公开(公告)号：CN118166317A

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202410225090.8

申请日：2024-02-29

申请人： 基迈克材料科技(苏州)有限公司

发明人： 张玉玲 ,  刘定星 ,  朱伟 ,  陈荣华

IPC分类号： C23C14/34 ,  C23C4/08 ,  C23C4/129 ,  C23C4/16 ,  B22F1/107 ,  B22F9/02 ,  B22F9/04 ,  B22F1/142 ,  C23C4/137

摘要： 本发明公开了一种PVD镀膜用Ag管靶材制备方法，涉及溅射镀膜领域，旨在解决喷涂后的靶材密度低，喷涂过程中Ag收集难度大等问题，方案为S1:将Ag纳米粉末、分散剂、粘接剂和溶剂混合均匀，然后进行球磨后得到浆料；S2:将所述浆料进行喷雾造粒，得到Ag粉体；S3:将所述Ag粉体进行烧结，得到Ag烧结粉体；S4:将背管进行表面粗化处理，然后采用火焰喷枪将所述Ag烧结粉体热喷涂于背管上，在真空环境下，将所述Ag烧结粉体热喷涂于背靶上，得到Ag靶。本发明的一种PVD镀膜用Ag管靶材制备方法工艺操作简单、可控、稳定性高、成本较低的优点，靶材纯度高、密度高、气体含量低,适合大批量生产。