259676.7

申请日：2015-05-20

申请人： 北京控制工程研究所

发明人： 赵娜 ,  朱春英 ,  曾宪沪 ,  秦素然 ,  刘江 ,  赵晓雨 ,  石建民

IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L21/67

摘要： 本发明涉及一种针对无定位标记的玻璃基片的光刻对准装置及对准方法。针对基片的形状设计专用的定位工装和配套的第一掩膜版、第二掩膜版；通过第一掩膜版在定位工装光刻标记；通过该标记实现第二掩膜版的定位，通过第二掩膜版的狭缝在玻璃基片上光刻狭缝。玻璃基片上的狭缝精度满足实际光刻的狭缝的中心线与半圆柱母线的距离偏差≤3μm。定位准确，且不在玻璃基片表面形成任何破坏性的标记，使基片的有效使用面积最大化。

公开(公告)号：CN103234511A

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN201310127448.5

申请日：2013-04-12

申请人： 北京控制工程研究所

发明人： 莫亚男 ,  崔坚 ,  贾锦忠 ,  吕政欣 ,  赵媛 ,  刘江 ,  陈然 ,  刘鑫 ,  秦素然 ,  孙建波 ,  严艾平 ,  张韩笑 ,  孙艳 ,  尹路

IPC分类号： G01C1/00

摘要： 本发明涉及小型长寿命编码式太阳敏感器，采用光机电一体化结构，采用小型化光学测量系统，采用以FPGA为核心的高集成度信号处理电路，采用挠性连接方式，通过标准串行通讯接口与星上计算机进行数据交换，具体包括第一光学测量组件、第二光学测量组件，光学基准镜、安装板、模拟板、数字板、壳体、第一接插件、第二接插件、接地桩和后盖，两个光学测量组件正交安装在安装板上部，光学测量组件包括进行了小型化设计的柱面镜、码盘、集成光电池等，模拟板与数字板安装在壳体内部，该敏感器采用光机电一体化结构设计，实现产品的小型化，大大降低了产品重量，并且延长了产品寿命。